半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。随着半导体、光电显示等行业的快速发展，螺杆式真空泵已作为一种理想泵得到了普遍的应用。北京油封螺杆真空泵
螺杆式真空泵不只适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加普遍性必是未来的趋势。北京真空泵制造常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。
真空泵选择的依据和条件。（1）系统对真空度的要求。根据系统对真空度的要求，选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。（2）系统正常工作时的压力范围。要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力。（3）被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求。被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。（4）系统被抽气量或体积流量。它是决定选择某一类型真空泵的主要依据。
在什么情况下使用涡轮分子真空泵呢？涡轮分子真空泵可达到10-12毫巴的压力水平。流量从50升到5000升/秒不等。它们的工作原理与压缩机相同。泵的各级叶片由高速旋转的电动机旋转，电动机从待排空的容积中排出空气。这种泵通常安装在磁性轴承上以支持高转速。它们需要一台真空极限为10-2mbar的主泵。涡轮分子真空泵的优点是不需要机油。这种泵特别适合超高真空的应用，如分析仪器或实验室分析。由于其复杂的技术，涡轮分子泵的购买成本很高，并且比传统的真空泵需要更多的维护。泵送速度也很大程度上取决于所泵送气体的类型。对于较轻的气体，速度会急剧下降。为了共同守护我们的碧水青天，让人类的蓝色家园更加美丽，昊青气体装备将以上下求索，以求基业长青。
油封式机械真空泵在使用过程中，如果遇到可凝性气体时易凝结污染泵油，同时造成抽气性能下降。虽然可以通过气镇解决部分问题，但实际效果并不尽如人意。因此遇到抽取可凝性气体时，需要怎么解决呢，螺杆真空泵厂家昊青气体装备来告诉您。油封式机械真空泵不适宜用于含大量可凝性气体的场合。在遇水蒸气等大量可凝性气体的环境时，如不考虑使用螺杆式真空泵、水环式真空泵等适应性较强的其他泵种来进行替换的话，我们可以从以下几方面来进行解决：1、选择带气镇装置的油封式机械真空泵。为了使气镇更好地发挥作用，使用气镇的同时，并控制真空泵的工作温度在75～90℃之间，减少气镇负担。2、设置冷凝器、冷阱或吸附剂等，收集水蒸气等可凝性气体，减少其进入泵内；同时也可减少油封式机械真空泵的返流。3、配置气汽水分离器、油水分离器等进行分离，及时处理泵油,减少泵油污染对设备性能的影响。通过以上的措施可以有效改善油封式机械真空泵在抽取可凝性气体的性能，提高抽气效率。真空泵从原始的水泵开始发展成为现有的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、升华泵等数十种。北京油封螺杆真空泵
真空泵是一种真空获得设备，可利用物理、化学或者机械等方法对容器进行抽气来获得与改善真空环境。北京油封螺杆真空泵
油真空泵如何机械维护?对油真空泵的维护保养应注意以下方面：1.水会腐蚀油真空泵，所以含水的物质禁止使用油真空泵抽真空。2.含有大量溶剂的物质请首先在烘箱中除去大部分的溶剂后，再使用油真空泵抽真空。3.按正确的顺序使用真空泵，以防止倒吸现象发生。4.使用完真空烘箱后，务必做好清洁工作，擦干净真空烘箱的玻璃窗。5.擦净表面防锈油。6.***调速器内腔、喷油真空泵内腔的防锈油，加入规定牌号的润滑油。7.燃油管路里的防锈油也应在使用前清理干净，将燃油接入喷油真空泵管路，不断地转动喷油真空泵凸轮轴，直至出油阀紧座喷出洁净的燃为止。8.燃油选用合理。9.必须使用标号合适的燃油。一般夏天使用0号柴油，冬季使用-10号轻柴油。10.使用的燃油必须干净，不得含有任何杂质和水分。北京油封螺杆真空泵
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