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真空泵企业商机

半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定的快速发展。吉林节能真空泵系统

在什么情况下使用隔膜真空泵?隔膜真空泵极耐腐蚀并且耐化学品。因此,它们可用于处理任何类型的粘性,酸性和腐蚀性产品。这一特点使得隔膜真空泵更多适用于食品工业(例如泵送水,巧克力和糖浆等流体)、化妆品行业(用于面霜和凝胶)以及化学工业等领域。它们也用于旋转蒸发和挥发性化合物的处理。此外,隔膜泵是连续运行的理想选择。隔膜真空泵的另一个优点是它们是干式泵。这意味着它们不必用油润滑,而且维护成本比旋片真空泵低得多。然而,这种泵的价格比较高。另一个重要的问题是,隔膜泵的真空水平低于旋片泵的真空水平,因此不适合冷冻干燥。北京永磁螺杆真空泵应用在众多的领域,许多技术部件也需要尽可能致密的保护涂层,利用真空泵产生的真空环境,都能使其变为现实。

油封式机械真空泵在使用过程中,如果遇到可凝性气体时易凝结污染泵油,同时造成抽气性能下降。虽然可以通过气镇解决部分问题,但实际效果并不尽如人意。因此遇到抽取可凝性气体时,需要怎么解决呢,螺杆真空泵厂家昊青气体装备来告诉您。油封式机械真空泵不适宜用于含大量可凝性气体的场合。在遇水蒸气等大量可凝性气体的环境时,如不考虑使用螺杆式真空泵、水环式真空泵等适应性较强的其他泵种来进行替换的话,我们可以从以下几方面来进行解决:1、选择带气镇装置的油封式机械真空泵。为了使气镇更好地发挥作用,使用气镇的同时,并控制真空泵的工作温度在75~90℃之间,减少气镇负担。2、设置冷凝器、冷阱或吸附剂等,收集水蒸气等可凝性气体,减少其进入泵内;同时也可减少油封式机械真空泵的返流。3、配置气汽水分离器、油水分离器等进行分离,及时处理泵油,减少泵油污染对设备性能的影响。通过以上的措施可以有效改善油封式机械真空泵在抽取可凝性气体的性能,提高抽气效率。

油封式机械真空泵按结构型式可分为定片式、旋片式和滑阀式三种。他们都是利用真空泵油来润滑、密封和降温;都是靠转子在泵壳内运动使转子、叶片、泵壳之间的容积周期性变化,以达到抽气和排气的目的。一、定片式真空泵,其结构简单且使用寿命长,检修容易,双级泵的极限真空度可达10–3Torr,但抽速较小,应用很少。二、旋片式真空泵,分为单级旋片式真空泵(由定子、旋片、转子等组成,只有一个工作室)和双级旋片式真空泵(它由两个工作室组成,两室前后串联,同向等速旋转,Ⅰ室为Ⅱ室的前级)。三、滑阀式真空泵,主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。印刷行业中的印刷设备、装订设备都需要真空,纸张的输送,折页,装订整理都要用到真空。

螺杆真空泵降温主要是针对螺杆真空泵在使用过程中出现高温,若在短时间出现高温问题不大,但是长时间出现高温就必须得引起足够重视。长时间的高温状况对螺杆真空泵的各个部件都会产生损害,甚至严重时会造成电机的报废,下面我们来看一下具体做法:首先要做的是壳体的冷却,螺杆真空泵因为转子在工作过程中无润滑油参与,是无法通过润滑油带走工作时产生的热量。因为无内压缩过程,排气温度非常高,若冷却效果不好,会造成转子和机壳变形,影响抽气的效果。所以螺杆真空泵壳体采用双层管壁中空结构,称为冷却套,其里面内置冷却液,是螺杆真空泵的主要散热通道。水冷是常见的方法,冷却套中通冷却水,可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。同时可以在转子内部通水冷却,增加转子寿命,并达到很好的冷却效果。不同的真空系统要求的真空度不同,因此往往必须由一套真空机组来完成,即不同压力范围的真空泵串接起来。吉林节能真空泵公司

真空泵使用前应了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。吉林节能真空泵系统

真空泵的主要用途有哪些?真空泵普遍适用于许多不同的领域。它们主要应用于实验室、医药行业、过滤和质谱等领域。每种用途都需要一种特殊类型的真空。例如,质谱分析需要10-3到10-4毫巴之间的压力。因此,没有必要使用能够产生超高真空的技术。如果涉及农业食品工业,干燥,真空冶金或蒸馏,那么您只需要一个低真空。如果您需要在真空中混合或光束焊接,昊青气体装备建议您切换到高真空。然而,如果需要进行表面态物理或粒子加速,昊青气体装备推荐超高真空。吉林节能真空泵系统

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