螺杆真空泵一般是双螺杆结构。前面螺杆式真空泵的专业生产厂家昊青气体装备已经提到，螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。昊青气体装备技术（江苏）有限公司，位于始终处于全国县前列的江苏省昆山市。浙江智能真空泵现价
昊青气体装备总结出真空泵电机温度高的解决方案。电机功率、转速是和真空泵相匹配的，无法更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。方法如下：1)、将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；2)定期清理电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；3)将真空泵所在母线电压调整为400V。浙江智能真空泵现价真空泵若安装在易爆区域或特殊场合，应根据等级，采用防爆电动机或其他有效措施。
前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。
所谓真空，是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：1、极限真空(通常称为真空度)：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。真空泵在使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。
昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，将强大的油封螺杆技术与昊青气体装备先进的螺杆设计相结合。首先它能创造安静的现场真空。油封式螺杆系统采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。优先选择结构简单的真空泵。因为结构简单的真空泵具有可靠性高、维修方便、寿命周期内总成本低等优点。浙江智能真空泵现价
油封式真空泵利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。浙江智能真空泵现价
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