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化学气相沉积详解

化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经普遍用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

应用

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。 常州市丰裕科技有限公司主营陶瓷喷涂,若有需要,欢迎来电垂询。江苏金属粉末喷涂哪家好

化学气相沉积技术在材料制备中使用

1.化学气相沉积法生产晶体、晶体薄膜化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助,而且也可以生产出很多别的手段无法制备出的一些晶体。化学气相沉积法常见的使用方式是在某个晶体衬底上生成新的外延单晶层,一开始它是用于制备硅的,后来又制备出了外延化合物半导体层。它在金属单晶薄膜的制备上也比较常见以及个别的化合物单晶薄膜(例如铁酸镍薄膜、钇铁石榴石薄膜等)。

2.生产晶须晶须属于一种以为发育的单晶体,它在符合材料范畴中有着很大的作用,能够用于生产一些新型复合材料。化学气相沉积法在生产晶须时使用的是金属卤化物的氢还原性质。化学气相沉积法不但能制备出各类金属晶须,同时也能生产出化合物晶须,比如氧化铝、金刚砂、碳化钛晶须等等。

3.化学气相沉积技术生产多晶/非晶材料膜化学气相沉积法在半导体工业中有着比较普遍的应用。比如作为缘介质隔离层的多晶硅沉积层。在当代,微型电子学元器件中越来越多的使用新型非晶态材料,这种材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃等等。 辽宁防静电涂层喷涂有哪些常州市丰裕科技有限公司主营氧化铝喷涂,若有需要,欢迎来电垂询。

化学气相沉积(CVD)将工件置于反应室中,抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层,则将钛以挥发性氯化物(如TiCl4)与气体碳氢化合物(如CH4)一起通入反应室内,这时就会在工表面发生化学反应生成TiC,并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后,再进行淬火,回火处理,表面硬度可达到2000~4000HV物理类气相沉积(PVD)物理类气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理类气相沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右,且覆盖层附着力强,适用于高速钢工具,热锻模等。

离子镀技术在1963年由D.M.Mattox提出,1972年,Bunshah&Juntz推出活性反应蒸发离子镀(AREIP),沉积TiN,TiC等超硬膜,1972年Moley&Smith发展完善了空心热阴极离子镀,l973年又发展出射频离子镀(RFIP)。20世纪80年代,又发展出磁控溅射离子镀(MSIP)和多弧离子镀(MAIP)。

离子镀的基本特点是采用某种方法(如电子束蒸发磁控溅射,或多弧蒸发离化等)使中性粒子电离成离子和电子,在基体上必须施加负偏压,从而使离子对基体产生轰击,适当降低负偏压后,使离子进而沉积于基体成膜。离子镀的优点如下:

①膜层和基体结合力强。

②膜层均匀,致密。

③在负偏压作用下绕镀性好。

④无污染。

⑤多种基体材料均适合于离子镀。 常州市丰裕科技有限公司主营陶瓷喷涂,若有需要,欢迎致电。

物理类气相沉积技术早在20世纪初已有些应用。真空蒸镀基本原理是在真空条件下,使金属、金属合金或化合物蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,高频感应加热,电子束、激光束、离子束高能轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,历史上,PVD法中使用起初的技术是真空蒸镀。溅射镀膜基本原理是充氩(Ar)气的真空条件下,使氩气进行辉光放电,这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+),氩离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电,称直流(Qc)溅射,射频(RF)辉光放电引起的称射频溅射。磁控(M)辉光放电引起的称磁控溅射。电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下,用引弧针引弧,使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电,阴极表面快速移动着多个阴极弧斑,不断迅速蒸发甚至“异华”镀料,使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体,并能迅速将镀料沉积于基体。因为有多弧斑,所以也称多弧蒸发离化过程。常州市丰裕科技有限公司主营氧化铬喷涂,若有需要,欢迎来电。河北特氟龙喷涂哪里好

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陶瓷喷涂

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纳米陶瓷涂层的制备

制备纳米结构陶瓷涂层的常用方法主要有等离子喷涂、电泳沉积、热化学反应、微弧氧化、激光熔覆、磁控溅射镀膜等。 江苏金属粉末喷涂哪家好

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