罗茨真空泵规格

叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮旋转时，进入水环真空泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触。此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时，小腔的容积逐渐由小变大，压强不断的降低，且与吸排气盘上的吸气口相通，当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进小腔，此时正处于吸气过程。真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。罗茨真空泵规格

泵的传动方式。真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的比较大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。光伏行业用真空泵代理销售真空泵的比较大前级压强:真空泵口比较大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。

在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。

油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的比较高工作温度下，仍要具有足够低的饱和蒸汽压，并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kPa（因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级）。真空泵油的极限全压力和极限分压力，极限全压力：由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质（气体）产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力：用紧缩式真空计（麦氏计）测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，真空泵油中含有的挥发成分就越多，油品的性质就越差。真空泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。罗茨轴承向轴承体润滑油，观察油位应在油中心线，应及时更换或添加润滑油。上海高鹏螺杆真空泵费用

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。罗茨真空泵规格

拆卸真空泵：在拆卸前应将泵腔内的水放出，要将气水分离器和吸气管部件拆下，在拆卸过程中应将所有的垫片谨慎的取下，如有损坏应更换同样的垫片。泵应从后端（无联轴器或无皮带轮一端）开始拆卸，其顺序如下：拆后轴承压盖，用勾板手将两圆螺母松开，取下轴承座及轴承；松开填料压盖螺母，取下填料压盖；拆下连接结泵盖与泵体的六角螺栓和泵盖底脚处螺栓后，取下后端盖；取下泵体；松开另一端底脚螺栓；卸下联轴器，并取下轴上的键；卸下前轴承部件；卸下前端盖后将轴和叶轮一起取出。拆卸完毕后，应将零件上有关配合面涂上机油，螺纹处也应涂上机油保护好。罗茨真空泵规格