非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法可以来我司咨询！江西马波斯传感器原理
光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。辽宁3D 视觉测量传感器厂家马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，期待您的光临！
什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。
生物医疗-人造膝关节粗糙度测量符合ISO标准25178-602,传感器适用任何反射表面机械手表特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射微流体类通过塑料或玻璃等透明层，使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点涡轮叶片特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射电池点对点厚度测量2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量；使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控制非接触测量，适用于易变形和不透明的材料小厚度测量5µm，适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技。
光谱共焦技术的非接触测量Irix™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器，能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。Irix™可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用，以满足多样化的应用需求。控制器有两种型号可供选择：带7英寸集成显示屏，或带有用于文件柜.display或采用盲板形式，机柜采用带DIN导轨连接。Irix控制器系列由不同型号（1个和2个同步通道）组成，结合各种各样的光学元件（Marposs和STIL），可提供优良的计量性能（高达纳米）。Irix以比较高的质量标准制造，是一种坚固可靠的产品，适合在工业环境中使用。彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料（例如：金属、玻璃、塑料、漆膜、液体）。非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器；Irix可保存多达32张地图，以便使用比较合适的探头。集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性，便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量（空间同步）粗糙度测量马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，欢迎您的来电哦！北京光谱共焦传感器应用案例
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应用范围：光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中，也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容：l微形貌（测量样品的形状和表面特征）l尺寸控制（测试制造产品的特定尺寸是否符合规格）l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述）l粗糙度测量（测量样品表面的统计特征）l摩损度（表征机械或化学侵蚀）l厚度测量光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。此外，此标准第601章节致力于非接触式表面测量，引用CCI作为***参考技术原理江西马波斯传感器原理
