天马微电子股份有限公司专注于显示面板研发与生产,显示面板生产对无尘车间的洁净度要求极高,哪怕微小的灰尘都可能导致面板报废,兴元环境针对这一需求,为天马微电子提供专业的中央空调及无尘车间系统工程服务,准确满足其高精度生产需求。在设计阶段,兴元环境深入研究显示面板生产工艺,了解到不同生产环节(如光刻、镀膜)对洁净度等级的差异要求,因此将无尘车间划分为不同洁净区域,从千级到十万级不等,实现“按需洁净”,既保障生产质量,又避免资源浪费。在施工过程中,兴元环境重点关注防静电与温湿度控制,因为显示面板生产过程中静电易损坏元件,温湿度波动会影响面板性能,公司通过配置专业防静电设备、高精度温湿度控制系统,确保无尘车间内静电指标、温湿度始终稳定在合理范围。项目交付后,天马微电子的显示面板生产良率得到有效提升,生产过程中的质量问题大幅减少,这一案例也成为兴元环境在高精度电子行业无尘车间建设的典型表现。注重节能设计,兴元环境通过高效机房、余热回收等技术,降低无尘车间运营能耗。佛山十万级无尘车间设计

无尘车间的空气净化系统是实现洁净环境的重心,主要由空气过滤系统、气流组织系统、温湿度控制系统三部分组成。空气过滤系统采用 “初效过滤 + 中效过滤 + 高效过滤(HEPA)” 三级过滤模式:初效过滤器去除空气中的大颗粒尘埃(粒径≥5 微米),保护后续过滤器;中效过滤器进一步过滤粒径≥1 微米的微粒;高效过滤器则能过滤掉 99.97% 以上粒径≥0.3 微米的微粒,是净化系统的关键环节。气流组织系统通过送风机将过滤后的洁净空气送入车间,再由回风口或排风口排出,形成稳定的气流方向 —— 垂直层流系统从天花板均匀送风,从地面回风,适用于要求极高的精密制造;水平层流系统从一侧送风,另一侧回风,多用于实验室或局部洁净区域。温湿度控制系统则通过空调机组调节空气温度(通常控制在 20 - 25℃)和相对湿度(40% - 60%),避免温湿度波动影响产品性能或微生物滋生。四川千级无尘车间设计物料进入净化车间需通过货淋室或传递窗并进行吹淋清洁。

无尘车间的日常清洁与维护是维持洁净环境的关键,需遵循 “由内到外、由上到下、由洁净度高区域到洁净度低区域” 的原则,且清洁工具需无尘布、无尘拖把、防静电吸尘器等,避免交叉污染。日常清洁流程包括:每日开工前,用无尘布蘸取清洁剂(如中性无尘清洗剂)擦拭墙面、天花板、设备表面,重点清洁角落、接缝处等易积尘部位;用防静电吸尘器清理地面,吸尘器需配备高效过滤器(HEPA),防止吸尘过程中微粒泄漏;对空气净化系统的初效过滤器进行检查,若表面积尘较多,需及时更换(通常每 1 - 2 个月更换一次)。每周需进行一次深度清洁:拆卸中效过滤器进行检查或更换(每 3 - 6 个月更换一次);用紫外线灯对车间进行表面消毒(消毒时间不少于 30 分钟);检查温湿度控制系统和压力控制系统,确保参数稳定(如车间与相邻区域的压差不小于 5Pa)。每月需对高效过滤器进行检测:采用 “尘埃粒子计数器” 检测过滤器出风口的微粒浓度,若浓度超标,需及时更换(通常每 1 - 2 年更换一次);同时检查风淋室、传递窗等设备的运行状态,确保门锁、风机、喷嘴正常工作。此外,清洁人员需经过专业培训,熟悉清洁流程和工具使用方法,避免清洁过程中产生新的污染物。
无尘车间的照明系统需满足 “高亮度、无眩光、无频闪、不产尘” 的要求,同时需与洁净环境相适配,避免照明设备成为污染物来源。首先,照明亮度需根据生产需求确定:精密制造车间(如半导体光刻车间)的照度需达到 500 - 1000lux,确保操作人员能清晰观察细微部件;普通洁净车间(如食品加工车间)的照度需达到 300 - 500lux,满足基本生产操作需求;辅助区域(如更衣室、走廊)的照度可控制在 200lux 左右,平衡能耗与需求。其次,照明设备选型:优先选择 LED 平板灯,因其具有亮度高、能耗低(比传统荧光灯节能 50% 以上)、寿命长(可达 5 万小时以上)、无频闪的特点,且 LED 灯的外壳采用不锈钢或铝合金材质,表面光滑易清洁,不产尘;避免使用荧光灯,因其灯管易破碎,且镇流器可能产生电磁干扰,影响精密设备运行。照明设备安装时需采用嵌入式安装,与天花板无缝连接,避免设备与天花板之间产生缝隙藏尘;灯罩需具备防水、防尘功能(防护等级不低于 IP65),防止清洁时水分或清洁剂进入设备内部。此外,照明系统需配备应急照明,在断电时自动启动,照度不低于 50lux,确保人员能安全撤离车间。空气在净化车间内通常保持层流(单向流)或紊流(非单向流)状态。

对于企业而言,无尘车间的建设并非单一的施工环节,而是涵盖设计、采购、施工、维保的系统工程,兴元环境深刻洞察这一需求,打造了“一站式、综合型、系统化”的服务体系,为客户提供全流程解决方案。在项目初期,公司会安排专业团队深入企业生产现场,结合行业标准、生产工艺与现场条件,制定科学合理的设计方案,无论是空间布局、空气净化系统配置,还是温湿度控制、人流物流管理,都细致考量,确保方案既符合洁净度要求,又能适配企业实际生产需求。进入施工阶段,兴元环境依托ERP、PMP等专业管理系统,对施工过程进行精细化管控,从材料采购到施工工艺,每一步都严格把关,避免因细节疏漏导致后期返工。项目交付后,公司还提供长期维保服务,定期对无尘车间的空气净化系统、设备运行状态进行检查与维护,及时解决潜在问题,保障无尘车间长期稳定运行,让企业生产环境始终处于较佳状态。兴元环境为比亚迪多个产业园承建无尘车间,完美适配规模化生产的高稳定性需求。东莞万级无尘车间工程
无尘车间是一个高度洁净的环境,用于防止灰尘污染。佛山十万级无尘车间设计
半导体行业是无尘车间的主要应用领域之一,因芯片制造过程中,晶圆对微粒、金属离子、水汽等污染物极为敏感,需在极高洁净度的环境中进行。例如,晶圆光刻环节需在 ISO 1 - ISO 2 级洁净车间内进行:该等级下,每立方米空气中 0.1 微米微粒不超过 100 个,且需控制空气中的金属离子浓度(如钠、钾离子浓度低于 1ppb),防止金属离子影响光刻胶的感光性能;晶圆蚀刻环节则需在 ISO 3 - ISO 4 级洁净车间内进行,同时需控制车间内的湿度(低于 30%),避免水汽与蚀刻气体(如氟化物)反应生成腐蚀性物质,损伤晶圆表面。此外,半导体无尘车间还需具备严格的静电控制能力:车间内的地面、墙面、设备表面需做防静电处理,人员穿戴防静电无尘服,设备接地电阻控制在 10^6 - 10^9 欧姆之间,防止静电吸附微粒或击穿晶圆电路。可以说,半导体芯片的集成度越高(如 7 纳米、5 纳米制程),对无尘车间的洁净度、温湿度、静电控制要求越严格,无尘车间的技术水平直接决定了半导体制造的精度和良率。佛山十万级无尘车间设计