电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子平均自由程大于容器的线度时,它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时,由于气体导走了一部分热量,故当达到热平衡时,金属丝便保持一定的温度。气体的压强高,导走的热量多,平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数,可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。热偶真空计即是用一电阻来测量热丝的温度从而得到压强值的真空计。电阻由两种不同的金属丝连接而成,当两接点温度不同时就产生热电势,温差越大,热电势越高。电阻的一个接点与热丝相接触,另一接点处于室温,这样经过校正,即可由热电势的值转换为压强的值。它的测压范围为1~10-3pa。实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。昆明ZDJ-8型真空计价格
电阻真空计也称皮拉尼(Pirani)真空计,它是凭借热丝电阻的变化反映压力的。它主要由规管和测量线路两部分组成,其测量范围为104~10-1 Pa。电阻真空计是应用气体导热性能与气体压强有关的原理做的真空计。利用电桥测量真空中的电阻变化来换算出真空度。电阻真空计也叫皮氏真空计(皮拉尼)采用ZJ-52电阻规管。该真空计量程较宽、漂移较小。适用于真空设备的真空测量与控制。规管壳可用金属或玻璃制成,金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点,缺点是密封性能较差,价格高;玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点,缺点是易损坏。内蒙皮拉尼电阻真空表供应商隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计。
电阻真空计也称热电阻真空计或皮拉尼真空计,由电阻规管和测量仪表单元组成。现以定温式电阻真空计为例说明其测量原理。所谓定温式就是利用加热电源的自动补偿功能,在测量过程中保持热丝温度不变,也就恒定了热丝的电阻。在电阻规管里有一个电阻随温度变化的热丝,给热丝通电发热,若炉内气体较多,气体压力P就大,气体分子从热丝上传走的热量就多,热丝温度降低,热丝电阻也就随之减小,若取热丝两端电压V或流过热丝的电流I值作为补偿参数,加热电源系统会启动补偿功能,自动提高加热电压或电流,使其热丝温度保持不变,即恒定了热丝的电阻值。利用在一定温度下,补偿电压V或电流I与气体压强P的函数关系,就可计算出气体压强(真空度)。
真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真空测量与控制。电阻真空计是凭借热丝电阻的变化反映压力的。
本实用新型公开了一种电阻真空计校准电路,包括真空传感器,A/D采集芯片和单片机;真空传感器输出的电信号经A/D采集芯片进行模数转换后上传至单片机,还包括LCD显示屏,所述LCD显示屏与单片机的I/O口通信连接,所述单片机的I/O口还分别连接一个触发按键。本实用新型电阻真空计校准电路通过记录传感器的输入电压,据此计算出此输入电压与标准电压(0和5V)的对应关系,从而达到对传感器进行标准的目的,也克服了传统方案易受人为因素和环境温度影响的缺点。真空计传感器通常可用异丙醇清洗。内蒙皮拉尼电阻真空表供应商
数显隔膜真空计灵活可设置的方式为用户带来了很大的便利和适用性。昆明ZDJ-8型真空计价格
隔膜真空计是用于系统中检测腔体或管道压力的关键元器件,就隔膜真空计本身而言,根据其测量原理以及量程,精度,组织构造,分为很多种类型,这给实际使用中的隔膜真空计选型带来了一定的难度,本文旨在提供一种统一的选型思路,两步法快速帮助您快速定位所需的隔膜真空计种类。对于每一个等级内的真空度,较佳的测量仪器是不一样的,具体来说,若处于中低真空的范围,通常选用皮拉尼电阻规隔膜真空计,若处于高真空或者超高真空的范围,则只能选择电离规。需要注意的是,皮拉尼电阻规原理特性决定其在靠近大气端测量误差较大,且对气体种类敏感,因此若设备的工作真空度在10^3Pa以上,或者过程中对这个区域的真空度需要监控,而且要求测量精度很高,则不宜选择单纯的皮拉尼隔膜真空计,可以考虑皮拉尼与膜片电容复合的隔膜真空计。昆明ZDJ-8型真空计价格
上海家君真空仪表制造有限公司主要经营范围是仪器仪表,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为麦氏真空计,热偶真空计,电阻真空计,真空泵等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造仪器仪表良好品牌。家君真空仪表秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。