真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真空测量与控制。隔膜真空计是用于系统中检测腔体或管道压力的关键元器件。滨州电阻型真空计批发
皮拉尼电阻真空计是一种低真空测量仪器。该仪器由定温式电阻真空计组成,用于测量低真空。其使用范围在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。仪器采用真空规管作为传感器。稳定性好,不易损坏。仪器采用微处理机完成测量数据的采集和处理。具有自动非线性参数修正和误差补偿功能,并采用了光电隔离、数字滤波、防高电压冲击等技术,提高了测量精度及抗干扰能力,特别对于电子束、离子束以及弧放电等强干扰源都有非凡的抗干扰能力。每台真空计均设置有两组继电器输出接口,用来实现真空度定值点和区域的控制。定值点及区域可方便自由设定,该仪器控制面板更人性化,操作更方便,开电源即可工作。本机线路设计合理,制作工艺考究,采用了整板设计,波峰焊接。其软件编排独特,算法先进,使仪器的测量与控制稳定可靠。烟台智能型真空表销售数显隔膜真空计灵活可设置的方式为用户带来了很大的便利和适用性。
如果两侧压强差很大,则隔膜可能发生永玖变形甚至破损。通常情况下,为了防止隔膜过度变形,在电极和隔膜之间施加直流电压,通过静电引力使隔膜不发生变形。通过测量直流电压值,即可知压强,这种真空计被称为单电容隔膜真空计。在隔膜两侧分别设置电极而实现的差动式双电容隔膜真空计,进一步提高了测量精度和范围。隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金。为避免腐蚀气体的腐蚀,也有使用陶瓷隔膜的产品。电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关,反应快、重复性高,非常适合于氧气及油蒸气等特殊环境的真空测量。
在抽气管内塞入的钢针及橡皮头均是用于防止真空计在运输途中化学物质流失用的,请在真空计安置之后,与真空系统相连时再作抽出(请别丢弃,以后送维修时,还需塞紧后寄回)。对于您选择的挂壁或带杠杆式的真空计,采用罗栓作固定的安装时必须保证真空计与水平面的垂直度,采用支撑式或带杠杆的请将三根支撑杆一一拧上(杠杆式的在左侧还配有一根平衡杆),选择一个适合摆放支撑真空计的平台面,安置好真空计。当测量完毕后,应及时的关闭真空计与测量系统之间的阀门,将手轮退到拧不动为止,把杠杆退还到起始位置即可。真空计安装简单并且可以节省成本和空间。
电离计的反应热真空计快,但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的较小可检漏孔约为1*10-6——1*10-7托升/秒。在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用,另一方面还会引起不必要的读数波动,因为混进的空气分量时大时小。真空计垂直放置在大气时压强读数较小,水平放置在大气时,压强读数较大。衢州数显式电阻真空表批发
电阻真空计测量范围宽,将电子技术的新成就应用到电阻真空计中,可使其误差减小。滨州电阻型真空计批发
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