本公开涉激光技术领域:,尤其涉及一种可控的多波长激光输出装置,其输出波长可切换且功率可控。背景技术::伴随着激光技术的发展,各式各样的激光器广泛应用于工业、科研、医学、娱乐等领域。各个领域对激光器的输出方式、性能有了越来越高的要求。同时或者交替输出多种波长的激光器逐渐被很多应用场合所需要。在探测领域,如在大气颗粒物测量方面,通常同时使用1064nm、532nm、355nm至少三种波长进行探测;在一些医疗领域,如激光碎石,需要同时使用1064nm、532nm等波长的激光进行***;而在加工领域中,通常根据加工材料性质的要求,采取多波长激光切换或交替输出的工作方式。在现有的技术,如图1所示,是一种传统的腔外频率转换激光器,包括基频激光光源111、其后依次是二倍频非线性晶体121、三倍频非线性晶体122、二倍频非线性晶体固定在可移动的平台131上,三倍频非线性晶体122固定在可以移动平台132上。以此类推,通过移动平台,将非线性晶体移入移出光路,当非线性晶体在光路中时,频率转化可以发生,可产生二倍频或三倍频光;当非线性晶体移出光路时,可输出基频光。在现有技术中,如图2所示,一种传统的频率转换激光器。液态相对密度1. 204(-245.9℃)。熔点-248. 67℃,沸点- 245.9℃。临界温度- 228. 66℃,临界压力26.9×105 Pa,。内蒙古纯氖气价格
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。河南高纯氖多少升十分不活泼,不燃烧,也不助燃。液氖具有沸点低、蒸发潜热较高、使用安全等优点。
这产生了粗液氧塔底馏出物86(也称为釜液体)和富氮塔顶馏出物87。低压塔74还设置有多个传质接触元件,这些接触元件可以是塔盘或规整填料或散堆填料或低温空气分离领域中的其他已知元件。低压塔74中的这些接触元件被示出为规整填料79。如前所述。在低压塔74内发生的分离产生被提取为富氧液体流90的富氧液体塔底馏出物77和被提取为氮产物流95的富氮蒸气塔顶馏出物91。如附图所示,富氧液体流90可经由泵180泵送并被看作被泵送的液氧产物185,或被引导至主换热器52,在该主换热器中将该富氧液体流加热以产生气态氧产物流190。另外,还从低压塔74提取了废物流93以控制氮产物流95的纯度。氮产物流95和废物流93两者均穿过被设计为使釜流88和/或回流流过冷的一个或多个过冷单元99。经过冷回流流260的一部分可任选地被看作液体产物流98,并且其余部分可在穿过膨胀阀96之后被引入到低压塔74中。在穿过过冷单元99之后,氮产物流95和废物流93在主或初级换热器52内被完全加热,以产生经加热氮产物流195和经加热废物流193。尽管未示出,但是经加热废物流193可用于再生预纯化单元28内的吸附剂。用于回收氖气和氦气的系统/设备图2、图4、图5、图7和图8示意性地描绘了不可冷凝气体回收系统。
包括***路基频光源211、第二路基频光源212、其后放置非线性晶体221和非线性晶体222,光路反射镜231、以及光路切换装置241。***路基频光源211输出的基频光经过非线性晶体221产生一路波长的激光输出,第二路基频光源212经过非线性晶体222产生另一路波长的激光输出,两路波长在切换装置处进行切换,当切换装置开的时候,可实现两路合并输出,当切换装置关的时候,可实现其中一路输出。以上装置,一种是利用单台基频激光输出,通过机械手段控制所选波长的输出,这种采用机械装置的方式,频繁对器件进行移入移出光路的操作,长时间工作不利于激光器的稳定性。另一种是利用多路激光模块合并的方式,即利用多个激光晶体和多个非线性晶体产生多路的激光波长,再将各路激光选择性合并,这次方式增加了更多的晶体等器件,使得激光系统体积变大,且较多的器件提高了激光器的成本。除此之外,还有一些采用单台激光器进行非线性频率变换,再利用激光的偏振特性或者光学镀膜改变产生的各个波长的激光的路径,随后再进行分光或合束的方法,同样增加了激光器成本及光路的复杂性。公开内容(一)要解决的技术问题基于上述问题,本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置。用途用于霓虹灯、绝缘检测器、高频率验电器、等离子体研究、激光器等。
通过设置不同的多倍频非线性晶体并通过加热炉对非线性晶体进行温度控制,不需要引入大量多余的晶体和分光镜片,又能保证多波长沿着同一输出光路输出,且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节。还需要说明的是,实施例中提到的方向用语,例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等,*是参考附图的方向,并非用来限制本公开的保护范围。贯穿附图,相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本公开的理解造成混淆时,将省略常规结构或构造。并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例,而*示意本公开实施例的内容。另外,在权利要求中,不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。除非有所**为相反之意,本说明书及所附权利要求中的数值参数是近似值,能够根据通过本公开的内容所得的所需特性改变。具体而言,所有使用于说明书及权利要求中表示组成的含量、反应条件等等的数字,应理解为在所有情况中是受到「约」的用语所修饰。一般情况下,其表达的含义是指包含由特定数量在一些实施例中±10%的变化、在一些实施例中±5%的变化、在一些实施例中±1%的变化、在一些实施例中±%的变化。再者。氖气低压放电管用做指示灯。贵州高纯氖哪家好
临界温度:℃临界压力:2720kPa临界密度:压缩系数:温度(℃)压缩系数。内蒙古纯氖气价格
该汽提塔冷凝器被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔的含不可冷凝气体的塔顶馏出物以及冷凝介质,该汽提塔冷凝器还被构造成产生释放到不可冷凝物汽提塔中或引导至不可冷凝物汽提塔的冷凝物、由冷凝介质的蒸发或部分蒸发形成的物流、以及含不可冷凝物的排放流;以及(iii)回流冷凝器。该回流冷凝器被构造成接收来自汽提塔冷凝器的含不可冷凝气体的排放流以及第二冷凝介质,该回流冷凝器还被构造成产生被引导至不可冷凝物汽提塔的冷凝物、由第二冷凝介质的蒸发或部分蒸发形成的第二物流、以及包含大于约50%摩尔份数的粗氖蒸气的含氖排放流,其中将液氮塔底馏出物的全部或一部分过冷以产生经过冷液氮流,并且第二冷凝介质是该经过冷液氮流的一部分。本发明还可进一步被表征为用于从双塔空气分离单元回收氖气的方法,该方法包括以下步骤:(a)将来自主冷凝器-再沸器的液氮流和来自双塔空气分离单元的高压塔的富氮盘架蒸气流引导至不可冷凝物汽提塔,该不可冷凝物汽提塔被构造成产生液氮塔底馏出物和含不可冷凝物的塔顶馏出物;(b)将该液氮塔底馏出物的全部或一部分过冷以产生经过冷液氮流;(c)用冷凝介质将来自含不可冷凝气体的塔顶馏出物的氮气冷凝以产生冷凝物和含氖排放流。内蒙古纯氖气价格