企业商机
半导体晶圆基本参数
  • 品牌
  • SUMCO,ShinEtsu,SK
  • 型号
  • 8inch,12inch
  • 类型
  • 元素半导体材料
  • 材质
  • 用途
  • 测试
  • 特性
  • 半导体
  • 电阻率
  • 电阻率1-100
  • 产地
  • 中国台湾日本韩国
  • 规格尺寸
  • 150-300
  • 颜色
  • 乳白色
半导体晶圆企业商机

    本申请提供了具有强度较大的基板结构的芯片,其具有晶圆层的边框结构,也可以具有晶圆层的内框结构,以便减低芯片在进行热处理、加工与焊贴等工序时,因为应力或热应力而导致失效的机率。在此同时,还要降低上述基板结构的电阻值,以便减少消耗功率,降低热耗损,增进芯片的使用寿命。附图说明图1为现有半导体基板的结构的一剖面示意图。图2为现有半导体基板的结构的另一剖面示意图。图3为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的一剖面示意图。图4为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的一剖面示意图。图5a与5b为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面示意图。图6为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面的一示意图。图7为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面的一示意图。图8a为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的一剖面示意图。图8b为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的一剖面示意图。图9为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的一剖面示意图。图10a与10b为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面示意图。图11a为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面的一示意图。半导体硅晶圆领域分析。四川12英寸半导体晶圆代工

    图23揭示了根据本发明的一个实施例的可以执行图7至图22揭示的晶圆清洗工艺的晶圆清洗装置。图24揭示了根据本发明的一个实施例的可以执行图7至图22所揭示的晶圆清洗工艺的另一晶圆清洗装置的剖视图。图25揭示了根据本发明的一个实施例的用于监测采用声能清洗晶圆的工艺参数的控制系统。图26揭示了根据本发明的一个实施例的如图25所示的检测电路的框图。图27揭示了根据本发明的另一个实施例的如图25所示的检测电路的框图。图28a至图28c揭示了根据本发明的一个实施例的如图26所示的电压衰减电路。图29a至图29c揭示了根据本发明的一个实施例的如图26所示的整形电路。图30a至图30c揭示了根据本发明的一个实施例的如图26及图27所示的主控制器。图31揭示了主机关闭声波电源后声波电源继续振荡几个周期。图32a至图32c揭示了根据本发明的一个实施例的如图27所示的振幅检测电路。图33揭示了根据本发明的一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。图34揭示了根据本发明的另一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。具体实施方式本发明的一个方面涉及使用声能进行半导体晶圆清洗时控制气泡气穴振荡。下面将参考附图描述本发明的实施例。参考图1a至图1b。淄博半导体晶圆行价进口半导体晶圆产品的价格。

    从而可使所述连接台35带动所述横条33绕圆弧方向左右晃动,当所述横条33沿圆弧方向向上移动时,所述第二齿牙34可与所述***齿牙38啮合,进而可带动上所述滑块47向左移动,则可使所述夹块49向左移动。另外,在一个实施例中,所述从动腔62的后侧开设有蜗轮腔69,所述旋转轴36向后延伸部分均伸入所述蜗轮腔69内,且其位于所述蜗轮腔69内的外周上均固设有蜗轮64,所述蜗轮腔69的左壁固设有***电机63,所述***电机63的右侧面动力连接设有蜗杆65,所述蜗杆65的右侧面与所述蜗轮腔69的右壁转动连接,所述蜗杆65与所述蜗轮64啮合,通过所述***电机63的运转,可使所述蜗杆65带动所述旋转轴36转动。另外,在一个实施例中,所述稳定机构102包括限制块39,所述横板41向右延伸部分伸出外界,且其右侧面固设有手拉块40,所述横板41内设有开口向上的限制腔42,所述从动腔62的上侧连通设有滑动腔43,所述滑动腔43与所述送料腔68连通,所述限制块39滑动设在所述滑动腔43的右壁上,所述限制块39向下滑动可插入所述限制腔42内,所述限制块39向下延伸部分贯穿所述送料腔68,并伸入所述从动腔62内,且其位于所述横条33上侧,所述第二齿牙34可与所述限制块39抵接,所述限制块39的顶面固设有拉杆45。

    为了能将花篮内部的圆形空间灵活地分隔为半圆形、不同角度扇形等不同形状,以适用于相应形状的晶圆,推荐地,该治具还包括一组竖直挡板;所述平放花篮的镂空侧壁内缘及相应位置的圆形底盘上设置有一系列用于固定所述竖直挡板的卡槽,竖直挡板与相应的卡槽配合可将平放花篮内的空间划分为不同角度的扇形空间。进一步推荐地,所述竖直挡板上设置有一组通孔,以便清洗液在所分隔的不同空间中流动。为了适用于不同规格的晶圆清洗,推荐地,所述一组平放花篮中包括多个具有不同半径圆形底盘的平放花篮。推荐地,所述提把的上端带有挂钩,以便在清洗时将整个治具悬挂在清洗槽边缘或挂杆上。为了便于公众理解,下面通过一个实施例并结合附图来对本实用新型的技术方案进行详细说明:如图1、图2所示,本实施例的治具包括提把1和一组不同尺寸规格(例如对应于**常见的4寸、5寸、6寸晶圆的尺寸)的平放花篮2;所述提把1沿竖直方向均匀设置有一组连接端口11(本实施例的连接端口为5个,相邻端口间的高度差为5cm),提把1的顶端还设置有用于悬挂清洗治具的挂钩;所述平放花篮2由圆形底盘21和设置在圆形底盘21边缘的一圈镂空侧壁22组成,圆形底盘21上设置有一组通孔。半导体晶圆厂家供应。

    声波能量不能有效地传递到通孔或槽中,到达它们的底部和侧壁,而微粒、残留物和其他杂质18048则被困在通孔或槽中。当临界尺寸w1变小时,这种情况很容易发生在先进的半导体工艺中。参考图18i至图18j所示,气泡18012的尺寸增大控制在一定范围内,气泡总体积vb与通孔或槽或其他凹进区域的总体积vvtr的比值r远低于饱和点rs。因为在特征内有小气泡气穴振荡,新鲜的清洗液18047在通孔或槽中自由交换,使得残留物和颗粒等杂质18048可以轻易地排出,从而获得良好的清洗性能。由于通孔或槽中气泡的总体积由气泡的数量和大小决定,因此控制气穴振荡引起的气泡尺寸膨胀对于具有高深宽比特征的晶圆的清洗性能至关重要。图19a至图19d揭示了对应于声能的气泡体积变化。在气穴振荡的***个周期,当声波正压作用于气泡后,气泡体积从v0压缩至v1;当声波负压作用于气泡后,气泡体积膨胀至v2。然而,对应v2的气泡的温度t2要高于对应v0的气泡的温度t0,因此如图19b所示v2要大于v0。这种体积增加是由气泡周围的液体分子在较高温度下蒸发引起的。类似的,如图19b所示,气泡第二次压缩后的体积v3在v1与v2之间。v1、v2与v3可表示为:v1=v0-△v(12)v2=v1+δv。半导体晶圆推荐咨询??合肥半导体晶圆供应商

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    金属层310可以代换为金属层510。图6所示剖面600的**是晶圆层320。该结构300所形成的芯片可以是矩形,也可以是正方形。在该晶圆层320的中间是该金属层310。该金属层310的上下轴长度611与左右轴长度612可以是相同,也可以不同。当两者相同时,该金属层310的剖面是正方形。该金属层310剖面与该晶圆层320外缘之间,是该晶圆层320用于包围该金属层310的四个边框。该四个边框的厚度可以相同,也可以不同。举例来说,相对于上下外缘的厚度621与623可以相同,相对于左右外缘的厚度622与624可以相同。但厚度621与622可以不同。本领域普通技术人员可以透过图6理解到,本申请并不限定该晶圆层320外缘的形状。换言之,本申请不限定该芯片的形状。本申请也不限定该金属层310的形状。除此之外,当该晶圆层320与该金属层310都是矩形时,本申请也不限定该晶圆层320用于包围该金属层310的四个边框的厚度。在一实施例当中,这四个边框的厚度621~624可以相同,以简化设计与制作的问题。在另一实施例当中,这四个边框当中两组边框的厚度可以相同,以简化设计与制作的问题。在更一实施例当中,这四个边框的厚度621~624可以完全不同,以便适应芯片设计的需要。请参考图7所示。四川12英寸半导体晶圆代工

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该晶圆制作方法1500可以用于制作本申请所欲保护的其他基板结构,而不只限于基板结构1000。步骤1510:提供晶圆。该晶圆可以是图13或14所示的晶圆1300或1400。在图16a当中,可以看到晶圆层820的剖面。图16a的晶圆层820的上表面,是图10a实施例所说的第二表面822。步骤1520:根据所欲切割芯片的大小与图样,涂布屏蔽层。在图16b当中,可以看到屏蔽层1610的图样,形成在晶圆层820的上表面。而每一个芯片预定区域的屏蔽层1610的图样,至少要在该芯片的周围形成边框区域。当所欲实施的基板结构如同图8a~10b所示的基板结构800~1000,或是具有内框结构时,则屏蔽层1...

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