半导体洁净室工程建设与设计

    洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。中文名洁净室外文名CleanRoom亦称无尘车间、无尘室主要功能控制空气污染应用场合精密机械工业、半导体工业等行业目录1简介2分类▪按气流的流动状态分▪按受控粒子的性质划分3实现洁净度要求的通风措施4洁净室气流组织考虑原则5洁净室的负荷特点和节能6洁净室设计对生产工艺的要求洁净室简介编辑洁净室的发展与现代工业、前列技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率*10%~15%，64为储存器*2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。 苏州洁净室厂家？上海中沃提供定制服务。半导体洁净室工程建设与设计

    洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施[1]：（1）对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行***一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。（2）根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。（3）有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。 专业洁净室价格上海洁净室厂家？找上海中沃。

    二、气流组织：洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同，它要求将**干净的空气首先送到操作部位，它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此，在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求，选择不同的送、回风方式。不同的气流组织，各有其特点和范围：1）垂直单向流:均可获得均匀向下气流，便于工艺设备布置，自净能力强，可简化人身净化设施等共同设施等共同优点外，四种送风方式还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点，但顶棚结构复杂，造价高;侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反，其中全孔板顶送在系统非连续运行时，孔板内表面易积尘，维护不好，对洁净度有些影响;密集散流器顶送，因需要一段混和层，所以只适用于4m以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿;对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式*适用两侧净间距小于6m的洁净室。

    洁净车间管理中常见的问题1、故障现象：空调新风口过滤器没有及时清理故障结果：由于新风口堵塞造成新风进风量不足，输出风流量不够，洁净室正压不足。解决办法：每7天检查一次新风口过滤网，发现脏污及时清洗或更换。2、故障现象：新风口过滤网缺少一块没有装故障结果：由于失去新风口过滤器的保护，初效过滤器更换几天后就很快的堵塞失效。解决办法：自制或外加工一块新风口过滤器，保障所有进入初效过滤器的新风全部经过过滤。3、故障现象：初效过滤器脏污堵塞故障结果：新风、回风混合进风量不足，空调风机输出流量不够造成洁净室正压不足。解决办法：每月（30天）进行一次清洗，清洗三次后更换新的滤布4、故障现象：空调风机皮带太松或断开脱落故障结果：洁净室正压很小或没有正压。解决办法：每班检查一次。5、风机轴承每月（30天）加注一次润滑油脂，否则电机轴承会卡死烧毁电机。6、每月进行一次空调箱体包括内外表面、风机机身叶片的清洗工作，保证空调机组任何部位都洁净无灰尘。7、每年清理一次表冷器表面的积灰，保证换热效果故障现象：中效袋式过滤器脏污堵塞故障结果：空调送风量不足，洁净室正压不够。解决办法：每两月（60天）清洗一次过滤袋。

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    1，洁净室的污染源有：a、人是洁净室较大的污染源规范进入洁净室内人员的着装和洁净室内人员的行为动作以控制人员的产尘。b、周围环境的污染空气的渗入加强维护结构的密封、堵漏，维持洁净室的正压。c、未经HEPA过滤的空气的送入对送入洁净室的空气要全部经过三级过滤，终端是HEPA过滤，安装过滤器要密封、检漏、堵漏。维持洁净室内的正压。d、围护结构的产尘和其他表面的产尘对围护的表面、顶、墙、地以及其他表面要定期擦拭、消毒和清扫。e、工艺设备和工艺过程的产尘对工艺的产尘要进行局部处理，避免污染扩散到全室。加强局部围挡和局部排风等。f、原材料、容器、水、气、溶剂以及外包装的产尘外包装不应在洁净室内拆除。容器要进行消毒清洗处理，原材料要溯源到原材料的生产、供应、包装等情况。控制原材料、水、气和溶剂的净化来控制其带来的污染。g、在自然界和人们生活环境中存在有大量的微生物。例如；每克土壤中存在有104~1010个微生物，每克水中存在有101~104个微生物，每克空气中存在有104~106个微生物，每平方厘米人的皮肤中存在有101~104个微生物，每平方厘米的地板中存在有104~107个微生物，而且微生物又是一种耐寒，耐热，抗辐射，抗紫外线照射。 洁净室车间的规划有哪些？找上海中沃。百万级洁净室定做价格

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    洁净室又被称为无尘室或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。博泰小编带您了解洁净室的等级和分类有哪些?一、洁净室等级标准1、洁净区的设计必须符合相应的“静态”标准，以达到“动态”的洁净要求。“静态”是指安装已经完成并已运行，但没有操作人员在场的状态。而“动态”是指生产设施按预定工艺模式运行并有规定数量的操作人员现场操作的状态。2、生产操作全部结束，操作人员撤离生产现场并经15～20min（指导值）自净后，洁净区应达到表中的“静态”标准。药品或敞开容器直接暴露环境微粒动态测试结果应达到表中A级的标准。3、无菌操作的隔离操作器所处环境的级别至少应为D级。4、在确认级别时，应使用采样管较短的便携式尘埃粒子计数器，以避免在远程采样系统长的采样管中≥μm尘粒的沉降。在单向流系统中，应采用等动力学的取样头。5、可在常规操作、培养基模拟灌装过程中进行测试。 半导体洁净室工程建设与设计

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