洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。 洁净室的标准?找上海中沃。10万级洁净室生产厂家

缓冲室可用于物料的净化,同时保持设备室的洁净度和正压。药品生产的物流净化系统采用带有互锁设施的缓冲室或传递窗,不得作人流通道。不足之处:没有缓冲室。其他不足之处此图为二更区域处张贴的KT板,容易聚集尘埃,不便清洁,且污染洁净区,且不应对墙体刻字涂写。洁净室工程施工安装、调试、验收要点一、基本要求1、承担洁净厂房工程的施工企业,应具有相应工程施工资质及其等级,并应具有完善的质量管理体系。2、洁净厂房的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时,应经原设计单位的确认、签证,并得到建设单位的同意。3、洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点,制订施工方案和程序,做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚,确保整体施工质量和安全操作。4、施工企业承担对洁净厂房工程内各专业设计图纸进行深化的施工详图设计时,应执行现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关规定,并应加强设计质量管理,具有质量管理体系,施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认,并得到建设单位的同意后,方能进行施工。5、洁净厂房工程中各专业的隐蔽工程,隐蔽前必须经建设单位或监理人员的验收及认可签证。6、洁净厂房工程竣工验收的系统调试。 千级洁净室定做价格洁净室的洁净度要达到多少?找上海中沃。

洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干。对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低速一风速的可行性。在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的垂直平行流(层流)洁净室≥(层流)洁净室≥,但认为应区别不同情况分出不同的档别,更能体现节能的目的。
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施[1]:(1)对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行***一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。(2)根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。(3)有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。 洁净室车间的规划有哪些?找上海中沃。

要求其必须采用不燃烧体材料,且耐火极限要达到相应技术规范的要求。2、安全疏散鉴于洁净室自身的特点,我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求,综合分析疏散人流、疏散路线、疏散距离等因素,通过科学计算,选出比较好疏散线路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一个安全的疏散结构体系,使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。此外,由于洁净室多处于密闭状态,自然采光条件差,必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明,并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向,迅速撤离事故现场。3、采暖通风和防排烟洁净室内通常都布置有通风空调系统,其目的是为了保障洁净室内各洁净室的空气洁净度,但同时也带来了一潜在的火灾隐患,如果对通风空调系统防火处理不当,就会使烟火通过通风空调管网四处蔓延,造成火势扩大。因此,我们在设计时要按规范要求在通风空调管网的适当部位合理设置防火阀,并按要求选好管网材料,做好管网穿墙、穿楼板的防火封堵工作,防止火势随通风空调系统蔓延。同时,由于洁净室相对密闭,不利于自然排烟。应在厂房内设置事故排烟系统,在疏散走道上设置正压送风的机械排烟系统。 洁净室设计的要素有哪些?问上海中沃。三十万洁净室哪家好
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二、气流组织:洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将**干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。不同的气流组织,各有其特点和范围:1)垂直单向流:均可获得均匀向下气流,便于工艺设备布置,自净能力强,可简化人身净化设施等共同设施等共同优点外,四种送风方式还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点,但顶棚结构复杂,造价高;侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反,其中全孔板顶送在系统非连续运行时,孔板内表面易积尘,维护不好,对洁净度有些影响;密集散流器顶送,因需要一段混和层,所以只适用于4m以上高大洁净室,其特点与全孔板顶送相仿;对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式*适用两侧净间距小于6m的洁净室。 10万级洁净室生产厂家
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