金融界2024年2月1日消息,据国家知识产权局公告,南京高华科技股份有限公司取得一项名为“一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法“,申请日期为2022年8月。摘要显示,本发明提供一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,MEMS压阻式压力传感器包括衬底、氧化层、第二氧化层和压敏电阻;所述氧化层包括区域和第二区域,所述区域位于所述平面的上方并平行于所述平面;所述第二区域的一端连接所述衬底,另一端连接所述区域;所述衬底、所述区域、所述第二区域之间围合构成中空的腔室,且至少部分所述第二区域倾斜设置;在所述氧化层和所述第二氧化层之间夹设所述压敏电阻,且所述压敏电阻沿所述第二区域的倾斜面敷设。本发明的一个技术效果在于,结构设计合理,不仅能够地缩小MEMS压阻式压力传感器的尺寸,还有助于提升MEMS压阻式压力传感器的灵敏度。力灵智能的压力传感器可用于汽车和航空航天领域。云南代理压力传感器价格
该误差的产生原因在于扩散过程的变化。第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一定的误差校准,尽的可能来降低误差以满足客户的需要。河南哪些是压力传感器哪家好作为专业的压力传感器供应商,力灵智能坚持品质至上,为客户提供可靠产品。
压力传感器的性能参数压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济、合理的使用。1.额定压力范围额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在和温度之间,传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。2.压力范围压力范围是指传感器能长时间承受的压力,且不引起输出特性性改变。特别是半导体压力传感器,为提高线性和温度特性,一般都大幅度减小额定压力范围。因此,即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般压力是额定压力值的2-3倍。3.损坏压力损坏压力是指能够加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的压力。4.线性度线性度是指在工作压力范围内,传感器输出与压力之间直线关系的偏离。5.压力迟滞为在室温下及工作压力范围内,从小工作压力和工作压力趋近某一压力时,传感器输出之差。6.温度范围压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿,精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。
压电压力传感器压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号的一种传感器,其中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。它既可以用来测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。汽车胎压监测靠压力传感器把关,时刻守护行车安全无虞。
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排除这种故障的方法是将传感器卸下,直接察看零位是否正常,若零位正常可更换密封圈再试;3、变送器输出信号不稳。这种故障有可能是压力源的问题。压力源本身是一个不稳定的压力,很有可能是仪表或压力传感器抗干扰能力不强、传感器本身振动很厉害和传感器故障;第四种是变送器与指针式压力表对照偏差大。出现偏差是正常的现象,确认正常的偏差范围即可;4、微差压变送器安装位置对零位输出的影响。微差压变送器由于其测量范围很小,变送器中传感元件会影响到微差压变送器的输出。安装时应使变送器的压力敏感件轴向垂直于重力方向,安装固定后调整变送器零位到标准值。5、零点漂移作为专业的压力传感器供应商,力灵智能坚持品质至上,为客户提...