中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中,打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景:半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区,采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署,实时监测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 50L/min,数据更新周期 2 秒)、温度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、湿度(45±2% RH,精度 ±1%)及相邻区域压差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm,可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节,当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿,使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用,符合 SEMI S2 安全标准,环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净为 30 + 罐头生产企业降低微生物污染风险,商业无菌不合格率大幅下降!深圳万级车间环境监测计数器标准操作规程

中源绿净为光伏组件洁净车间定制的环境监测系统,强化了粉尘与静电的协同管控。应用场景:光伏组件层压洁净车间。针对 1000 级层压洁净区,部署耐温型监测终端,可耐受车间 50℃环境温度,监测参数包括 0.3μm 粉尘浓度(采样流量 28.3L/min)、静电电压(量程 - 1000~+1000V,精度 ±10V)、层压区温度(130~150℃,精度 ±1℃)及湿度。采用非接触式静电传感器和红外测温技术,数据采样间隔 3 秒 / 次,确保及时发现参数异常。通过静电消除联动控制,使组件隐裂率下降 35%,配合粉尘浓度调控,使组件转换效率提升 2%。已在隆基绿能、晶科能源等企业应用,满足 IEC 61215 光伏组件标准,环境管控达标率维持在 99.85%。深圳万级车间环境监测计数器标准操作规程中源绿净为 35 + 颜料厂做环境监测,重金属排放达标率 100%,生产合规!

中源绿净在电子封装测试洁净室环境监测中,构建了微粒 - 静电 - 温湿度三位一体管控体系。应用场景:半导体封装测试洁净车间。针对 100 级封装区,采用每 2 平方米 1 个监测终端的布局,实时监测 0.3μm 微粒浓度(采样流量 28.3L/min,数据更新周期 2 秒)、静电电压(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、温度(22±1℃,精度 ±0.3℃)及湿度(40%~50% RH,精度 ±2%)。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm,配合压电式静电传感器,响应时间均≤0.5 秒。通过与封装设备联动,当微粒浓度超标时自动启动局部净化,使芯片封装引线键合不良率下降 48%。已在长电科技、通富微电应用,符合 JEDEC J-STD-033B 标准,环境参数稳定达标率 99.94%。
中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中,打造了超微颗粒 管控体系。应用场景:半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区,采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署,可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度,采样流量达 50L/min,数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器, 小检测粒径达 0.05μm,检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动,当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用,符合 SEMI F21 洁净度标准,连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。中源绿净在环境监测领域,为 50 + 企业提供远程监测服务,打破地域限制!

中源绿净在电子元器件洁净车间洁净度监测中,构建了多粒径微粒全流程管控体系。应用场景:电子元器件生产洁净车间。针对 100 级至 1000 级洁净环境,采用每 2 平方米 1 个监测终端的高密度部署,可实时采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒径微粒浓度,采样流量达 50L/min,数据更新周期为 2 秒 / 次。系统搭载激光散射式粒子计数器, 小检测粒径达 0.1μm,检测精度误差≤±10%。通过自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,当微粒浓度超过阈值时自动联动 FFU 风机过滤单元调节风速,使元器件表面微粒附着率下降 58%。已在富士康、立讯精密等企业应用,符合 ISO 14644-1 洁净室标准,连续运行数据显示洁净度达标率达 99.94%。中源绿净为 45 + 烘焙店做环境监测,面团发酵更稳定,产品口感一致性提 15%!苏州手持环境监测测试国家标准
中源绿净环境监测服务,使 65 + 肥皂厂生产监测,原料混合均匀度提 15%!深圳万级车间环境监测计数器标准操作规程
中源绿净在食品添加剂洁净车间环境监测中,推出了粉尘 - 微生物双维度方案。应用场景:食品添加剂生产洁净车间。针对 C 级洁净生产区,配置防尘防潮监测终端,同步监测 1μm 粉尘浓度(检测下限 0.001mg/m³)、微生物总数(检测频率 1 次 / 小时)、温度(18~26℃,精度 ±0.5℃)及湿度(40%~60% RH)。采用光散射法粉尘传感器,响应时间≤1 秒,数据存储支持 365 天全量回溯。系统对接生产 MES 系统,当粉尘浓度超标时自动启动除尘装置,使添加剂纯度(≥99.5%)达标率提升 40%。通过微生物趋势预警,提前 6 小时识别污染风险,使产品微生物超标率下降 60%。已在阜丰集团、梅花生物等企业应用,符合 GB 14881 食品生产规范,环境监测数据准确率 100%。深圳万级车间环境监测计数器标准操作规程