中源绿净为半导体晶圆切割洁净室开发的环境监测系统，重点强化了微粒与湿度的 管控。应用场景：晶圆切割与划片洁净车间。针对 100 级切割区，部署防静电监测终端，同步采集 0.3μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、车间湿度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割区温度（23±1℃）及静电电压（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子计数器， 小检测粒径达 0.1μm，配合湿度动态调节算法，可将湿度波动控制在 ±3% 以内。系统支持与切割设备联动，当微粒浓度超标时自动暂停作业，使晶圆切割崩边率下降 45%。已在中芯国际、华虹半导体应用，符合 SEMI F47 电压标准，环境稳定性达标率 99.93%。中源绿净的环境监测设备，已在 30 + 汽车零部件厂稳定运行 3 年 +，性能可靠！苏州千级环境监测监测
中源绿净面向医疗器械生产洁净室（无菌注射器 / 人工关节制造）推出合规型环境监测方案，设备通过 YY/T 0287-2017 医疗器械质量管理体系认证，监测参数满足 ISO 14644-1 Class 7 要求，其中 0.5μm 粒子大允许浓度检测误差＜3%。方案集成产品生产批号关联功能，可实现 “洁净度数据 - 产品批次” 一键追溯，某人工关节企业应用后，产品抽检洁净度不合格率从 1.2% 降至 0.1%。设备支持多用户权限管理（管理员 / 操作员 / 审计员三级权限），满足医疗器械行业分级管控需求；数据导出格式兼容 FDA 21 CFR Part 11 电子签名要求，无需额外格式转换。已服务 180 余家医疗器械企业，提供合规咨询（含洁净室监测方案设计），设备安装调试周期≤5 天，快速满足企业生产需求。深圳模块化环境监测计数器厂家中源绿净的环境监测方案，助力 20 + 逆变器生产企业降低设备故障率，节约维修成本！
中源绿净为光学镜片镀膜洁净室定制的环境监测系统，聚焦于微粒与气体纯度的 管控。针对镜片镀膜的 10 级洁净区，部署了超高精度监测终端，可检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、镀膜气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、环境温湿度及气压。采用激光诱导击穿光谱技术（LIBS）检测气体纯度，响应时间≤1 秒，数据采样频率达 10 次 / 秒。通过与镀膜机联动控制，当气体纯度不达标时自动切断气源，使镜片镀膜不良率下降 45%。已在华为光学、舜宇光学等企业应用，满足 ISO 10110 光学镜片标准，环境管控达标率维持在 99.9%。
中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中，打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景：半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，实时监测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、温度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、湿度（45±2% RH，精度 ±1%）及相邻区域压差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm，可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节，当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿，使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI S2 安全标准，环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净在环境监测方面，服务网点覆盖全国 200 + 城市，可迅速响应客户需求，解决监测难题！
中源绿净在光伏硅片清洗洁净室环境监测中，推出了粉尘 - 水质双维度方案。应用场景：光伏硅片清洗洁净车间。针对 1000 级清洗区，配置防尘型监测终端，同步监测 0.3μm 粉尘浓度（检测下限 0.001mg/m³）、清洗用水微粒（0.5μm 粒径，10 粒 / L 以下）、温度（20~25℃）及湿度（45%~55% RH）。采用 β 射线吸收法测尘技术，响应时间≤1 秒，数据采样间隔 5 秒 / 次。系统对接清洗机 PLC，水质超标时自动切换过滤单元，使硅片表面洁净度达标率提升 42%。已在隆基绿能、晶科能源应用，符合 IEC 61215 标准，环境管控达标率 99.85%。中源绿净的环境监测设备，帮 45 + 制药厂洁净区监测，微生物超标率降 5%！模块化环境监测计数器标准操作规程
中源绿净为 75 + 食品厂做环境监测，车间洁净度提升，产品保质期延 3 天！苏州千级环境监测监测
中源绿净面向电子封装洁净室（集成电路封装 / 传感器封装）推出高精度环境监测方案，针对封装环节对 “微尘 + 湿度” 的敏感需求，设备湿度测量精度达 ±2% RH（20%-60% RH 区间），0.3μm 粒子检测重复性误差＜1%，符合 JEDEC J-STD-033B 电子元件湿度敏感标准。方案支持封装车间 “多工位监测”（1 台主机可连接 16 个监测子站），某集成电路封装厂应用后，因湿度异常导致的封装开裂率下降 6.5%。设备采用工业级元器件，MTBF（平均无故障时间）达 50000 小时，远超行业平均 30000 小时；数据传输支持 5G 网络，适合大型封装车间远距离数据传输。中源绿净提供电子封装行业技术白皮书（含洁净室监测点位规划指南），帮助企业优化监测布局，同时提供设备延保服务（基础质保 21年，延保后长 5 年）。苏州千级环境监测监测
