中源绿净为半导体离子注入洁净室定制的洁净度监测系统,强化了高能环境下的监测可靠性。应用场景:半导体离子注入洁净车间。依据 SEMI F47 标准,在 100 级注入区部署耐辐射监测终端,可承受高能离子辐射环境,实时监测 0.3μm 微粒浓度、注入区温度(20~25℃±0.5℃)及静电电位。采用防辐射涂层处理传感器,在辐射环境下检测精度衰减≤5%/ 年。通过与离子源设备联动调节,当微粒浓度异常时自动优化束流参数,使离子注入掺杂不均匀率下降 42%。已在中芯宁波、联电等企业应用,通过半导体设备认证,监测数据追溯通过率 100%。中源绿净的环境监测系统,具备智能化分析功能,为企业提供决策支持!深圳手持环境监测监测

中源绿净为光学镜片镀膜洁净室定制的环境监测系统,聚焦于微粒与气体纯度的 管控。针对镜片镀膜的 10 级洁净区,部署了超高精度监测终端,可检测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 100L/min)、镀膜气体纯度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)、环境温湿度及气压。采用激光诱导击穿光谱技术(LIBS)检测气体纯度,响应时间≤1 秒,数据采样频率达 10 次 / 秒。通过与镀膜机联动控制,当气体纯度不达标时自动切断气源,使镜片镀膜不良率下降 45%。已在华为光学、舜宇光学等企业应用,满足 ISO 10110 光学镜片标准,环境管控达标率维持在 99.9%。激光环境监测检测标准对照表中源绿净环境监测方案,已成功应用于 30 + 行业,满足不同场景需求,为企业保驾护航!

中源绿净在精密光学镀膜洁净室环境监测中,推出了微粒 - 气体纯度双维度方案。应用场景:光学镜片镀膜洁净车间。针对 10 级镀膜区,配置超高精度监测终端,同步监测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 100L/min)、镀膜气体纯度(99.999%~99.9999%)、温度(20~25℃,精度 ±0.3℃)及湿度(30%~40% RH)。采用激光诱导击穿光谱技术检测气体纯度,响应时间≤1 秒,数据采样频率 10 次 / 秒。通过与镀膜机联动控制,当气体纯度不达标时自动切断气源,使镜片镀膜透光率达标率提升 42%。已在舜宇光学、蔡司光学应用,符合 ISO 10110 光学标准,环境管控达标率 99.95%。
中源绿净针对航空航天部件洁净室的环境监测方案,强化了低湿度环境下的洁净度管控。依据 AS9100 航空质量管理体系要求,在航天发动机部件装配的 8 级洁净区,部署了低湿度 监测终端,可耐受 10%~30% RH 的低湿环境,监测参数包括 0.5μm 微粒浓度、 温度(测量范围 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空气洁净度等级等。采用电解法湿度传感器,在低湿环境下测量精度仍保持 ±2% RH,数据刷新周期为 30 秒 / 次。系统具备与除湿机组的联动调节功能,湿度波动控制在 ±3% 以内,使航空部件表面氧化率下降 62%。已服务于中国商飞、航天科技集团等 12 家企业,助力其部件通过航天级环境验证,环境数据合规率 100%。中源绿净的环境监测设备,帮 35 + 香精厂储存监测,品质保持期延长 3 个月!

中源绿净的洁净度在线监测产品,依托互联网技术与移动应用开发,打造了完善的远程监控与移动管理功能,让用户摆脱时间与空间的限制,随时随地掌握洁净环境状态,提升洁净管理的灵活性与效率。远程监控功能主要通过云端监控平台实现,用户可通过电脑、平板等设备登录云端平台,实时查看所有监测设备的运行状态与监测数据。云端平台采用直观的可视化界面,以地图或车间布局图的形式展示各监测设备的安装位置,设备图标颜色会根据洁净度状态变化(如绿色表示正常、黄色表示预警、红色表示报警),用户可快速识别异常设备。点击设备图标,可查看该设备的详细监测数据,包括实时微粒浓度、微生物数量、温湿度、压差等指标,数据以数字、曲线、仪表盘等多种形式呈现,方便用户直观了解数据变化趋势。中源绿净在环境监测方面,为 30 + 学校提供空气质量检测,保障师生健康!在线环境监测计数器使用说明书
中源绿净的环境监测方案,助力 30 + 企业提升环境管理水平,树立良好企业形象!深圳手持环境监测监测
中源绿净针对半导体封装测试洁净室(芯片封装 / 成品测试环节)推出抗粉尘环境监测方案,针对封装测试车间产生的芯片粉尘,设备采样管采用防堵塞结构(内置自动清理装置,每小时清理 1 次),粒子传感器采用耐磨涂层,0.5μm 粒子检测误差<2.5%,符合 SEMI G10-0303 半导体洁净室标准。方案支持与封装测试设备联动,当检测到粉尘超标时自动暂停测试设备,某半导体封装测试企业应用后,因粉尘导致的测试不良率下降 7%。设备工作温度范围宽(-10℃~55℃),可适应测试车间的温度波动;数据存储容量达 100 万组,可保留 2 年完整检测记录,满足客户审计需求。中源绿净提供半导体封装测试行业专项培训,帮助企业技术人员掌握粉尘清理、设备维护技巧,保障系统长期稳定运行。深圳手持环境监测监测