洁净室基本参数
  • 品牌
  • 中源绿净
  • 型号
  • IOTMETA
  • 类别
  • 其他
  • 加工定制
洁净室企业商机

中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。中源绿净为 20 + 纳米涂层车间打造模块化洁净室,涂层均匀度提升 20%,产品性能更稳定!百万级洁净室测试国家标准

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中源绿净洁净度在线监测系统,可同步记录洁净设备(如 FFU、空气过滤器、空调系统)的维护数据,包括维护时间、维护内容(如更换滤芯、清洁设备、校准传感器)、维护人员、维护后设备运行参数(如 FFU 转速、过滤器压差),数据记录完整性达 100%,可长期存储(存储期限≥5 年)。电子厂洁净设备的维护情况直接影响洁净度稳定性与设备使用寿命,若缺乏完整的维护档案,可能导致维护不及时或过度维护 —— 某电子厂 FFU 因未记录维护时间,超过建议维护周期(12 个月)仍未更换滤芯,导致 FFU 过滤效率下降,洁净区粒子浓度超标,影响产品生产。该系统通过记录维护数据,自动生成设备维护提醒,例如 FFU 运行满 10 个月时,推送滤芯更换提醒;空气过滤器压差达到设定阈值(如初始压差的 2 倍)时,提醒清洁或更换。系统还可生成设备全生命周期报告,包含设备采购时间、安装时间、历次维护记录、故障记录、当前运行状态等信息,帮助设备主管分析设备使用寿命规律激光洁净室计数器使用步骤中源绿净为 25 + 疫苗冷库配套模块化洁净室,过渡区设计减少冷量损失 25%!

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中源绿净针对化工行业特性开发,其 FFU 与洁净度联动系统采用耐腐蚀配置,联动控制模块外壳与采样通道采用 316L 不锈钢材质,部件经过抗腐蚀处理,可耐受化工生产过程中产生的酸雾、碱雾、有机溶剂蒸汽等轻微腐蚀性气体,避免化学物质导致的设备损坏。系统具备防爆设计(可选配 Ex ib IIB T4 防爆等级),可用于化工洁净区的危险区域(如溶剂储存区、反应釜周边)FFU 联动,符合化工行业安全要求。在化工原料精制车间,生产过程中产生的化学粉尘与腐蚀性气体易损坏传统联动系统,该系统可稳定实现 FFU 与洁净度的联动控制;在化工产品包装洁净区,设备可确保包装过程在合格环境中进行,避免产品因微粒污染导致的质量问题。适用场景包括化工原料生产车间、化工产品精制车间、化工包装洁净区、精细化工实验室等,系统支持与化工车间的安全监控系统对接,当微粒浓度超标或 FFU 出现故障时,自动同步至安全管理平台,便于工作人员及时采取安全措施,同时具备远程监控与维护功能,减少人员进入危险区域的次数,降低安全风险,联动数据可用于化工产品的质量追溯。​

中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。​中源绿净模块化洁净室,施工周期比传统缩短 50%,为 45 + 企业快速投产节省时间成本!

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中源绿净的洁净室环境监测系统,支持操作日志一键导出功能,可将所有用户对系统的操作记录(如参数修改、设备控制、数据查询)导出为规范文件,便于内部管理审计、合规检查与操作追溯,避免因操作不当导致的环境监测异常。系统的操作日志记录内容包括操作时间、操作人(账号名称)、操作类型(如 “修改采样间隔”“调整预警阈值”“导出数据”“重启设备”)、操作内容(修改前 / 后参数、操作结果)、操作 IP 地址,确保每一次操作都可追溯到个人与终端。导出格式支持 Excel、PDF、CSV 三种常用格式,导出时可选择任意时间段(如近 1 天、近 7 天、自定义日期范围),同时支持按操作人、操作类型筛选日志,减少无效信息。中源绿净为 35 + 医疗器械包装厂建模块化洁净室,微粒污染率下降 70%,包装密封性提升!百万级洁净室测试国家标准

中源绿净模块化洁净室,空调过滤系统容尘量达 800g/m²,为 20 + 企业延长更换周期!百万级洁净室测试国家标准

中源绿净针对医疗场景优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现医疗洁净区实时联动管控,支持医院手术室、ICU 病房、新生儿重症监护室、生物安全实验室等场所的 FFU 联动,符合 YY 0033《无菌医疗器具生产管理规范》等医疗行业标准。系统采用壁挂式、吊顶式等多种安装方式,不占用医疗空间,运行时无电磁辐射,不会干扰医疗设备正常工作,联动响应时间低于 0.5 秒。在外科手术室,系统可根据手术过程中的洁净度数据,实时调节 FFU 风速,当手术器械更换、人员进出导致微粒浓度上升时,FFU 可立即提速,快速恢复洁净环境,降低术后风险;在 ICU 病房,系统可 24 小时不间断联动监测,为危重病人提供稳定的洁净呼吸环境。适用场景包括各级医院洁净区域、医疗器具生产车间、生物安全实验室等,系统支持与医院后勤管理系统对接,管理人员可远程查看各区域 FFU 联动状态,安排设备维护与校准,同时具备分级报警功能,不同等级的异常信息推送至对应医护人员与管理人员,确保快速响应,联动数据可用于医疗质量评估与医院等级评审,提升医院洁净环境管理水平。​百万级洁净室测试国家标准

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