中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净模块化洁净室，空调系统过滤段更换时间≤30 分钟，为 20 + 企业减少停机影响！在线洁净室测试国家标准
中源绿净洁净度在线监测系统，内置设备自诊断模块，可实时监测系统硬件（传感器、数据采集器、通讯模块）与软件（数据处理程序、报警程序）的运行状态，自诊断覆盖率达 100%，当出现硬件故障（如传感器损坏）或软件异常（如数据处理错误）时，系统诊断响应时间≤10 秒，并自动推送故障类型与排查建议。医院手术部洁净度监测系统若出现故障未及时发现，可能导致手术期间无法有效监测洁净度，增加患者风险 —— 某医院曾因监测系统传感器故障未及时察觉，某 I 级手术间在手术过程中浮游菌浓度超标，术后 1 名患者出现切口。该系统的自诊断模块可定期对传感器进行精度检测，例如每 24 小时自动将传感器监测数据与标准值对比，若误差超过 ±5%，判定为传感器精度异常，推送校准提醒；当通讯模块出现数据传输中断时，系统自动尝试重新连接，若连接失败，提示检查网络线路或通讯模块硬件。深圳0.5um洁净室在线监测中源绿净的模块化洁净室，温湿度控制精度达 ±0.2℃/±2% RH，为 45 + 实验室满足高精度需求！
中源绿净降低维护成本，其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 设备自诊断与洁净度联动预警功能，可实时监测 FFU 电机、风机、过滤器、传感器等组件的运行状态，自动识别故障（如电机过载、过滤器堵塞、传感器失效等），并发出维护预警，同时调整联动策略（如调度周边 FFU 弥补故障区域）。系统支持故障分级预警，轻微故障（如过滤器轻微堵塞）推送至操作员，严重故障（如电机故障）同步至技术人员与管理人员，确保及时处理。在制药车间，FFU 故障可能影响合规监测，自诊断功能可提前预警，避免检测中断；在大型园区，多 FFU 管理中自诊断可帮助快速定位故障设备，减少维护时间；在偏远地区车间，故障预警可让技术人员提前准备配件，提高维护效率。适用场景包括所有使用该系统的洁净室，尤其是设备数量多、维护难度大的场所，系统内置故障处理知识库，包含常见故障的原因分析与解决步骤，操作人员可根据提示自行处理简单故障，故障记录自动存储，便于维护统计与系统优化。
中源绿净适配各类实验室需求，其 FFU 与洁净度联动系统可实现实验室 FFU 洁净度数据联动分析，支持科研实验室、分析实验室、生物安全实验室等不同类型实验室的联动需求，可整合洁净度、FFU 运行参数、温湿度等数据，通过算法分析联动效果与环境变化的关联，为实验环境优化提供数据支撑。系统具备低振动、低功耗运行特性，运行时振动幅度小于 0.1mm，功耗 15W，不会影响实验室精密仪器（如天平、色谱仪）的正常工作。在化学分析实验室，空气中的微粒可能影响样品纯度，系统可通过 FFU 联动调节维持洁净度，同时分析 FFU 运行参数与检测结果的关联；在生物安全实验室，系统可记录 FFU 联动过程中的洁净度变化，为实验结果分析提供环境数据支撑。适用场景包括高校科研实验室、企业研发中心、第三方检测机构实验室等，系统支持数据导出与专业分析软件对接，可将联动数据与实验数据关联，帮助科研人员优化实验环境，同时具备权限分级管理功能，可设置实验人员、管理员等不同角色，保护实验数据安全，支持长期数据存储与追溯，满足科研项目的合规要求。中源绿净模块化洁净室，可定制高度达 3.5m，为 40 + 企业满足大型设备安装需求！
中源绿净赋予灵活管理能力，其 FFU 与洁净度联动系统支持动态阈值 FFU 洁净度联动调整，可根据生产阶段、洁净等级要求、环境变化等因素，实时调整洁净度联动阈值，支持按时间段、生产批次、设备运行状态等条件设置差异化阈值方案，无需停机即可生效。系统内置阈值模板库，预设制药 A 级 / B 级 / C 级 / D 级、半导体百级 / 千级 / 万级等常用标准阈值，切换场景时可直接调用，节省配置时间。在多产品生产的洁净车间，不同产品对洁净度要求不同，动态阈值可匹配各产品的 FFU 联动需求；在洁净区改造过程中，可根据改造进度逐步调整阈值，实现阶段性 FFU 联动管理；在夜间非生产时段，可设置宽松阈值，降低 FFU 运行负荷与报警频率。适用场景包括多产品生产企业、洁净区改造项目、生产节奏灵活的工厂等，系统支持阈值调整记录自动存储，包含调整时间、调整人员、调整原因、前后阈值对比等信息，便于追溯与审核，阈值调整可通过平台远程操作或现场终端设置，支持批量调整多区域阈值，提升管理效率，动态阈值与分级联动响应结合，可实现更的环境管控。中源绿净为 35 + 精密光学仪器厂打造模块化洁净室，仪器装配精度提升 10%，性能更优！洁净室测试国家标准
中源绿净为 35 + 医疗器械包装厂建模块化洁净室，微粒污染率下降 70%，包装密封性提升！在线洁净室测试国家标准
中源绿净针对化工行业特性开发，其 FFU 与洁净度联动系统采用耐腐蚀配置，联动控制模块外壳与采样通道采用 316L 不锈钢材质，部件经过抗腐蚀处理，可耐受化工生产过程中产生的酸雾、碱雾、有机溶剂蒸汽等轻微腐蚀性气体，避免化学物质导致的设备损坏。系统具备防爆设计（可选配 Ex ib IIB T4 防爆等级），可用于化工洁净区的危险区域（如溶剂储存区、反应釜周边）FFU 联动，符合化工行业安全要求。在化工原料精制车间，生产过程中产生的化学粉尘与腐蚀性气体易损坏传统联动系统，该系统可稳定实现 FFU 与洁净度的联动控制；在化工产品包装洁净区，设备可确保包装过程在合格环境中进行，避免产品因微粒污染导致的质量问题。适用场景包括化工原料生产车间、化工产品精制车间、化工包装洁净区、精细化工实验室等，系统支持与化工车间的安全监控系统对接，当微粒浓度超标或 FFU 出现故障时，自动同步至安全管理平台，便于工作人员及时采取安全措施，同时具备远程监控与维护功能，减少人员进入危险区域的次数，降低安全风险，联动数据可用于化工产品的质量追溯。在线洁净室测试国家标准
