无油真空泵的使用维护：1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。2、无灰尘及脏物的清洁场所。3、无水、油等液体会降落到泵上。4、不直接暴露在阳光里。5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。6、泵必须安装在平坦的平面上。7、应该将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。8、必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。9、与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式）及其它型式。无锡半导体真空泵
真空泵各部件的清洗与测量：1)对泵体及所有零部件分别用煤油或汽油进行清洗；2)检查轴表面是否有裂纹、磨损等情况，轴是否弯曲，不符合要求应更换；3)检查叶轮是否有裂纹、磨损、腐蚀、掉块等情况，严重的应更换；4)检查填料函压盖、轴承座、端盖是否有裂纹和损伤，严重的进行更换；5)检查泵体磨损情况；6)检查螺栓、螺母的螺纹是否有断扣等损坏现象，若有则应及时修理或更换；7)检查驱动端、非驱动端圆盘。检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。开启马达，当真空泵正常工作时，打开出口压力表和进口真空泵，看它是否显示合适的压力，然后逐渐开启闸阀，同时检查马达的负荷情况。哈尔滨超高真空真空泵预定真空泵冷却水流量不够。解决方案：应加大冷却水的流量。
真空泵工作中必须做到：1、听到开车信号后，确认检查无误后，可回答开车并迅速离开设备一段距离，由集控室统一开车。2、真空泵起动后，立即根据流量计指数将密封水量调准，（密封水的压力大于1500L/h，小于2300L/h）运转中水流中断，控制室将报警并停车。3、运转中检查机体内有无异常响声，机体有无局部过热的现象。如有异常，说明设备有问题，立即报告调度室。4、注意观察真空表，真空表应大于0.04Mpa。注意观察机壳及轴承的温度，温度过高控制室将报警并停车。
真空泵使用前需要注意什么？为防止玻璃装置在真空下发生内爆，尽可能在通风柜内操作真空设备，并将通风柜视窗降至操作高度，同时佩戴好护目镜和面罩。选择满足预期真空等级的玻璃装置，并在开始前检查玻璃器皿和管道是否有裂纹或者其他缺陷。使用胶带网或塑料包裹250毫升以上的玻璃器皿防止玻璃飞溅产生伤害。选择合适的真空泵，并检查泵表面清洁，无腐蚀。使用油泵应定期检查油位并换油。将真空泵放在平坦的水平表面上，将泵出口连接到通风柜排气口，牢固地放置在通风柜内以防止化学气体泄漏。确保出口不受限制并且没有泄漏，尤其是法兰附近。几何抽速是真空泵在额定转速下，单位时间排出的几何容积。
真空泵维护要求：1、经常检查真空泵油位位置，没有在指定油线位置应立即加上足够的油。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作300小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。3、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。下游真空泵多被应用于制药、化工、食品、电子等行业。质量好的科研真空泵
应定期检查真空泵轴承的运转和润滑。无锡半导体真空泵
真空泵的性能参数有哪些？泵的前级压强，真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的较大前级压强，真空泵口较大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。真空泵的较大工作压强，真空泵的较大工作压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。压缩比，压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。何氏系数，泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。抽速系数，泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。无锡半导体真空泵
