化学机械抛光(CMP)液输送:在CMP工艺中,需要将抛光液均匀地输送到抛光垫与晶圆之间。FSH-GM系列恒流隔膜泵系统可以将抛光液按照设定的流量稳定地供应到抛光区域。抛光液的流量稳定性直接影响到晶圆表面的平整度和抛光效果。该泵系统的无脉动流量输出能够使抛光过程更加平稳,减少晶圆表面的划痕和缺陷,提高半导体芯片的生产质量和效率。FSH-GM系列恒流隔膜泵系统凭借其突出的性能特点,如不磨损、不漏液、无脉动、流量稳定以及高精度等,在工业制造领域的各个角落发挥着不可或缺的作用,为工业生产的高效性、稳定性和精确性提供了坚实保障。隔膜泵的设计理念是实现无脉动出液,确保在涂布机供料时流量稳定,避免涂布质量受影响。上海浆料隔膜泵批发

无脉动输出:脉动是流体输送过程中常见的问题之一,它会导致流体在管道内产生不必要的压力波动,进而影响生产过程的稳定性。FSH-GM系列恒流隔膜泵通过两个泵室的相对单独工作,实现了流体的连续、无脉动输出。这一特点对于偏光片涂布、狭缝涂布等对涂布质量要求极高的工艺尤为重要,因为无脉动输出可以确保涂布层的均匀性和一致性,从而提高产品的整体质量。这款由广州飞升公司自主研发设计的精密流体输送设备,不仅集成了先进的控制技术,还具备多种独特优势,使其成为众多行业的好选择解决方案。江苏不磨损隔膜泵现货直发FSH-GM恒流隔膜泵系统的无脉动特性,能够有效降低系统的振动,延长设备的使用寿命。

FSH-GM系列恒流隔膜泵系统是一种精密的流体输送设备,其工作原理基于隔膜泵的主要机制,结合了现代控制技术以实现高精度的流量控制。以下是FSH-GM系列恒流隔膜泵系统的工作原理的详细介绍:电机驱动机制:FSH-GM系列恒流隔膜泵系统的电机负责驱动整个泵的工作循环。电机通过传动装置(如皮带、齿轮或直接连接)带动泵内部的机械部件运动。凸轮和连杆机构:电机通过凸轮机构和连杆,将旋转运动转换为直线往复运动。凸轮的旋转通过连接杆驱动前膜片和后膜片进行往复运动。
定期保养:定期保养有助于延长FSH-GM系列恒流隔膜泵系统的使用寿命和提高工作效率:定期清洗泵体,以去除沉积物和杂质。更换耗材,根据使用情况,定期更换泵的耗材部件,如膜片、O型圈和密封垫。检查泵体是否有腐蚀或磨损迹象,并进行必要的维修或更换。故障排除:当FSH-GM系列恒流隔膜泵系统出现问题时,及时的故障排除是保持其较佳性能的关键:检查电机和控制器,确保它们正常工作,没有过热或异常噪音。检查泵的流量,如果流量不稳定或有脉动,可能需要调整或更换膜片。检查泵的安装,确保泵的底座平稳,进出口管道正确连接,防止泵震动或漏液。FSH-GM150-ST隔膜泵系统的流量调节功能,能够满足不同生产工艺的需求,实现灵活应用。

防爆型选择:该系列泵提供标准型和防爆型两种规格。在化工、石油等存在易燃易爆气体或液体的工业制造环境中,防爆型的FSH-GM系列泵能够安全运行。例如在石油化工的炼油过程中,需要输送一些易挥发、易燃易爆的有机溶剂,防爆型泵可以避免因电气火花等因素引发的爆裂事故,为安全生产提供保障。而普通的泵类可能没有这种防爆功能,在危险环境中使用存在较大的安全隐患。在工作原理方面,电机驱动凸轮转动,借助连接杆促使前膜片和后膜片进行往复运动。单向阀有序地进行吸液与排液操作,通过两个相对单独的泵室机构,前后泵头交替吐出液体,从而确保流量恒定,实现恒流无脉动出液。FSH-GM恒流隔膜泵系统能够精确控制流量,适用于食品混合液的输送,满足食品行业的严格标准。上海浆料隔膜泵批发
无论是标准型还是防爆型,FSH-GM系列恒流隔膜泵系统都符合严格的工业标准。上海浆料隔膜泵批发
广州飞升精密设备有限公司自主研发设计的FSH-GM系列恒流隔膜泵系统,以其突出的性能和多样化的应用场景,成为流体输送领域的理想选择。本文将详细介绍FSH-GM系列恒流隔膜泵的型号、功能、特点、工作原理及其在不同场景下的应用。型号与规格:FSH-GM系列恒流隔膜泵系统型号定义明确,如FSH-GM150-ST,其中“FSH-GM”表示系列名称,“150”表示吐出流量范围为0.3-150ml/s。“ST”表示电机类型,其中“ST”表示标准伺服电机,而“EX”表示防爆伺服电机。上海浆料隔膜泵批发