真空计与压强的关系为,真空度越高,压强越小;真空度越低,压强越大。正因为此,真空度的单位用的是压强单位。一个标准大气压用帕斯卡(Pa)表示为1atm=1.013×105Pa这样我们就得到不同真空单位之间的换算关系。有了单位,我们就可以对真空度进行划分。国际上没有统一的划分标准,常用的划分是这样的,粗真空:760Torr~1Torr低真空:1Torr~10-3Torr一般真空:10-3Torr~10-6Torr高真空:10-6Torr~10-9Torr超高真空:10-9Torr~10-12Tor那么有了这个标准,我们上面提到的针管中的真空以及托里拆利实验中的真空就都属于粗真空的范畴了。那么实验室里常用的超高真空状态是怎么实现的呢?这就涉及到了我们的**内容——真空泵。真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压,是一种使用的仪表。霍尼韦尔真空计配件

这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵,例如机械泵、涡轮分子泵;一类是将气体分子吸附在内壁上的泵,例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何,这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同,每种泵都有自己的工作区间,只有在一定的压强范围内才可以正常工作,否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出,要达到超高真空,只用一种泵是无法实现的,需要不同种类的泵接力,像极了我们做科研的过程,不是吗?团队合作。在实验室,我们先用机械泵抽到粗真空,再打开分子泵抽到高真空,**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 制造真空计对比价相对真空计能直接读出被测压力,但是测量精度较低,测量结果与被测气体种类和成分有关!

结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件:热偶规管采用玻璃外壳,内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶,通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构,包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极,灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号(如ZDF-1A/B)还集成金属电阻规,形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器,实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备,测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa
热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶,通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中,灯丝通以恒定电流,热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外,热丝可能会因氧化导致零点漂移,从而带来测量误差。因此,在进行测量时,需根据气体种类进行相应的修正,使用者应定期调整加热电流,并重新校正电流值。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类。

技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书,热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成,覆盖105~10-6Pa的真空范围测量,主要技术指标包括 [1]:热偶规测量范围:3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa(ZJ-54D型)电离规测量范围:5~1.0×10⁻⁶Pa(ZJ-27型)或26~1.0×10⁻⁴Pa(ZJ-10型)发射电流调节范围:50μA至5mA阳极电压:225V(ZDF-1A型)继电器触点容量:220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]:真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道,防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动,避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流,标准值为95-105mA(具体数值依据规管型号)安装时电离规管轴线应与地面垂直,倾斜角度不得超过30°热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。泵吸式四合一真空计拆装
真空计测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时,不能使用电离规。霍尼韦尔真空计配件
真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压,是一种使用***的仪表。真空计的种类有很多,适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。真空计可分为***真空计和相对真空计两大类。一、***真空计能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。***真空计测量精度较高,主要用作基准量具。原理:在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端与待测压力的真空容器相连,另一端是封死的或开口与大气相通。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。测量范围:粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)2.压缩式真空计(麦克劳真空计)原理:把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩,直到压强增大到可以直接测量的程度。 霍尼韦尔真空计配件