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真空镀膜设备基本参数
  • 品牌
  • 国泰真空
  • 型号
  • ZZS
  • 类型
  • 真空镀膜
  • 加工定制
  • 电源
  • 380
  • 厂家
  • 成都国泰真空设备有限公司
  • 产地
  • 成都
真空镀膜设备企业商机

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】: 白雾形成在膜内,无法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前(洗净后)受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良,洗净痕迹,擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策:基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补,镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系,第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后,Zui好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配(考虑第yi层用Al2O3) 8. 改善膜充氧和蒸发速率(降低) 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。真空镀膜设备产业集群。海南真空镀膜设备哪种好

【真空镀膜机概述】:真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子抢加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机构造的五大系统:排气系统、控制系统、蒸镀系统、监控系统、辅助系统。真空镀膜三要素:真空度、抽气时间、温度;任何镀膜工艺都需要为这三个要素设定目标值;因此,只有当三个条件同时满足时,自动化程序才会自动运行。真空镀膜机需要做定期定期保养,目的在于:让镀膜机能长时间地正常运转;降低故障时间,避免影响产能,减少损失;提高机器精度,稳定品质;加快抽气速度,提升机器利用率等。浙江真空镀膜设备厂家公司真空镀膜设备真空度多少?

【真空镀膜磁控溅射法】: 溅射镀膜Zui初出现的是简单的直流二极溅射,它的优点是装置简单,但是直流二极溅射沉积速率低;为了保持自持放电,不能在低气压(<0.1 Pa)下进行;不能溅射绝缘材料等缺点限制了其应用。 磁控溅射是由二极溅射基础上发展而来,在靶材表面建立与电场正交磁场,解决了二极溅射沉积速率低,等离子体离化率低等问题,成为目前镀膜工业主要方法之一。磁控溅射与其它镀膜技术相比具有如下特点:可制备成靶的材料广,几乎所有金属,合金和陶瓷材料都可以制成靶材;在适当条件下多元靶材共溅射方式,可沉积配比精确恒定的合金;在溅射的放电气氛中加入氧、氮或其它活性气体,可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜;通过精确地控制溅射镀膜过程,容易获得均匀的高精度的膜厚;通过离子溅射靶材料物质由固态直接转变为等离子态,溅射靶的安装不受限制,适合于大容积镀膜室多靶布置设计;溅射镀膜速度快,膜层致密,附着性好等特点,很适合于大批量,高效率工业生产。近年来磁控溅射技术发展很快,具有代表性的方法有射频溅射、反应磁控溅射、非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射、高速溅射等。

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。② 打开总电源开关,设备送电。③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。⑤ 落下钟罩。⑥ 启动抽真空机械泵。⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。离子真空镀膜设备是什么?

【真空镀膜设备使用步骤】1电控柜的操作1)开水泵、气源2)开总电源3)开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5)观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。2DEF-6B电子枪电源柜的操作1)打开总电源2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。3)开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。3关机顺序1)关高真空表头、关分子泵。2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。3)到50以下时,再关维持泵。真空镀膜设备是什么?海南真空镀膜设备哪种好

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【真空镀膜设备】主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过蒸发镀膜设备+所镀产品图蒸发镀膜设备+所镀产品图程,终形成薄膜。海南真空镀膜设备哪种好

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