福建离子束辅助沉积射频离子源价格

【真空镀膜机概述】：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子抢加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机构造的五da系统：排气系统、控制系统、蒸镀系统、监控系统、辅助系统。真空镀膜三要素：真空度、抽气时间、温度；任何镀膜工艺都需要为这三个要素设定目标值；因此，只有当三个条件同时满足时，自动化程序才会自动运行。真空镀膜机需要做定期定期保养，目的在于：让镀膜机能长时间地正常运转；降低故障时间，避免影响产能，减少损失；提高机器精度，稳定品质；加快抽气速度，提升机器利用率等。真空镀膜机该如何维修。福建离子束辅助沉积射频离子源价格

【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏（更换胶圈）2.坩埚被打穿（更换坩埚）3.高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4.工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7.机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8.烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9.挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1.蒸发室有很多粉尘（应清洗）2.扩散泵很久未换油（应清洗换油）3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低（应清洗换油）4.各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8.高低预阀是否密封可靠（注油）黑龙江光学镀膜射频离子源价格成都国泰真空镀膜机怎么样？

【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。

【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前，要注意检漏。方法：启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。射频离子源是未来科技发展的重要方向，具有广阔的应用前景。

【真空镀膜机冲洗工艺之反应气体冲洗】这种方法特别适用于da型超高不锈钢真空系统的内部洗(去除碳氢化合物污染)。通常对于某些da型超高真空系统的真空室和真空元件，为了获得原子态的清洁表面，消除其表面污染的标准方法是化学清洗，真空炉焙烧、辉光放电清洗及原能烘烤真空系统等方法。以上的清洗和除气方法常用于真空系统安装前及装配期间。在真空系统安装后(或系统运行后)，由于真空系统内的各种零部件已经被固定，这时对它们进行除气处理就很困难，一旦系统受到(偶然)污染(主要是da原子数的分子如碳氢化合物的污染)，通常要拆卸后重新处理再安装．而用反应气体工艺，可以进行原位在线除气处理．有效地除去不锈钢真空室内的碳氢化合物的污染.其清洗机理：在系统中引述氧化性气体(O2、N0)和还原性气体(H2、NH3)对金属表面进行化学反应清洗，消除污染，以便获得原子态的清洁金属表面。表面氧化／还原的速率取决于污染的情况及金属表面的材质，表面反应速率的da小通过调整反应气体的压力和温度来控制。对于每一种基材而言，精确的参数要通过实验来确定.对于不同的结晶取向，这些参数是不同的。射频离子源是一种高能离子源，可用于各种科学研究和工业应用。黑龙江离子束溅射射频离子源自主研发设计生产

射频离子源可用于航空航天领域，如推进系统、导航系统等。福建离子束辅助沉积射频离子源价格

【真空镀膜机之真空泵的安装和指导】真空泵安装指导1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应qing除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。）4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。9、当泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。福建离子束辅助沉积射频离子源价格