类金刚石(DLC)薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题.利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜,研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响.研究结果表明,316L表面制备相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于-80V直流偏压下制备的DLC薄膜;随着DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜与316L基体的结合力下降;316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状况,并且经过20%的拉伸变形后,DLC薄膜完整,耐蚀性优于未表面处理的316L不锈钢.以上研...

由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300°C以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20 at%Si的DLC膜在740°C退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属（如Ti、W、Cr）的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。 不同过渡层对DLC薄膜力学性能和摩擦学性能...

采用优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术,在硬质合金上制备出性能优良的DLC膜.实验室切削试验与工业生产现场切削表明:在切削铝青铜和共晶铝硅合金时,DLC膜涂层刀具使用寿命明显高于末涂层刀具.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。松江金属表...

离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征采用离子束溅射方法，较低温度下在Ti6A14V合金基底上沉积了DLC薄膜，重点考察了直流叠加脉冲共生偏压大小对薄膜形貌、结构和摩擦学性能的影响。制备薄膜为菲晶碳膜，薄膜表面粗糙度随施加迭加偏压增大有先减小后增大趋势，而膜中sp3含量变化趋势则与之相反。在选定的实验条件下，-100V偏压时所制备的薄膜在空气环境及Hank’s溶液润滑下都具有比较优异的摩擦学性能。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...

采用优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术,在硬质合金上制备出性能优良的DLC膜.实验室切削试验与工业生产现场切削表明:在切削铝青铜和共晶铝硅合金时,DLC膜涂层刀具使用寿命明显高于末涂层刀具.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于0.1结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能。苏州餐具DLC类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低...

介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景.分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素.表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLCFilms)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为的涂层材料已被应用于汽车、模具、刀具等领域.上海...

使用类金刚石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作为涂层,采用等离子体离子浸没注入技术PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)对空间飞轮长寿命轴承沟道表面进行改性.结果表明,陪试件表面DLC改性后表面粗糙度、轴承内外沟道轮廓形状误差等特性未发生明显改变,改性层表面纳米硬度提高2倍左右;陪试件摩擦试验结果表明,改性后表面的摩擦学性能得到了明显改善;DLC涂层的稳定摩擦因数为基体的1/3～1/4,有利于延长空间飞轮轴承的工作寿命.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达6...

为实现低摩擦和高燃油效率,大多数提升式配气机构的发动机采用类金刚石碳(DLC)涂层挺杆.但是,由于低黏度机油的使用和更高的发动机输出功率要求,使得摩擦学环境变得更为严苛,因而对涂层的坚固耐用性提出了更高的要求.为获得较高的涂层效率并提高耐磨性,利用等离子体辅助化学气相沉积法开发了添加5％～9％Si的Si-DLC涂层挺杆,尽管Si-DLC硬度和粘着力等机械性能有所下降,但其热稳定性和耐磨性比DLC涂层有极大提高.Si阻碍了DLC涂层的石墨化,涂层表面的薄层氧化硅起到了阻碍氧化或快速导热的作用.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜...

类金刚石(diamond-likecarbon,DLC)薄膜是一种同时含有sp2键和sp3键的非晶碳膜，其结构及性能介于金刚石与石墨之间，具有高硬度、高热导率、良好的化学惰性和耐磨性，在装备关键运动部件的表面防护方面有巨大应用前景，现已成为世界范围内被研究的薄膜材料之一。但DLC作为一种亚稳态材料，膜内残余压应力大、膜基结合强度低，高温下易发生化学键破坏，导致性能下降。向薄膜中添加异质元素是调控或提高DLC膜性能的有效方法。近日，省新材料研究所真空镀膜团队利用高功率脉冲磁控溅射复合中频磁控溅射技术制备了掺Si的纳米多层类金刚石(Si-DLC)薄膜，发现通过改变Si元素的含量可调控薄膜的摩擦学行...

由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300°C以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20 at%Si的DLC膜在740°C退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属（如Ti、W、Cr）的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。 DLC真空镀膜生产工艺影响的膜层原因。江西...

类金刚石膜是一类性质类似于金刚石的具有多项质量性能的新型膜材料，它的面世是人类膜材料科学的一大进步。由于类金刚石膜的高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性，适合于多个领域的应用，同时类金刚石膜的制备方法简单，使其引起人们的关注。我们来谈谈类金刚石膜的发现、结构和制备方法，介绍一下多层类金刚石膜在机械、光学、医疗、电子、航天等领域的应用，总结一下它的研究现状和发展前景。随着人类对金刚石的研究的深入和其应用的，人类对其的需求越来越大，但是，由于制备金刚石的工业化工艺条件比较难以实现，因此人们渴望能有一种可以替代金刚石的新材料。类金刚石膜（diamond-like...

类金刚石在电学性能及应用。DLC薄膜具有优异的电学性能，一般来说，含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高，可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系，因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。由于DLC薄膜的良好导热性能，它可以作为芯片中铜片散热器的绝缘电阻，能防止通常功率下因热膨胀系数不匹配而引起的铜片抓痕。此外，DLC在腐蚀介质中表现出较高的化学惰性，可以保护基底免遭外界腐蚀介质的溶蚀。纯的DLC薄膜表现出极好的耐蚀性，可以抵御各类酸碱甚至王水的侵蚀。另外，DLC薄膜具有较低的电子亲和势，是一种优异的冷阴极场发射材料...

利用射频等离子体增强化学气相沉积技术以CH4、H2为气源，Ar为稀释气体，在不锈钢、玻璃等基底上制备大面积类金刚石碳膜(DLC)。并对所制备的DLC碳膜采用拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)等研究手段对样品的形貌和结构进行表征；利用纳米显微硬度计和摩擦磨损试验机对DLC碳膜的机械和摩擦学特性进行了研究，得到了摩擦性能随沉积参数和实验条件的变化规律，对DLC碳膜的自润滑机制和磨损机理进行了探索。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结...

用激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成,利用摩擦磨损试验机测试了不同摩擦副在干摩擦和油润滑环境下的摩擦系数及耐磨寿命,终用光学显微镜观察了汽车活塞销涂层类金刚石前后的表面形貌。结果表明：采用此方法在汽车活塞销上制备的类金刚石涂层光洁度高,摩擦系数小；摩擦副之间的硬度差对其耐磨寿命具有很大的影响,加入润滑剂可以抵消这种影响；汽车活塞销涂层类金刚石在工作一定时间后,表面粗糙度降低，耐磨寿命提高,同时DLC对摩擦副具有抛光润滑作用,是一种汽车零部件推荐的抗磨减磨涂层材料。活塞销涂层类金刚石实际装车现场测试表明,寿命比没有涂层的活塞销提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备...

为实现低摩擦和高燃油效率,大多数提升式配气机构的发动机采用类金刚石碳(DLC)涂层挺杆.但是,由于低黏度机油的使用和更高的发动机输出功率要求,使得摩擦学环境变得更为严苛,因而对涂层的坚固耐用性提出了更高的要求.为获得较高的涂层效率并提高耐磨性,利用等离子体辅助化学气相沉积法开发了添加5％～9％Si的Si-DLC涂层挺杆,尽管Si-DLC硬度和粘着力等机械性能有所下降,但其热稳定性和耐磨性比DLC涂层有极大提高.Si阻碍了DLC涂层的石墨化,涂层表面的薄层氧化硅起到了阻碍氧化或快速导热的作用.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜...

采用磁控溅射的方法，利用氩气和甲烷为气源,在中国较早汽车股份有限公司自主研发的发动机配气机构的挺柱上制备类金刚石(DLC)薄膜。利用摩擦磨损试验机和发动机配气机构试验台架，研究了DLC涂层挺柱的摩擦学行为及其对发动机节能的影响.试验结果表明，在边界润滑条件下，DLC涂层挺柱的摩擦因数比原零件降低67％,抗磨损性能大幅度提高；在实际使用工况下,配气机构的摩擦损失降低6％，DLC涂层零件可以降低发动机摩擦损失,适用于汽车低碳技术路线。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层...

DLC形式的碳膜因其高硬度、低摩擦系数成为一种具有广泛应用前景的镀层，但其通常具有较高的内应力因而薄膜沉积的厚度受到限制。类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度，高电阻率。良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。主要包含sp2和sp3两种杂化键，而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。了它作为刀具对钢铁材料的加工应用。以sp2杂化为主的高硬度类石墨膜，具有较高的硬度，又有低的摩擦系数，内应力比较小，因而可以沉积相对较厚的膜层，在与钢铁材料接触时不会出现触媒反应，是一种优异的抗磨减摩...

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能,采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC),采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌,测量并计算涂层硬度.结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm,呈岛状聚集分布,硬度约为18GPa.采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性.结果表明,在低载高速的条件下,DLC涂层具有良好的耐磨特性,符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性以及加强D...

类金刚石薄膜（DLC）是1种非晶薄膜，可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和氢化类金刚石碳膜(a-C：H)两类。无氢类金刚石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2键碳原子相互混杂的三维网络构成)，以及四面体非晶碳(tetrahedralcarbon，简称ta-C)(主要由超过80％的sp3键碳原子为骨架构成)；氢化类金刚石碳膜(a-C：H)又可分为类聚合物非晶态碳(polymer—likecarbon，简称PLC)、类金刚石碳、类石墨碳3种，其三维网络结构中同时还结合一定数量的氢.类聚合物非晶态碳是含氢金刚石薄膜的一种它是非晶体又有类似于聚合物那种通过相同简单的结构单元通过共价键重复连接而成的化合物...

类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代，是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此，类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料，禁带宽度可以在1—4eV之间调制，可大面积生长，材料自身和加工过程环保，在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜...

越来越多高级的产品表面需要精美耐磨的效果，努力达到类似钻石耐磨的效果，又可以耐腐蚀耐酸碱等要求，其中触控手机、液晶显示、精密配件、精美手表首饰（LV,GUCCI···）、前列产品钻头、硬盘磁头、汽车配件、高级五金餐具卫浴等等未来将广泛应用到。为了达到类金刚石的效果，将会选择碳化硅、氮化硅结合增透膜氧化铌等靶材叠层应用。DLC膜不*具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC薄膜具有优异的电学性能。金华纳米DLC哪个好随着硬质合金刀具市场的不断扩大，刀具涂层技术不断进步，类金刚石薄膜制备方法越来越多，包括物相沉积技术、化学气相沉积技术以及新兴的...

有数种方法来生产类金刚石碳，但都是基于, sp杂化键比sp杂化键小很多的事实。因此原子尺度上压力、冲击、催化或者是几种方法的组合的应用可以迫使sp杂化碳原子结合在一起形成sp键合。这些作用必须足够强使得这些原子能够偏离sp键合的特性，而不能像弹簧一样变形回来。一般的技术，要有一种足够的压力，要么能够使sp杂化碳原子团簇深入到涂层内，使得没有足够的空间让sp杂化扩张回来，要么这些新的团簇就很快被下一轮新到来的碳所埋。可以把这个过程想象成为下冰雹一样的一种更局部化、更快、更加纳米的热压结合条件来生产天然和合成的金刚石。由于它们单独的的发生在生长薄膜或涂层表面的许多地方，它们倾向于形成类似于鹅卵石街...

用激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成,利用摩擦磨损试验机测试了不同摩擦副在干摩擦和油润滑环境下的摩擦系数及耐磨寿命,终用光学显微镜观察了汽车活塞销涂层类金刚石前后的表面形貌。结果表明：采用此方法在汽车活塞销上制备的类金刚石涂层光洁度高,摩擦系数小；摩擦副之间的硬度差对其耐磨寿命具有很大的影响,加入润滑剂可以抵消这种影响；汽车活塞销涂层类金刚石在工作一定时间后,表面粗糙度降低，耐磨寿命提高,同时DLC对摩擦副具有抛光润滑作用,是一种汽车零部件推荐的抗磨减磨涂层材料。活塞销涂层类金刚石实际装车现场测试表明,寿命比没有涂层的活塞销提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备...

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能,采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC),采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌,测量并计算涂层硬度.结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm,呈岛状聚集分布,硬度约为18GPa.采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性.结果表明,在低载高速的条件下,DLC涂层具有良好的耐磨特性,符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...

DLC应用：零部件上的应用：DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能，在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理，不但避免了污染环境的问题，而且，明显提高工件表面硬度及耐磨性，使用寿命提高了10倍以上，同时，也因表面膜层摩擦系数降低后，使机器运行过程中产生的噪音变小。钟表的表带，机芯等都可以沉积DLC涂层，达到耐磨的效果。目前市场上很多高级钟表品牌推出了不少DLC系列的产品。同时在汽车零部件上活塞环、缸套、活塞销、挺杆、凸轮等零件来解决表面性能的需求，满足发动机节能、环保、小型化和生物能源应用带来的零件过早失效甚至不能使用的境况。模具表面上的应用：DLC膜具有高硬度、表面平滑、低...

研究结果表明，采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...

利用ECR-PECVD技术在等离子体活化后的UHMWPE表面成功制备出一种含氢DLC薄膜。UHMWPE经等离子体活化提高了其表面能和表面粗糙度，增强了与DLC间的膜基结合强度。DLC薄膜的沉积，进一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦伤能力和耐磨损能力。⑹UHMWPE表面金属过渡层的引入，提高了DLC薄膜的沉积速率和薄膜中sp3键的含量，进一步提高了UHMWPE的耐磨损性能⑺本文采用的“低温等离子体活化/强化预处理+DLC薄膜沉积”的双重表面改性技术对提高UHMWPE的耐磨性来说将起到双重保障作用。将该技术应用于UHMWPE人工关节臼的表面改性具有潜在的重要应用价值。上海英屹涂层技术有限公...

DLC涂层（类金刚石涂层）的运用：精密模具-DLC涂层后，产品在“干”情况下（无润滑油）亦可容易脱模。具有高润滑性和高硬度，更耐磨，并获得更长的使用寿命。•注塑成型模具•冲压模具•光学级模具•光盘模具•玻璃成型模具•空调器翻边模具•吹塑成型模具精密机械–降低摩擦，加强润滑•精密轴承•纺织设备及零部件•压缩机螺杆，滑片•泵密封圈，叶片•缝制设备及零部件•弹簧片•精密传动机构切削刀具-具有良好抗粘结性•加工有色金属的刀具•加工PCB材料的刀具工量具–减少摩擦力，延长使用寿命•卡尺•卡规•塞规•治具医疗设备和器具-耐各种酸、碱等腐蚀，对人体无毒无污染•手术刀片•手术剪内燃机工业-大幅度减少摩擦力，增...

简单说来，石墨态的C原子就是sp2型杂化，金刚石态的C原子就是sp3型杂化。类金刚石膜DLC，就是C原子以石墨态和金刚石态两种形态混合的碳膜。这种复杂形态对的碳膜，既有金刚石膜的高硬度，又具有石墨膜的润滑性。DLC的制备由于类金刚石膜的优异性能，自它面世以来，人们就在世界范围掀起了碳膜的研究热潮，相继出现了一系列的碳膜制备技术。总的来说，制备类金刚石膜现在主要是用各种气相沉积法，根据制备原理的不同，大体上可以分为物相沉积和化学气相沉积，根据离化碳原子和加热方法的不同，DLC的制备方法可分为：真空电弧沉积，喷射沉积，等离子沉积，脉冲激光沉积，电子加入CVD法等等。DLC的制备方法不同，工艺条件不...