随着硬质合金刀具市场的不断扩大，刀具涂层技术不断进步，类金刚石薄膜制备方法越来越多，包括物相沉积技术、化学气相沉积技术以及新兴的液相电沉积技术等。同时，我们也看到了类金刚石薄膜存在着膜基结合力差、热稳定性差等缺陷。经过对类金刚石涂层不断地研究，发现可以通过选择合适的工艺参数、改善基体状态、添加过渡层来增加膜基结合力。并且近年来的研究表明在含氢类金刚石涂层制备中加入Si等杂质元素、采用液相法制作类金刚石涂层热稳定性较高，可以有效地解决热稳定性差的问题。总之，硬质合金刀具表面类金刚石涂层技术日趋成熟，随着研究的不断深入，未来可以制备出更好的类金刚石薄膜。类金刚石膜是一种无机膜，其结构、物理化学性质...

类金刚石薄膜的制备方法根据制备DLC薄膜碳源的不同，可将DLC薄膜的制备方法分为固体靶材为碳源的物相沉积法和含碳气体为碳源的化学气相沉积法。其中DLC薄膜的制备方法和性能也随着相应沉积技术的发展获得改进和提升。传统的气相沉积技术制备薄膜的能量来自于热源。为制备性能更为优异，功能应用多样化的新型特殊薄膜，传统的镀膜技术无法满足实际的需求。为使薄膜达到更优异的性能，逐渐地把各种气体放电技术引入到薄膜材料制备的过程中，进而发展形成了离子镀膜技术。离子镀膜技术能很大程度上增加膜层粒子的离化率，提高膜层粒子的整体能量，终高效地进行薄膜的制备。相应的，对于制备DLC薄膜的两种主要方法也进行了一定程度的补充...

在DLC薄膜应用的过程中，选择合适种类的DLC薄膜显得尤为重要。因此，DLC薄膜的分类以及分类标准的制定，直接影响了其在众多领域的应用。而传统的DLC薄膜分类方法通常需要根据DLC薄膜的微结构定量分析来完成。然而，这一方法需要基于大型同步辐射光源的X射线近边吸收精细结构谱（NEXAFS）分析碳元素的成分和状态；需要大型静电加速器的卢瑟福背散射弹性反冲（RBS/ERDA）或者中子源等分析氢元素含量，执行起来非常困难。因此，一般实验条件难以实现对DLC的准确分类，从而导致DLC在应用领域难以实现精细调控和定量研发。DLC薄膜的性能及常见制备方法。山东金属DLCDLC薄膜处于热力学非平衡状态，其原子...

使用类金刚石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作为涂层,采用等离子体离子浸没注入技术PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)对空间飞轮长寿命轴承沟道表面进行改性.结果表明,陪试件表面DLC改性后表面粗糙度、轴承内外沟道轮廓形状误差等特性未发生明显改变,改性层表面纳米硬度提高2倍左右;陪试件摩擦试验结果表明,改性后表面的摩擦学性能得到了明显改善;DLC涂层的稳定摩擦因数*为基体的1/3～1/4,有利于延长空间飞轮轴承的工作寿命.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达...

类金刚石镀膜——金属表面摩擦惊人的减少40%。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多，不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同，沉积的DLC膜的结构和性能存在很大差别，摩擦学性能也不相同。 不同工艺下的DCL薄膜形貌不一样。奉贤区铣刀DLC工艺纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点.脱模过程中,粘连限制了图形的精确...

简单说来，石墨态的C原子就是sp2型杂化，金刚石态的C原子就是sp3型杂化。类金刚石膜DLC，就是C原子以石墨态和金刚石态两种形态混合的碳膜。这种复杂形态对的碳膜，既有金刚石膜的高硬度，又具有石墨膜的润滑性。DLC的制备由于类金刚石膜的优异性能，自它面世以来，人们就在世界范围掀起了碳膜的研究热潮，相继出现了一系列的碳膜制备技术。总的来说，制备类金刚石膜现在主要是用各种气相沉积法，根据制备原理的不同，大体上可以分为物相沉积和化学气相沉积，根据离化碳原子和加热方法的不同，DLC的制备方法可分为：真空电弧沉积，喷射沉积，等离子沉积，脉冲激光沉积，电子加入CVD法等等。DLC的制备方法不同，工艺条件不...

类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜在人工髋膝关节、人工椎间盘等假体的关节面发挥耐磨性、耐腐蚀性的应用和研究进展，对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机...

使用类金刚石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作为涂层,采用等离子体离子浸没注入技术PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)对空间飞轮长寿命轴承沟道表面进行改性.结果表明,陪试件表面DLC改性后表面粗糙度、轴承内外沟道轮廓形状误差等特性未发生明显改变,改性层表面纳米硬度提高2倍左右;陪试件摩擦试验结果表明,改性后表面的摩擦学性能得到了明显改善;DLC涂层的稳定摩擦因数为基体的1/3～1/4,有利于延长空间飞轮轴承的工作寿命.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达6...

简单说来，石墨态的C原子就是sp2型杂化，金刚石态的C原子就是sp3型杂化。类金刚石膜DLC，就是C原子以石墨态和金刚石态两种形态混合的碳膜。这种复杂形态对的碳膜，既有金刚石膜的高硬度，又具有石墨膜的润滑性。DLC的制备由于类金刚石膜的优异性能，自它面世以来，人们就在世界范围掀起了碳膜的研究热潮，相继出现了一系列的碳膜制备技术。总的来说，制备类金刚石膜现在主要是用各种气相沉积法，根据制备原理的不同，大体上可以分为物相沉积和化学气相沉积，根据离化碳原子和加热方法的不同，DLC的制备方法可分为：真空电弧沉积，喷射沉积，等离子沉积，脉冲激光沉积，电子加入CVD法等等。DLC的制备方法不同，工艺条件不...

陶瓷因其耐蚀、耐热、耐磨等优点，被多用于热涂在金属材料的表面，目前陶瓷涂层的方法主要有：热喷涂、等离子喷涂等，但工艺成本高，且陶瓷和衬材之间只是机械结合，结合层的力学性能差，特别是陶瓷和衬材之间的热膨胀系数差异较大，在冷态时，陶瓷受到衬材的压缩应力，时常发生裂纹，而运用原位反应技术在衬材的表层产生一层陶瓷层，其结合界面是冶金结合，原子相互扩散，结合强度高，工艺成本低，厚度可达数毫米，可用于要求耐蚀、耐磨、耐热的输送管道，如输送水泥、煤气、液化气以及具有固体颗粒的粉体的管道等。激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成。无锡不锈钢DLC哪家便宜固体润滑薄膜材料具有优异的摩擦学性能,可以有效降低相...

为了提高活塞销表面类金刚石(DLC)涂层的结合力及抗磨损性能,使用扫描电子显微镜、圆度仪、粗糙度仪等检测设备对2种活塞销DLC涂层表面、截面及涂层结合处的微观形貌、组成元素和成分进行了对比分析,并对2种活塞销进行了发动机台架耐久试验.结果表明:原样件活塞销耐久试验后涂层大面积脱落且磨损严重,通过改变工艺参数将原样件活塞销进行优化,优化后的活塞销DLC涂层表面的均匀性、平整性及光滑度都有了明显改善,涂层厚度由μm增加到了μm,且粗糙度Ra值由原样件的μm减小为μm,同时圆柱度也明显减小,耐久试验后涂层完好,没有发生脱落.此研究为提高活塞销表面质量,改善活塞销在工作中的磨损及失效提供了参考。上海英...

Ta-C涂层是一种无氢碳元素涂层，其sp³与sp²键的比值较高。与其他DLC涂层相比，ta-C膜层具有更高的硬度和抗温性能，并可降低摩擦系数。该涂层应用在汽车工业的挺杆（气门顶筒），并一直应用至今。Ta-C涂层应用于诸如汽车顶杆零件的目的之一是为了减小摩擦，其带来的效果是改善了发动机效率、更少的燃油消耗和更低的CO2排放。对更佳燃油经济性和更少污染的推动，已将ta-C涂层应用在切削刀具和成形工具上。增大汽车行驶里程数的措施之一是降低汽车自身重量。除了采用超度合金钢，在车身和发动机上采用铝合金已在过去几年以来日益增长。在汽车和航空航天业，塑料（包括碳纤维增强塑料CFRP）的应用也在日益增长。...

DLC形式的碳膜因其高硬度、低摩擦系数成为一种具有广泛应用前景的镀层，但其通常具有较高的内应力因而薄膜沉积的厚度受到限制。类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度，高电阻率。良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。主要包含sp2和sp3两种杂化键，而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。了它作为刀具对钢铁材料的加工应用。以sp2杂化为主的高硬度类石墨膜，具有较高的硬度，又有低的摩擦系数，内应力比较小，因而可以沉积相对较厚的膜层，在与钢铁材料接触时不会出现触媒反应，是一种优异的抗磨减摩...

DLC膜的性能“DLC”是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多， 不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同， 沉积的DLC 膜的结构和性能存在很大差别， 摩擦学性能也不相同。DLC膜的性能包括：低摩擦系数、高耐磨性、高导热率、高电阻率、高硬度、良好的光学透过性和生物相容性，所以现在被广泛应用在机械、...

在DLC薄膜应用的过程中，选择合适种类的DLC薄膜显得尤为重要。因此，DLC薄膜的分类以及分类标准的制定，直接影响了其在众多领域的应用。而传统的DLC薄膜分类方法通常需要根据DLC薄膜的微结构定量分析来完成。然而，这一方法需要基于大型同步辐射光源的X射线近边吸收精细结构谱（NEXAFS）分析碳元素的成分和状态；需要大型静电加速器的卢瑟福背散射弹性反冲（RBS/ERDA）或者中子源等分析氢元素含量，执行起来非常困难。因此，一般实验条件难以实现对DLC的准确分类，从而导致DLC在应用领域难以实现精细调控和定量研发。金刚石薄膜(DLC)的制备方法及应用。徐州电镀DLC介绍了采用物理相沉积(PVD)技...

在众多类型的碳材料中，类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其优异的性能吸引了世界范围内的关注和研究。DLC薄膜的结构处于金刚石和石墨结构之间的，主要是由金刚石结构的sp3杂化碳原子和石墨结构的sp2杂化碳原子混杂在一起形成的复杂三维网络结构构成[27]。根据晶体材料的特征分析，DLC薄膜通常呈现非晶态或非晶纳米晶复合结构。根据氢的有无可以分为含氢DLC薄膜(a-C:H)和不含氢DLC薄膜(a-C)。根据不同的含氢量和sp3与sp2杂化键的比例又分为不同的细类,如图1-1所示。在2005年德国工程师学会定制的“碳涂层”标准中，又可将DLC薄膜细分为不同的七大类[27]。...

越来越多高级的产品表面需要精美耐磨的效果，努力达到类似钻石耐磨的效果，又可以耐腐蚀耐酸碱等要求，其中触控手机、液晶显示、精密配件、精美手表首饰（LV,GUCCI···）、前列产品钻头、硬盘磁头、汽车配件、高级五金餐具卫浴等等未来将广泛应用到。为了达到类金刚石的效果，将会选择碳化硅、氮化硅结合增透膜氧化铌等靶材叠层应用。DLC膜不*具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC薄膜的工程化应用工艺设计。金华刃具DLC工艺类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代，是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它...

随着技术及航空航天技术的发展，红外技术越来越受到人们的重视，在及航天领域有着举足轻重的作用。红外光学元件的工作环境往往非常恶劣，如空-空导弹、超音速飞机等装备光电系统的红外窗口，需要承受灰尘、高温、高压、雨淋、冰雹撞击、热冲击等严峻考验，因此对红外窗口材料的性能要求越来越苛刻，既要求材料在工作波段具有优良的光学性能，还要求材料具有优良的力学、耐磨损、耐高温、耐腐蚀等性能。常作为红外窗口的材料有锗(Ge)、硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)、砷化镓(GaAs)、氟化镁(MgF2)、蓝宝石(sapphire)、尖晶石等，但这些材料在应用中都存在着一些问题，例如，Ge在高温时透过率下降；GaAs制...

DLC膜在机械功能领域上的应用(1)钻头、铣刀：DLC膜可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不*具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。荷兰的Hauzer公司制备的掺金属DLC膜层，用于切削度铝合金时，能减少表面所谓的切屑瘤（BUE）。结果是延长工具的寿命并使工件材料在切削后表面光滑。特别是在干切削和深孔加工方面，膜层性能非常好。广州有色金属研究院也进行了在铣刀上镀TiAlN+DLC膜，在加工有色金属时明显提高使用寿命及加工质量。(2)光盘模具及其辅助模具：光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具，为了减少它与母盘（镍盘）的摩擦，希望模具表面硬且摩擦系数小，目...

DLC涂层（类金刚石涂层）的优点类金刚石碳（Diamond-likeCarbon）DLC泛指不定性碳的晶体结构材质，此类材质里同时存在着如钻石般（SP3）及石墨般（SP2）碳原子排列方式，杂错地结合在一起。科汇DLC涂层可达至高硬度（2000-5000Hv），低摩擦系数,抗酸抗碱的化学特征，优良的耐磨性能，与基体结合力强，具有优异的耐蚀性，能耐各种酸、碱等腐蚀，对金属、塑料、橡胶、陶瓷等均有良好的抗粘结和防咬合性能，表面粗糙度低（可达镜面级），可在各种钢铁、钛合金、硬质合金等材料上沉积，其中含金属DLC更有导电特性。科汇可做到涂层厚度：μm，涂层比较高耐热400℃。DLC涂层表面非常光滑，有着...

类金刚石的光学性能及应用，DLC薄膜具有良好的光学透明度，宽的光学带隙，在可见光区通常吸收率高，不透明，但是在红外区和微波频段则具有很高的透过率和较低的吸收率。由于DLC薄膜具有光谱宽透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌等的增透/保护膜，起到抗磨损、耐腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。国外已相继将其应用在太阳能硅电池、高功率二氧化碳激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等方面。类金刚石在机械性能与应用。DLC薄膜具有很高的硬度和弹性模量，不同的沉积方法制备的DLC薄膜硬度差异很大，尤其是用激光溅...

世界能源的1/2-1/3消耗于摩擦，机械零件80％失效原因是磨损；因此磨损是材料研究的重要命题；耐磨、减摩材料开发活跃，成为摩擦学研究的重点。摩擦学包括摩擦、磨损和润滑三部分。自从上世纪70年代DLC薄膜问世以来，经过几十年的发展和探索，逐渐形成了现在的物理沉积和化学气相沉积的DLC(类金刚石涂层）薄膜。早期的涂层以硬度作为主要指标，往往追求高硬度以获得较好的抗磨性能。但是这些镀层的摩擦系数普遍较高，以TiN为例其摩擦系数在干摩擦状态下一般在0.4以上。高硬度的薄膜往往具有较大的脆性，易剥落、开裂。当前涂层面临的挑战不*应具有长的使用寿命而且有很好的自润滑功能。近年来，在保证镀层具有高硬度的前...

由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300°C以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20 at%Si的DLC膜在740°C退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属（如Ti、W、Cr）的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。 DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段...

涂层刀具结合了基体度高韧性以及涂层高硬度高耐磨性的特点,可以提高刀具寿命和加工效率.类金刚石薄膜(DLC)是由无序sp3键、sp2键、sp1键配位碳原子混合而成,具有一系列与金刚石膜相类似的性能(如热导率高,热膨胀系数小,化学稳定性好,硬度和弹性模量高,耐磨性好及摩擦系数低等)以及优异的耐摩擦性能和自润滑特性,因此成为高速钢和硬质合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世纪70年代,其沉积方法主要有物理相沉积法(包括磁控溅射沉积、离子束沉积、脉冲激光沉积)和化学气相沉积法,近几年还发展了液相电化学沉积法.其表征方法主要有拉曼光谱、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等.DL...

研究结果表明，采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD...

随着科学技术的飞速发展,用于机械加工、矿山采掘的硬质合金刀具在不断的更新,刀具涂层技术也在日趋多样化和复杂化,对生产工艺的要求也随之提高.文中介绍了硬质合金刀具涂层的2种主要制备方法即化学气相沉积法(CVD)和物理相沉积法(PVD),简述了刀具涂层即单组分涂层、多组分涂层、多层涂层和梯度涂层的发展,概括了几种新型涂层即金刚石涂层、类金刚石涂层、立方氮化硼涂层和氮化碳涂层,对未来硬质合金刀具涂层的发展方向进行了展望.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优...

经过长期的DLC薄膜合成过程中，研究人员发现，合成出来的DLC薄膜会因为不同的合成条件展现出不同的颜色状态，DLC薄膜的颜色也许能够用来简单的判断DLC的种类。为此，中国科学院深圳先进技术研究院唐永炳研究员及其团队成员周小龙博士、郑勇平博士，联合日本国立长冈技术科学大学斋藤秀俊教授，泰国国立同步辐射光源研究所SarayutTunmee博士等，通过选择不同物相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）等传统DLC薄膜沉积方法和改变沉积条件等途径，对所获得DLC薄膜颜色进行定量分析，并利用NEXAFS和RBS/ERDA等多种表征手段对其微结构和光学性能进行定量分析，同时结合从头算起的性原理模拟计算，较...

固体润滑薄膜材料具有优异的摩擦学性能,可以有效降低相对运动摩擦副之间的摩擦磨损,是汽车节能减排技术的重要研究方向.对固体润滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦学性能进行了介绍,研究了其在高压柴油喷射系统和发动机挺柱等零部件上的应用.台架试验结果表明,DLC薄膜可以有效降低发动机挺柱和柱塞等零部件表面的摩擦系数,减少供油和配气系统的摩擦损失,从而提高发动机的燃油经济性.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已...

类钻石膜 在70年代 发现 ，是一系列 含有 sp3 和sp2 键的非晶 碳膜，具有 与钻石膜 非常 接近 的性质 ——高硬度 、高弹性模量 、耐磨损 、低摩擦系数 、高阻力 、高透光率 、高化学 稳定性 等。 因此 ，类钻石膜 技术 被广泛应用 于机械 、电子 、光学 和医学 等各个领域 。 混合 的DLC薄膜 是非晶体 半导体材料 ，带宽 可在1-4e V之间 调制 ，大面积 生长 ，材料 本身 和加工过程 环保 ，在光电 检测 领域 的运用 潜力 非常 大。 但是 ，现在 DLC半导体 的混合 还没有 得到 n型或p型DLC半导体 的材料 。 上海 英屹涂料 技术 有限公司 引进 美国 ...

一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层，上海...