晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥330mT;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小至调节精度5’。晶圆级半自动... 【查看详情】
光学平台的隔振性能取决于台面本身和支架的隔振性能,总体上说,光学平台的隔振,通过三个方面来实现:隔振支架:通常来说,气浮式隔振支架性能优于阻尼式隔振支架,部分性能优异的隔振支架可以将外界振动(常见10~200Hz)减少一至两个数量级台面物理性能:要求台面有一定的刚性而且较轻(硬重比),这样的台面可以有效减少共振时的振幅,这一点在后面阐述台... 【查看详情】
光学平台热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的,可以在温度变化过程中保持良好的平整度。钢制的蜂窝芯结构从顶板延伸到底板,中间并无塑料或铝质泄露管理结构,因此不会降低平台整体的刚度或是引入更高的热膨胀系数。我们采用钢质侧板,而不是木板,这样就减少了由于湿度而引起的环境不... 【查看详情】
理想的刚性体是不存在的。现实中的系统只能近似的认为是刚性的,因此,其稳定性就要受到多方面因素的影响。例如外界的振源,系统的重量,光学平台的结构等等。为了提高系统的稳定性,我们可以从以下的几个方面来着手。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响大的是各种低频的振源,主要集中在10~100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以... 【查看详情】
当今科学界的科学实验需要越来越精密的计算和测量,因此一个能与外界环境和干扰相对隔离的设备仪器对实验的结果测量时非常重要的。能够固定各种光学元件以及显微镜成像设备等的光学平台也成为科研实验中必备的产品。光学平台很主要的一个目标是消除平台上任意两个以上部件之间的相对位移。优良的光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工,更需要有高科技精度的检测手... 【查看详情】
随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。良好的热传导性可起到作用,然而,在极端特殊的应用中,选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢,具有极小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长... 【查看详情】