真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离...
电阻真空计也称皮拉尼(Pirani)真空计,它是凭借热丝电阻的变化反映压力的。它主要由规管和测量线路两部分组成,其测量范围为104~10-1 Pa。电阻真空计是应用气体导热性能与气体压强有关的原理做的真空计。利用电桥测量真空中的电阻变化来换算出真空度。电阻真空计也叫皮氏真空计(皮拉尼)采用ZJ-52电阻规管。该真空计量程较宽、漂移较小。适用于真空设备的真空测量与控制。规管壳可用金属或玻璃制成,金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点,缺点是密封性能较差,价格高;玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点,缺点是易损坏。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。临...
电阻真空计也称热电阻真空计或皮拉尼真空计,由电阻规管和测量仪表单元组成。现以定温式电阻真空计为例说明其测量原理。所谓定温式就是利用加热电源的自动补偿功能,在测量过程中保持热丝温度不变,也就恒定了热丝的电阻。在电阻规管里有一个电阻随温度变化的热丝,给热丝通电发热,若炉内气体较多,气体压力P就大,气体分子从热丝上传走的热量就多,热丝温度降低,热丝电阻也就随之减小,若取热丝两端电压V或流过热丝的电流I值作为补偿参数,加热电源系统会启动补偿功能,自动提高加热电压或电流,使其热丝温度保持不变,即恒定了热丝的电阻值。利用在一定温度下,补偿电压V或电流I与气体压强P的函数关系,就可计算出气体压强(真空度)。...
电阻真空计系利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制造作而成的,电阻真空计属于相对真空计的范畴。电阻真空计的优点在于结构简单、能连续测量、可以测量总压强、使用方便(可用导线进行远距离测量)。缺点在于即电阻真空计的测量值与被测量气体种类有关,这是因为电阻真空计出厂时大多是利用空气标定的,由于离子渗氮炉中氢的存在,氢的热导率与氮、空气等的热导率相比相差太大,故所测真空度值误差较大。但由于该类真空计实用方便、读数直观,勇于测量炉体的极限真空度和压升率准确可靠,因而仍然是我国大多数企业的一个选择产品。环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。东营DZA1型真空表多少钱热导式电阻真空计测量值跟气...
电阻真空计也称皮拉尼(Pirani)真空计,它是凭借热丝电阻的变化反映压力的。它主要由规管和测量线路两部分组成,其测量范围为104~10-1 Pa。电阻真空计是应用气体导热性能与气体压强有关的原理做的真空计。利用电桥测量真空中的电阻变化来换算出真空度。电阻真空计也叫皮氏真空计(皮拉尼)采用ZJ-52电阻规管。该真空计量程较宽、漂移较小。适用于真空设备的真空测量与控制。规管壳可用金属或玻璃制成,金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点,缺点是密封性能较差,价格高;玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点,缺点是易损坏。电阻真空计的优点在于结构简单、能连续测量、可以测量总压强、使用方便。数显式电阻真空计销...
众所周知,真空计具有简单、经济、使用方便等特点,在中真空以至低真空测量中都占有重要的地位。然而,我们发现它的规管虽然简单,但由于丝细而长比较脆弱,经不起振动和气流冲击,同时丝表面对污染较为敏感,即使采用白金丝或镀金钨丝,稳定性仍然很差。电阻真空计属热导真空计,产生于1906年,但只是在40年代解决了细丝焊接问题之后,它才得到实际应用。由于它相对皮氏计而言,更为简单、可靠,在许多地方代替了皮氏计。不过,迄今为止,商售热偶真空计单限于定流式一种,一般测盆上限单为100Pa。电阻真空计,基于定温和对流原理,采用稳定型热偶真空规管和现代电子器件,成功地把测量上限扩展至大气压,并弥补了皮氏计的不足之处,...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,...
电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子平均自由程大于容器的线度时,它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时,由于气体导走了一部分热量,故当达到热平衡时,金属丝便保持一定的温度。气体的压强高,导走的热量多,平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数,可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。热偶真空计即是用一电阻来测量热丝的温度从而得到压强值的真空计。电阻由两种不同的金属丝连接而成,当两接点温度不同时就产生热电势,温差越大,热电势越高。电阻的一个接点与热丝相接触,另一接点处于室温,这样经过校正,即可由热电势的值转换为压强的值。它...
环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。电阻式真空计对于微弱的光和热以及振动都很灵敏,引起的误差也很明显,而且不同的类型的电阻真空计(定压、定温、定流等),温度的影响也不尽相同。因此电阻真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响。电阻真空计的规管使用时间长了之后也会导致测量误差,这个主要是由于规管的热丝发生了疲劳现象。如蒸镀过程中,规管热丝被蒸镀上金属物,导致电阻温度系数变化而引起误差甚至使规管失效无法测量,或者热丝由于温度较高且在低真空度下工作,而导致氧化,适应系数改变,也会导致极大的误差,甚至热丝被烧断。电阻真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响...
实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热丝电阻变化的方法不同,可分为三种模式:(1)定电压法:保持电桥两端电压不变,观察失平衡电流与压力的关系。(2)定电流法:保持热丝电流(或电桥电流)不变,观察失平衡电压与压力的关系。(3)定电阻法(即定温度法):在任何压力下都用改变电桥电压的方法,保持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中,热丝电阻及其温度基本为定值,具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。在以上三种模式中,常用的是定电压法和定温度法。真空计在测量结束后,应用夹子将真空橡皮管夹紧使用之与真空系统气体隔离。府谷县ZDJ-8型真空表单价真空计是应用真空中热...
安装上抽气接头和用作密封的罗帽,用真空排气管联接真空系统,若有条件请采用¢6mm的紫铜管进行焊接,尽可能减少漏气的可能性,注意焊接时,必须将真空计套在接头上的密封圈取下。测量时,以旋转手轮进行测量的,必须将化学物质升至SET设定处,在看右侧测量管内的化学物质,所指向的真空度数。读数后,必须将手轮及时的返旋回来,凭手感吃力为止。操作PM-6型的真空计,除上面所提到的低真空度测量外,对粗真空度的测量方法是:将右侧测量管内的化学物质上升至左侧下方的“○→” 位置,看抽气管(也称比较开管)内化学物质所指向的真空度数,即为粗真空度。切记!除在跟踪测量外,其余的真空度以三次测量未变的数值为准确。真空计是基...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计。陕西榆林数显式电阻真...
真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离...
真空计开始执行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。处理受污染部件时,要遵守相关规定,并采取必要的预防措施。执行任何工作之前,要遵守相关规定,采取必要的预防措施,针对使用的工艺介质,遵守相关规定,并采取必要的预防措施。要考虑到可能会与产品材料发生的反应。真空计安装变送器时要注意防止振动。安装变送器任何方位皆可。为防止凝液和颗粒进入测量腔,较好选择一个水平到垂直向上的方位,在测量口可以添加过滤装置。如果变送器安装好之后要进行调节,安装时要确保装好后能够用按针对调节按钮进行操作。拆掉保护盖,将产品连接到真空系统中。电阻真空计配用的传感器抗沾污、抗氧化、结实、不怕气流冲击与振动。威海数字电阻真空表...
皮拉尼电阻真空计是一种低真空测量仪器。该仪器由定温式电阻真空计组成,用于测量低真空。其使用范围在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。仪器采用真空规管作为传感器。稳定性好,不易损坏。仪器采用微处理机完成测量数据的采集和处理。具有自动非线性参数修正和误差补偿功能,并采用了光电隔离、数字滤波、防高电压冲击等技术,提高了测量精度及抗干扰能力,特别对于电子束、离子束以及弧放电等强干扰源都有非凡的抗干扰能力。每台真空计均设置有两组继电器输出接口,用来实现真空度定值点和区域的控制。定值点及区域可方便自由设定,该仪器控制面板更人性化,操作更方便,开电源即可工作。本机线路设计合理,制作工艺考究,采用...
真空计是应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。适用于300 Pa -0.1Pa范围内的真空测量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用户订购时选择)金属热偶规管,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱线等工业和科研有广泛应用。真空计按测量性质可分为对的真空计和相对真空计。所谓对的真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如U型压力计、压缩式真空计就是对的真空计。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。电阻真空计一般先校准零点,再进行满度校准。重庆带控制型真空表售价测量时压力计旋转至直立状...
麦氏真空表又名麦克劳真空计(也叫转动式压缩真空计),可以通过本身的参数,直接算得压强值,所以它除了进行压强测量外,还可以作为“对的真空计”用来校验一些相对真空计,广泛应用于中央空调溴化锂制冷机组、冶金、金属镁冶炼、石油化工、真空炉、真空干燥箱、电子管、高压电力设备、医药、科学实验、教育研究及计量院等。主要用于真空工业生产中对低真空的测量。当测量完毕后,应及时的关闭真空计与测量系统之间的阀门,将手轮退到拧不动为止,把杠杆退还到起始位置即可。真空计(Vacuum Gauge),又名真空表,是测量真空度或气压的仪器。宁波皮拉尼电阻真空表批发价格真空计是基于皮拉尼真空计的热传导原理设计,配备集成的继电...
电阻真空计系利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制造作而成的,电阻真空计属于相对真空计的范畴。电阻真空计的优点在于结构简单、能连续测量、可以测量总压强、使用方便(可用导线进行远距离测量)。缺点在于即电阻真空计的测量值与被测量气体种类有关,这是因为电阻真空计出厂时大多是利用空气标定的,由于离子渗氮炉中氢的存在,氢的热导率与氮、空气等的热导率相比相差太大,故所测真空度值误差较大。但由于该类真空计实用方便、读数直观,勇于测量炉体的极限真空度和压升率准确可靠,因而仍然是我国大多数企业的一个选择产品。电阻真空计测量范围宽,将电子技术的新成就应用到电阻真空计中,可使其误差减小。济宁数字电阻真空表该电阻...
运输及使用时必须严防倒置平卧,以防化学物质倒回真空像皮管内或化学物质珠进入中间闭管毛细管内堵塞毛细管,影响测量精度。因此在每次使用前必须先将真空橡皮管竖直,以使化学物质能流回真空计玻璃管内。在测量时即真空表为直立状态,严禁将任何气体强烈地冲入真空系统,以免冲击玻璃管致使击碎玻璃管。真空计内工作汞已经经过化学物理方法处理,有一定的清洁性。因长期使用等原因而引起的化学物质氧化污染会直接影响测量精度,应及时送往修理,经检验合格后方可使用。真空计在测量结束后,应用夹子将真空橡皮管夹紧使用之与真空系统气体隔离。这样能保持真空计内化学物质清洁,也能避免真空计被取下分离时,大气强烈冲击真空计使其破碎。如不将...
真空计是应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。适用于300 Pa -0.1Pa范围内的真空测量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用户订购时选择)金属热偶规管,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱线等工业和科研有广泛应用。真空计按测量性质可分为对的真空计和相对真空计。所谓对的真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如U型压力计、压缩式真空计就是对的真空计。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。稳定性的提高使得电阻真空计获得应用。潍坊ZDJ-8型真空表报价测量时压力计旋转至直立状应...
众所周知,真空计具有简单、经济、使用方便等特点,在中真空以至低真空测量中都占有重要的地位。然而,我们发现它的规管虽然简单,但由于丝细而长比较脆弱,经不起振动和气流冲击,同时丝表面对污染较为敏感,即使采用白金丝或镀金钨丝,稳定性仍然很差。电阻真空计属热导真空计,产生于1906年,但只是在40年代解决了细丝焊接问题之后,它才得到实际应用。由于它相对皮氏计而言,更为简单、可靠,在许多地方代替了皮氏计。不过,迄今为止,商售热偶真空计单限于定流式一种,一般测盆上限单为100Pa。电阻真空计,基于定温和对流原理,采用稳定型热偶真空规管和现代电子器件,成功地把测量上限扩展至大气压,并弥补了皮氏计的不足之处,...
在抽气管内塞入的钢针及橡皮头均是用于防止真空计在运输途中化学物质流失用的,请在真空计安置之后,与真空系统相连时再作抽出(请别丢弃,以后送维修时,还需塞紧后寄回)。对于您选择的挂壁或带杠杆式的真空计,采用罗栓作固定的安装时必须保证真空计与水平面的垂直度,采用支撑式或带杠杆的请将三根支撑杆一一拧上(杠杆式的在左侧还配有一根平衡杆),选择一个适合摆放支撑真空计的平台面,安置好真空计。当测量完毕后,应及时的关闭真空计与测量系统之间的阀门,将手轮退到拧不动为止,把杠杆退还到起始位置即可。焊接时,必须将真空计套在接头上的密封圈取下。昆明电阻型真空计厂家皮拉尼电阻真空计是一种低真空测量仪器。该仪器由定温式电...
电阻真空计特点:1.电阻真空计配用的传感器抗沾污、抗氧化、结实、不怕气流冲击与振动。2.重复性好。众所周知,在工业应用中,真空测量的重复性比侧量精度更为重要。是用户较关心的一个指标。测试结果与应用实例表明本真空计的重复性是工业应用中较理想的中、低真空测量仪器。3.测量范围宽。国内外热偶真空计的测量范围达到1-105Pa尚是一次出现。4.带有两组触点输出。既可作真空检测,又可作真空监控真空继电器用。5.带有断丝报警。当规管断丝或规管电缆接触不良,操作者能及时发现。数显隔膜真空计同时具有科学记数法读数和常规直读记数。湖州带控制型真空计报价定温型电阻真空计工作原理是:先在10-2~10-3 Pa真空...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。麦氏真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。数显隔膜真空计灵活可设置的方式为用户带来了很大的便利和适用性。济南数显电阻真空计批发厂家运输及使用时必须严防倒置平卧,以防化学物质倒回...
电离计的反应热真空计快,但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的较小可检漏孔约为1*10-6——1*10-7托升/秒。在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用,另一方面还会引起不必要的读数波动,因为混进的空气分量时大时小。电阻真空计易出现老化现象,使其性能降低。重庆皮拉尼真空计多少钱安装上抽气接头和用作密封的罗帽,用真空排气管联接真空系统,若有条...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。麦氏真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。真空计的可靠性高,操作简単,测量结果重复性好,可持续监视若干测量地点。济南皮拉尼电阻真空表销售厂家皮拉尼电阻真空计是一种低真空测量仪器...
隔膜真空计是一种高精度真空测量仪器,专为恶劣的制造环境而设计。经过验证的温控,耐腐蚀,超纯陶瓷传感器可在多年内提供的跨度稳定性,并具有零稳定性。附带独特传感器屏蔽,可保护仪表免受不良过程副产品的影响。先进的电子元件为所有应用和可选的现场总线接口提供可配置信号调理。创新的加热概念使触摸表面更加凉爽,节省了宝贵的工具空间。隔膜真空计是同类产品中小的真空测量仪器。测量室接通被测真空系统。当被测压力Pl>Pb时,由于规管中的压力差p1-pb,膜片发生应变引起电容C0改变,破坏了测量电桥电路的平衡,指示仪表上亦有相应的指示。电阻真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响。台州DZA1型真...
隔膜真空计读数是什么意思?这是经常被问到的问题,本文就做一个系统的解释。真空行业常用2种显示方式来表征真空度数据,一种叫做科学记数法,比如2.3E03,表示2300,另一种则是常规直读法。科学记数法读数因为表征真空度的压力数据通常会在很大的范围内波动,而表征大数据较好的一种方法就是所谓的科学记数法,即把一个数表示成aEn(1≤a<10,n为整数)与10的幂相乘的形式,这种记数法叫做科学记数法。当我们要标记或运算某个较大或较小且位数较多时,用科学记数法免去浪费很多空间和时间。所以之前看到2.3E03转换成可读的数据方法就是2.3*10^3=2.3*1000=2300。真空计在测量结束后,应用夹子...
真空计是应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。适用于300 Pa -0.1Pa范围内的真空测量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用户订购时选择)金属热偶规管,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱线等工业和科研有广泛应用。真空计按测量性质可分为对的真空计和相对真空计。所谓对的真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如U型压力计、压缩式真空计就是对的真空计。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。烟台皮拉尼真空计哪家好测量真空度时(A)...
Pirani电阻真空计构造。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立:Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Qg = αΛπda(T-T0)p (2)和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Qs =...
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