近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度）...

气体管道安装的注意事项：1、根据设计图纸在管道上应开的孔洞，宜在管子安装前开好。开孔后须将管道内部清理干净，不得遗留钻屑或其它杂物，严禁汽割及角向磨光机进行开孔。2、对于大直径焊接钢管，管子对口时，应保证其纵向焊缝相互错开不少于100mm，并宜处于容易检查的部位。3、支吊架安装工作宜与管道的安装工作同步进行。支吊架的形式和安装位置须严格遵...

内表面粗糙度的要求：不锈钢管道或管件的内表面粗糙度是指材料表面高度偏差的平均数，用Ra表示，单位是μm 。Ra值越大，材料表面的粗糙度就越大。注：①在制药用水系统中，从减少微生物和杂质的滞留，控制生物膜的生成 等方面考虑，与工艺用水相接触的部分材料表面粗糙度应在0.25-0.65 μm为宜。但应以具体的工艺要求，适当选取。②表面粗糙度与系...

气体管道安装的注意事项：1、管道连接时，严禁强力对口。管子与设备的连接，应在设备安装定位紧好地脚螺栓后自然地进行。2、管道安装若采用组合方式时，组合件应具备足够刚性，吊装后不应产生变形，临时固定应牢固可靠。3、在管线上因安装仪表插座、疏水管座等需开孔、且孔径小于30mm时，不得用气割开孔。4、管道安装时，注意管子与管子之间应有一定的间距，...

硅烷（SiH4）是一种在常温常压下为具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆裂性燃烧和剧毒性的特种气体。硅烷在高科技行业中应用越来越普遍，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。举例：半导体行业中，硅烷SiH4...

化学品供应设施的安装：1、 本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。2、 化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求或合约规定检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并作检查记录。3、 化学品供应设施中的各类泵的安装施工应符合现行国家标准《压缩机、风机、泵安装...

系统吹扫采用蒸汽，吹扫压力不得超过管道的设计压力，流速不宜小于20m/s。管道系统吹扫时，宜按流程先主管后支管进行吹扫，吹扫过程中，当目测排气无烟尘时，应在排气口设置贴白布或涂白漆的木制靶板检验，5min内靶板上无铁锈，尘土、水分及其他杂物，应为合格。当采用水冲洗时，宜采用大流量，流速不得低于1.5m/s。水冲洗应连续进行，以排出口的水色...

管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5µm)；3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号...

施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气。说明：本标准用词说明：1 为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1) 表示很严格，非这样做不可的：正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；2)...

实验室气体管道可靠性，管道连接应采用牢固的固定方式，避免因振动或使用不当导致的泄漏。管道应有适当的保护措施，避免机械损伤和化学腐蚀。应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。实验室气体管道标识清晰，实验室气体管道通过颜色编码和标签明确地标识气体管道，有助于减少操作错误和提高安全性。方向箭头和警告标识则对于指示气体...

金属管道的连接方式:1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。不锈钢管的焊接:采用氩弧焊，同时管内通入同等纯度的氩气，防止焊接部位氧化。钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以...

工艺条件不锈钢抛光管的安装必须有特殊的工艺条件，主要有以下几点：1、洁净管道施工对环境的要求比较高，所以较好是在厂房空吹后施工，否则空气中的灰尘微粒就会进入安装阶段，从而影响施工。2、如厂房内没有空气吹风的情况下，可采用净化小室的方法施工，禁止在室外露天作业。3、环境温度在10℃以上。塑料管扩口，塑料管及管件的承口一般生产厂供货时均已成型...