干式罗茨泵因无油密封设计，极限真空度可达10Pa，适配医药GMP洁净工艺；变频智能机组则能突破传统限制，极限真空度降至1×10³Pa以下，可服务于光刻工艺（压力波动≤±0.5Pa）的超高精度需求。选型...

真空机组通常由主泵、前级泵、连接管道、阀门、真空测量装置及控制系统等构成。主泵根据所需真空度选择，如高真空应用选涡轮分子泵、扩散泵；低真空应用选旋片泵、水环泵等。前级泵用于为主泵提供合适前置真空环境，...

排气速率：泵出口处的气体排放速率，与抽气速率在数值上差异较大（因气体被压缩），主要用于前级泵的匹配计算。抽气速率的测量需遵循国际标准（如ISO1607-1986），重点方法为“定压法”：在泵入口处连接...

华中干式真空泵国内行业现状：爪式真空泵既是容积式真空泵的一种，同时也是一种干式真空泵。爪泵结构简单、运行平稳、可靠性高、后期维护简单和清洁度高。其干式真空泵的应用是宽泛的，可用于多晶硅制备工艺、半导体...