泵壳是泵体组件的关键，也是整个真空泵的外壳，通常采用较高的强度铸铁、铸钢或不锈钢制成，具有良好的抗压、耐高温、耐腐蚀性能，能够承受抽气过程中泵腔内的压力变化和温度升高。泵壳的内部腔体采用“8字形”或“...

变截面（锥形）螺杆转子：转子截面齿顶圆半径从进气端到排气端减小、齿根圆半径增大，形成锥形结构，加工难度较大、精度要求较高。其特点是通过径向容积变化实现气体压缩，热变形更小、功率损耗更低，极限压力极低，...

水冷方式是通过循环的冷却水在泵体内部的冷却通道中流动，吸收热量后再将其带出泵体，达到降温的目的。螺杆真空泵的水冷系统通常包括冷却水套、冷却水管、水泵和水箱等组件。冷却水套紧密贴合在泵体外部或内部关键部...

密封件用氟橡胶（耐温200℃，耐化学腐蚀），低真空可选全氟塑料水环泵，高真空需耐腐蚀涡轮分子泵，维护要求：每次运行后用惰性气体吹扫泵腔（防止残留腐蚀），易燃易爆气体（氢气、甲烷），重点问题：摩擦火花或...