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罗茨真空泵属于容积式真空泵,由两个相互啮合的转子组成,通过转子的同步反向旋转实现抽气。其抽气速率高,极限真空度高,常与其他类型真空泵组成真空机组,用于需要高真空环境的场合,如半导体制造、真空镀膜等。罗...