罗茨 - 液环真空机组采用三级模块化设计，**为 “液环泵预处理 + 罗茨泵精抽” 串联结构：液环泵通过偏心叶轮形成液环，高效处理蒸汽与粉尘，预处理后气体压力降至 10⁴Pa；罗茨...

国内区域政策差异催生市场需求分化，形成特色竞争格局。天津依托京津冀集成电路产业集群，将半导体真空泵纳入重点产业链 “白名单”，对采购国产**真空泵的企业给予 10% 的采购补贴...