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半导体设备:机械加工突破超精密制造瓶颈半导体制造对零件的平面度、平行度及表面粗糙度要求极高。我们通过纳米级机械加工技术,为光刻机、蚀刻机等设备提供晶圆载台、真空腔体等关键部件。例如,某型号光刻机的物镜...