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半导体制造是当今对洁净度、精度和可靠性要求为严苛的工业领域之一。用于光刻机、晶圆传送、检测等设备的直线导轨，必须在满足纳米级运动精度的同时，实现零污染和超高可靠性。这些设备中的直线导轨不仅需要采用特殊...
即使选用比较高精度的直线导轨，并进行了完美安装，受限于材料、工艺和温度等因素，运动平台在全行程上的定位误差仍可能无法满足某些超精密应用的要求。此时，可以采用软件精度补偿技术。通过激光干涉仪等高精度仪器...
用于FPD（平板显示）、半导体前道工艺的洁净机器人，需要在Class10甚至更高等级的洁净室内高速搬运晶圆或玻璃基板。其手臂关节内的直线导轨，必须满足无尘、低挥发、高速、高精度的综合要求。这类直线导轨...
在绝大多数精密直线传动系统中，直线导轨与滚珠丝杆是协同工作的“黄金搭档”。直线导轨负责约束运动平台，使其沿既定方向高精度、低摩擦地直线运动，并承受主要的弯矩和扭矩；滚珠丝杆则将电机的旋转运动转化为精确...
在风力发电机组中，巨大的叶片需要根据风向进行精细偏航对风，这个偏航系统通常由大型回转轴承和驱动齿轮组成，而其刹车和定位辅助系统可能涉及直线导轨机构。更重要的是，在太阳能光伏领域，追日系统（SolarT...
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在高速度、高加速度、高精度要求达到的场合，如半导体设备、高速pick-and-place（取放）设备，传统的“旋转电机+滚珠丝杆”传动方式可能达到性能瓶颈。此时，直接驱动技术的——直线电机，成为理想选...
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