氧化铋、Bi2O3，氧化镨、Pr6O11，氧化锑、Sb2O3，氧化钒、V2O5，氧化镍、NiO，氧化锌、ZnO，氧化铁、Fe2O3，氧化铬、Cr2O3，氧化铜、CuO等。高纯氟化物氟化镁、MgF2，氟化镱、YbF3，氟化钇、LaF3，氟化镝、DyF3，氟化钕、NdF3，氟化铒、ErF3，氟化钾、KF，氟化锶、SrF3，氟化钐、SmF3，氟化钠、NaF，氟化钡、BaF2，氟化铈、CeF3，氟化铅等。高纯金属类高纯铝,高纯铝丝，高纯铝粒，高纯铝片，高纯铝柱，高纯铜，高纯铜丝，高纯铜片，高纯铜粒，高纯铬，高纯铬粒，高纯铬粉，高纯铬块，铬条，高纯钴，高纯钴粒，高纯金，高纯金丝，高纯金片，高纯金粒，高纯...

提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量.电子的归宿不**是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势.磁场与电场的交互作用(EXBdrift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是**在靶面圆周运动.真空镀膜技术的特点1、镀覆材料***:可作为真空镀蒸发材料有几十种,包括金属、合金和非金属.真空镀膜加工还可以像多层电镀一样,加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求.2、真空镀膜技术可以实现不能通过电沉积方法形成镀层的涂覆:如铝、钛、锆等镀层,甚至陶瓷和金刚石涂层,这是十分难能可贵的.3、真空镀膜性能优良:真空镀膜厚度远小于电镀层,但涂层的耐摩擦和耐腐...

主要为在装饰产品设计。例如大型板材管材、家具装饰品上镀保护膜，真空手套箱设备手套箱后的产品能够展现出雍容华贵、光彩夺目等各种各样的美丽效果，并且膜层耐磨损不褪色。1.装饰件材料(底材)(1)金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。(2)玻璃、陶瓷。(3)塑料。ABS、PVC、PC、SHEET、尼龙、水晶等。(4)柔性材料。涤纶膜、PC、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。2.装饰膜种类(1)金属基材装饰膜层：TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、Ti02、Al等。(2)玻璃、陶瓷装饰膜层：TiO2、Cr2O3、MgF2、ZnS等。(3)塑料基材装饰膜层：AI、Cu、Ni、Si02、Ti02...

PVD是英文PhysicalVaporDeposition（物***相沉积）的缩写，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。PVD技术的发展PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。**初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯...

遮光和隔热性能也非常好，可以作为生产***包装产品的材料。聚乙烯由于真空镀膜适应差，但通过改造后还是可以用于真空镀膜的，但只能生产低档的包装产品或隔热产品，聚丙烯比聚乙烯受热更稳定，而且非常轻，所以其利用价值比较高，不过聚丙烯与膜层的结合性比较差，所以必须表面处理后才能进行镀膜，膜层作装饰作为，使产品更美观。聚氯乙烯是一种不易腐蚀的物质，但受热不稳定，它所能承受的温度只有60℃以下，为了提高其耐热性会在其中加入稳定剂，真空镀膜机也要选择低温镀膜的设备。真空镀膜机是应用于各行各业的，而塑料的***运用，真空镀膜技术的不断发展注定会把触手伸到塑料行业，面对某些常用却不能直接进行真空镀膜的塑料，研究...

通常将欲沉积的材料制成板材──靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入10～1帕的气体（通常为氩气），在阴极和阳极间加几千伏电压，两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原子碰撞，受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。与蒸发镀膜不同，溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法，即将反应气体(O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物（如氧化物、氮化物等）而沉积在基片上。...

按使用要求分为紫外、红外及可见光用。3、氧化锆材料特点白色重质结晶态，具有高的折射率和耐高温性能，化学性质稳定，纯度高，用其制备高质量氧化锆镀膜，不出崩点影响一面平面透镜的透光度有许多成因。镜面的粗糙度会造成入射光的漫射，降低镜片的透光率。此外材质的吸旋光性，也会造成某些入射光源的其中部分频率消散的特别严重。例如会吸收红色光的材质看起来就呈现绿色。不过这些加工不良的因素都可以尽可能地去除。很可惜的是大自然里本来就存在的缺陷。当入射光穿过不同的介质时，就一定会发生反射与折射的问题。若是我们垂直入射材质的话，我们可以定义出反射率与穿透率。很多人会好奇地问：一片完美且无镀膜玻璃的透光度应该有多少?既...

按使用要求分为紫外、红外及可见光用。3、氧化锆材料特点白色重质结晶态，具有高的折射率和耐高温性能，化学性质稳定，纯度高，用其制备高质量氧化锆镀膜，不出崩点影响一面平面透镜的透光度有许多成因。镜面的粗糙度会造成入射光的漫射，降低镜片的透光率。此外材质的吸旋光性，也会造成某些入射光源的其中部分频率消散的特别严重。例如会吸收红色光的材质看起来就呈现绿色。不过这些加工不良的因素都可以尽可能地去除。很可惜的是大自然里本来就存在的缺陷。当入射光穿过不同的介质时，就一定会发生反射与折射的问题。若是我们垂直入射材质的话，我们可以定义出反射率与穿透率。很多人会好奇地问：一片完美且无镀膜玻璃的透光度应该有多少?既...

高纯镍柱，高纯钽，高纯钽片，高纯钽丝，高纯钽粒，高纯镍铬丝，高纯镍铬粒，高纯镧，高纯钆，高纯钆，高纯铈，高纯铽，高纯钬，高纯钇，高纯镱，高纯铥，高纯铼，高纯铑，高纯钯，高纯铱等.混合料氧化锆氧化钛混合料，氧化锆氧化钽混合料，氧化钛氧化钽混合料，氧化锆氧化钇混合料，氧化钛氧化铌混合料，氧化锆氧化铝混合料，氧化镁氧化铝混合料，氧化铟氧化锡混合料，氧化锡氧化铟混合料，氟化铈氟化钙混合料等混合料其他化合物钛酸钡，BaTiO3，钛酸镨，PrTiO3，钛酸锶，SrTiO3，钛酸镧，LaTiO3，硫化锌，ZnS，冰晶石，Na3AlF6，硒化锌，ZnSe，硫化镉，硫化钼，硫化铜，二硅化钼。辅料钼片，钼舟、钽片...

以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

什么是光学镀膜：光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。光学镀膜原理：1-1真空镀膜真空镀膜：真空镀膜主要是指需要在更高真空下进行的涂料，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等多种涂料，所以。蒸发和溅射有两种主要类型。将被镀材料制成基材，将电镀材料用作靶材或药材。衬底处于与靶相同的真空中。蒸发涂层通常是加热目标，以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发，并通过成膜方法（散射岛结构-梯形结构-层状生长）...

利用光学薄膜可提高硅光电池的效率和稳定性。一、结构**简单的光学薄膜模型是表面光滑、各向同性的均匀介质薄层。在这种情况下，可以用光的干涉理论来研究光学薄膜的光学性质。当一束单色平面波入射到光学薄膜上时，在它的两个表面上发生多次反射和折射，反射光和折射光的方向由反射定律和折射定律给出，反射光和折射光的振幅大小则由菲涅耳公式确定（见光在分界面上的折射和反射）。二、特点光学薄膜的特点是：表面光滑，膜层之间的界面呈几何分割，膜层的折射率在界面上可以发生跃变，但在膜层内是连续的，可以是透明介质，也可以是光学薄膜吸收介质：可以是法向均匀的，也可以是法向不均匀的，实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多，这是因为...

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。中文名真空镀膜机主要思路蒸发适用范围卫浴五金主要分类溶胶凝胶法目录1简介2使用步骤▪电控柜操作▪DEF-6B操作▪关机顺序3适用范围4化学成分▪薄膜均匀性概念▪主要分类5操作程序真空镀膜机简介编辑需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单...

使CCD不能充分利用所有光线，其低照性能难以令人满意。五、滤光片术语入射角度：入射光线和滤光片表面法线之间的夹角。当光线正入射时，入射角为0°。光谱特性：滤光片光谱参数(透过率T，反射率R，光密度OD，位相，偏振状态s，p等相对于波长变化的特性)。中心波长：带通滤光片的中心称为中心波长（CWL）。通带宽度用**大透过率一半处的宽度表示（FWHM），通常称为半宽。有效孔径：光学系统中有效利用的物理区域。通常于滤光片的外观尺寸相似，同心，尺寸略小些。截止位置/前-后：cut-on对应光谱特性从衰减到透过的50%点，cut-off对应光谱特性从透过到衰减的50%点。有时也可定义为峰值透过率的5%或者...

TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN），以及氧化物膜（如TiO等）。Q9:请问PVD镀膜膜层的厚度是多少？A9:PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为μm～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为μm~1μm，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，并能够维持工件尺寸基本不变，镀后不须再加工。Q10:请问PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色有哪些？A10:我们目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色；镀膜结束后可以用...

高频感应蒸发源蒸镀法高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈**，使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失（对铁磁体），致使蒸发材料升温，直至气化蒸发。膜材的体积越小，感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中，高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。高频感应蒸发源的特点：1）蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右；2）蒸发源的温度均匀稳定，不易产生飞溅现象；3）蒸发材料是金属时，蒸发材料可产生热量；4）蒸发源一次装料，无需送料机构，温度控制比较容易，操作比较简单。它的缺点是：1）必须采用抗热震性好，高温化学性能稳定的氮化硼坩锅；2）...

限制夏季室外的二次热辐射进入室内，南方、北方都适用。因其具有丰富的装饰效果和室外视线遮阳作用，适用于各类建筑物。双银LowE玻璃双银LowE玻璃突出了玻璃对太阳热辐射的遮阳效果，将玻璃的高透光性与太阳热辐射的低透过性巧妙地结合在一起，有较高的可见光透过率，可有效地限制夏季室外的背景热辐射进入室内。相关概念镜头镜头在影视中有两指，一指电影摄影机、放映机用以生成影像的光学部件，由多片透镜组成。各种不同的镜头，各有不同的造型特点，它们在摄影造型上的应用，构成光学表现手段；二指从开机到关机所拍摄下来的一段连续的画面，或两个剪接点之间的片段，也叫一个镱头。一指和二指，是两个完全不同的概念，为了区别两者的...

真空镀膜设备的蒸发源选取原则是什么呢？这是我们关注的一个问题，下面真空镀膜设备厂家分析蒸发源选取原则。1.有良好的热稳定性，化学性质不活泼，达到蒸发温度时加热器本身的蒸汽压要足够底。2.蒸发源的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度。加热器要有足够大的热容量。3.蒸发物质和蒸发源材料的互熔性必须很底，不易形成合金。4.要求线圈状蒸发源所用材料能与蒸发材料有良好的浸润，有较大的表面张力。5.对于不易制成丝状、或蒸发材料与丝状蒸发源的表面张力较小时，可采用舟状蒸发源。镀膜机的操作简单，易于维护和清洁。卷绕镀膜机哪家好真空镀膜一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的...

提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量.电子的归宿不**是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势.磁场与电场的交互作用(EXBdrift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是**在靶面圆周运动.真空镀膜技术的特点1、镀覆材料***:可作为真空镀蒸发材料有几十种,包括金属、合金和非金属.真空镀膜加工还可以像多层电镀一样,加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求.2、真空镀膜技术可以实现不能通过电沉积方法形成镀层的涂覆:如铝、钛、锆等镀层,甚至陶瓷和金刚石涂层,这是十分难能可贵的.3、真空镀膜性能优良:真空镀膜厚度远小于电镀层,但涂层的耐摩擦和耐腐...

真空镀膜一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。简介在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装...

高纯镍柱，高纯钽，高纯钽片，高纯钽丝，高纯钽粒，高纯镍铬丝，高纯镍铬粒，高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等.混合料氧化锆氧化钛混合料，氧化锆氧化钽混合料，氧化钛氧化钽混合料，氧化锆氧化钇混合料，氧化钛氧化铌混合料，氧化锆氧化铝混合料，氧化镁氧化铝混合料，氧化铟氧化锡混合料，氧化锡氧化铟混合料，氟化铈氟化钙混合料等混合料其他化合物钛酸钡，BaTiO3，钛酸镨，PrTiO3，钛酸锶，SrTiO3，钛酸镧，LaTiO3，硫化锌，ZnS，冰晶石，Na3AlF6，硒化锌，ZnSe，硫化镉，硫化钼，硫化铜，二硅化钼。辅料钼片，钼舟、钽片...

本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展。按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统，后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度。卷绕张力控制分锥度、间接和直接控制模型，锥度控制模型可解决薄膜褶皱和径向力分布不均的问题；间接张力控制无需传感器，可用内置张力控制模块的矢量变频器代替；直接张力控制通过张力传感器精确测量张力值，但需惯性矩和角速度等多种参数。真空卷绕镀膜主要有真空蒸发、磁控溅射等方式，可用于制备新型高折射率薄膜、石墨烯等纳米材料和柔性太阳能电池等半导体器件。针对真空卷绕镀膜技术研究现状及向产业化过渡存在的问题，作了简要分析与展望。真空卷绕镀膜(卷...

是在真空蒸发和真空溅射基础上发展起来的一种新的镀膜技术。离子镀的英文全称IonPlating，简称IP。它是在真空条件下，应用气体放电实现镀膜的，即在真空室中使气体或蒸发物质电离，在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。1972年，Banshah提出了在真空放电蒸镀时，导入反应气体生成化合物的方法，即（活性反应蒸镀法）（简称ARE法）。与此同时，在离子镀时代替氩气导入一部分反应气体生成化合物薄膜，形成了反应性离子镀法（简称RIP法）等等。根据不同膜材的气化方式和离化方式，可构成不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有：电阻加热，电子束加热，等离子电子束加热，高...

遮光和隔热性能也非常好，可以作为生产***包装产品的材料。聚乙烯由于真空镀膜适应差，但通过改造后还是可以用于真空镀膜的，但只能生产低档的包装产品或隔热产品，聚丙烯比聚乙烯受热更稳定，而且非常轻，所以其利用价值比较高，不过聚丙烯与膜层的结合性比较差，所以必须表面处理后才能进行镀膜，膜层作装饰作为，使产品更美观。聚氯乙烯是一种不易腐蚀的物质，但受热不稳定，它所能承受的温度只有60℃以下，为了提高其耐热性会在其中加入稳定剂，真空镀膜机也要选择低温镀膜的设备。真空镀膜机是应用于各行各业的，而塑料的***运用，真空镀膜技术的不断发展注定会把触手伸到塑料行业，面对某些常用却不能直接进行真空镀膜的塑料，研究...

使CCD不能充分利用所有光线，其低照性能难以令人满意。五、滤光片术语入射角度：入射光线和滤光片表面法线之间的夹角。当光线正入射时，入射角为0°。光谱特性：滤光片光谱参数(透过率T，反射率R，光密度OD，位相，偏振状态s，p等相对于波长变化的特性)。中心波长：带通滤光片的中心称为中心波长（CWL）。通带宽度用**大透过率一半处的宽度表示（FWHM），通常称为半宽。有效孔径：光学系统中有效利用的物理区域。通常于滤光片的外观尺寸相似，同心，尺寸略小些。截止位置/前-后：cut-on对应光谱特性从衰减到透过的50%点，cut-off对应光谱特性从透过到衰减的50%点。有时也可定义为峰值透过率的5%或者...

提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量.电子的归宿不**是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势.磁场与电场的交互作用(EXBdrift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是**在靶面圆周运动.真空镀膜技术的特点1、镀覆材料***:可作为真空镀蒸发材料有几十种,包括金属、合金和非金属.真空镀膜加工还可以像多层电镀一样,加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求.2、真空镀膜技术可以实现不能通过电沉积方法形成镀层的涂覆:如铝、钛、锆等镀层,甚至陶瓷和金刚石涂层,这是十分难能可贵的.3、真空镀膜性能优良:真空镀膜厚度远小于电镀层,但涂层的耐摩擦和耐腐...

常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为～。蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质（图1[蒸发镀膜设备示意图]）电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料；②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质；③电子束加热源：适用于蒸发温度较高（不低于2000[618-1]）的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率...

附着性好，膜结构及形貌差，若用电子束加热必须用差压板；可用于镀耐腐蚀润滑机械制品。2）多阴极型。利用电阻或电子束加热使膜材气化；依靠热电子，阴极发射的电子及辉光放电使充入的真空惰性气体或反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，有时需要对基板加热可用于镀精密机械制品，电子器件装饰品。3）活性反应蒸镀法（ARE）。利用电子束加热使膜材气化；依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气，氮气等反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，蒸镀效率高，能获得氧化铝，氮化钛，碳化钛等薄膜；可用于镀机械制品，电子器件，装饰品。4）空心阴极离子镀（HCD）。利用等离子...

图1[蒸发镀膜设备示意图]）电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源：适用于蒸发温度较高（不低于2000[618-1]）的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。为沉积高纯单晶膜层，可采用分子束外延方法。生长掺杂的GaAlAs单晶层的分子束外延装置如图2[分子束外延装置示意图]。喷射炉中装有分子束源，在超高真空下当它被加热到一定温度时，炉中元素以束状分子流射向基片。基片被加热到一定温度，沉积在基片上的分子可以徙动，...

简介真空镀膜在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法**早由M.法拉第于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜设备结构如图1。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃...