ITO蚀刻液由氟化铵、草酸、硫酸钠、氢氟酸、硫酸、硫酸铵、甘油、水组成。1、氟化铵:分子式为NH4F,白色晶体,易潮解,易溶于水和甲醇,较难溶于乙醇,能升华,在蚀刻液中起腐蚀作用,一般选用工业产品。2、草酸:在蚀刻液中作还原剂使用,一般选用工业产品。3、硫酸钠:在蚀刻液中作为填充剂使用,一般选用工业产品。4、氢氟酸:即氟化氢的水溶液,为无色液体,能在空气中发烟,有强烈腐蚀性和毒性,能侵蚀玻璃,需贮存于铅制、蜡制或塑料容器中,可作为蚀刻玻璃的主要原料,一般选用工业品。5、硫酸:纯品为无色油状液体,含杂质时呈黄、棕等色。用水稀释时,应将浓硫酸慢慢注入水中,并随时搅和,而不能将水倒入浓硫酸中,以防浓硫酸飞溅而引发事故,可作为腐蚀助剂,一般选用工业品。6、硫酸铵:一般选用工业品。7、甘油:一般选用工业品。8、水:自来水。ITO酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。TIO去膜液生产基地
ITO显影剂的两液显液:两液显影主要作用是用于加强阴影部分的影纹,减低高影调部分的密度。曝光时,阴影部分须比正常提高一个区。如果胶片容易发灰,在溶液B中加入少量的10%溴化钾溶液。底片上的高密度部分的厚度,主要依靠A溶液显影时间的控制,底片进入溶液B以后,高密度部分的显影作用已经停止了,但低密度的部分仍然继续进行,溶液B可以调制的比较强,但是B溶液越强,颗粒就会越粗,所以这种冲洗法需要事前进行比较大量的试验。江苏TIO蚀刻药水库存充足ITO显影剂在使用中,显影剂与保护剂、促进剂、阻止剂等配成显影液使用。
铜网格黑化药液按质量百分含量包括如下组分:亚硒酸0.05~5%,过硫酸盐0~10%,稳定剂0.01~1%,阻止剂0.01~1%,其余为水。金属网格的黑化方法使用该黑化药液对金属网格进行浸泡。铜网格黑化药液缓解了目前涂布黑化层的物理黑化方式繁琐、消影效果一般,容易影响金属导电性能的缺陷。铜网格黑化药液通过亚硒酸、稳定剂和阻止剂的相互配合不但能够起到很好的黑化效果,明显降低金属的反射率和亮度,目视不明显,达到消影效果,而且黑化后线路完整、不影响其导电性能。
温度对各种ITO蚀刻液速率的影响:1.碱性氯化铜蚀刻液。蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH3的挥发量也很大程度增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。2.酸性氯化铜蚀刻液。随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。ITO黑白显影剂是硫酸对甲氨基苯酚、对苯二酚等。
ITO导电玻璃稳定性:耐碱为浸入60℃、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐溶剂为在250C、二甲基酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的清洗液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。热稳定性:在300°C的空气中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%。ITO酸性蚀刻液较容易再生与回收,从而减少污染。南通网格黑化
ITO显影剂氧化物与乳剂层的成色剂作用生成有机染料。TIO去膜液生产基地
ITO导电玻璃制造工艺:(1)电化学扩散工艺:在玻璃上用电化学扩散方法可获得掺杂超导薄膜。玻璃在电化学处理装置中与熔融金属或化合物接触,在一定的电场作用下,熔融金属或化合物中的离子会扩散到玻璃表面,玻璃中的一价碱金属离子离解处来,等量地扩散至阴极表面,使玻璃表面的化学组成发生变化。性能随之改变。(2)高温喷涂和等离子体喷涂工艺:这种技术是将粉末状金属或非金属、无机材料加热至熔化或未熔化状态,并进一步加温使其雾化,形成高温高速焰流喷向需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先在基体上制备YBaGUOx等涂层,在经过热处理可成为超导性材料TIO去膜液生产基地