硅晶圆经过SC-1和SC-2溶液清洗后,由于双氧水的强氧化力,在晶圆表面上会生成一层化学氧化层。为了确保闸极氧化层的品质,此表面氧化层必须在晶圆清洗过后加以去除。另外,在IC制程中采用化学汽相沉积法(CVD)沉积的氮化硅、二氧化硅等氧化物也要在相应的清洗过程中有选择的去除。化学清洗是利用各种化学试剂和有机溶剂去除附着在物体表面上的杂质的方法。在半导体行业,化学清洗是指去除吸附在半导体、金属材料以及用具表面上的各种有害杂质或油污的工艺过程。IC封装药水对表面的深层顽固污渍的去除有效果。常州电子元器件清洗剂
IC封装药液颗粒主要是一些聚合物、光致抗蚀剂和蚀刻杂质等。通常颗粒粘附在硅表面,影响下一工序几何特征的形成及电特性。根据颗粒与表面的粘附情况分析,其粘附力虽然表现出多样化,但主要是范德瓦尔斯吸引力,所以对颗粒的去除方法主要以物理或化学的方法对颗粒进行底切,逐渐减小颗粒与硅表面的接触面积,终将其去除。有机物杂质在IC制程中以多种形式存在,如人的皮肤油脂、净化室空气、机械油、硅树脂真空脂、光致抗蚀剂、清洗溶剂等。每种污染物对IC制程都有不同程度的影响,通常在晶片表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达晶片表面。常州电子元器件清洗剂IC封装药水经金防变色剂处理后的银镀层抗变色能力持久,经测试1-3年不变色、不生锈。
表面颗粒度会引起图形缺陷、外延前线、影响布线的完整性以及键合强度和表层质量。颗粒的去除与静电排斥作用有关,所以硅片表面呈正电时,容易降低颗粒去除效率,甚至出现再沉淀。传统的湿法化学清洗中所需要解决的主要问题有:化学片的纯度、微粒的产生、金属杂质的污染、干燥技术的困难、废水废气的处理等。寻求解决上述问题的过程中,发现改用气相清洗技术是一个有效途径。随着微电子新材料的使用和微器件特征尺寸的进一步减小,迫切需要一种更具选择性更环保、更容易控制的清洁清洗技术,IC清洁剂在后道工序中铜引线、焊盘、键合等都需要进行有机污染物的清洗,用湿法清洗也很难达到目的。
IC封装药液对于重污垢工件,延长清洗时间或使用多槽多次方式彻底清洗干净。极易漂洗,无残留,并对玻璃材质无不良影响。本品不含重金属,亚硝酸盐等RoHS禁止之物质。本品应储于阴凉干燥的库房内,严禁日晒雨淋。本品无刺激性,如接触皮肤,立即用大量清水冲洗15min,如不慎溅入眼中,立即用大量清水冲洗15min,严重者应就医。使用除胶剂可采用浸泡法和擦拭法进行除胶,浸泡十分钟~3小时后。取出工件,再用棉布或软毛刷将粘胶剥离擦除即可。需要注意的是产品有挥发性,要用塑料桶盛装,浸泡时盖好盖子。IC封装药水耐腐蚀性能提高5-20倍。
IC封装药液适用于金属表面,塑料表面,玻璃表面等的清洗和光亮,可以高效去除其表面的松香焊药,吸塑胶以及墙上粘贴的胶纸,并且有很好的光亮效果。对表面的深层顽固污渍的去除有很好的效果。可采用浸泡法和擦拭法进行除胶。浸泡十分钟~3小时后,取出工件,再用棉布或软毛刷将粘胶剥离擦除。由多种进口表面活性、缓蚀剂及其它助剂配制而成的水基清洗剂,针对去除切割工艺的胶粘合剂特别研制。具有除胶速度快,除胶彻底,工作温度低等优点。按比例稀释成工作液后,加热至40-60度,浸泡4-6分钟。IC封装药水与硅酸盐相比,本剂具有好于硅酸盐五倍以上的防腐蚀效果。常州电子元器件清洗剂
IC封装药水比硅酸盐溶液稳定,不会出现析出、凝胶、悬浮、沉淀、结垢的现象。常州电子元器件清洗剂
IC封装药液适当使用,可有效的减少生產中的不良品。使用时将脱胶剂倒入容器中,然后在脱胶剂中加一厘米厚水封面用于防火防挥发。将需去除膠层的零件完全浸泡于脱胶剂中,因膠层厚薄不同,约数分钟或几十分钟不等,膠层和粘接灌封胶料会自动全部脱除。脱除后用水冲洗干净即可。脱胶剂使用后可用过滤网将脱下的树脂滤净,可继续使用多次。涂刷对于大件不便浸泡的物件,可用毛刷涂于需脱除的膠層部件,几分钟或几十分钟后膠膜鼓起脱落后將其洗干净即可,对于厚膜的膠层可涂刷多次。常州电子元器件清洗剂
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