TIO蚀刻液的基本信息:(1)配方。①热水12g,氟化铵15g,草酸8g,硫酸铵10g,甘油40g,硫酸钡15g;②氟化铵15g,草酸7g,硫酸铵8g,硫酸钠14g,甘油35g,水10g;③氢氟酸60(体积数,下同),硫酸10,水30。(2)配制方法。配制蚀刻液①和②时,将上述原料与60℃热水混合,搅拌均匀即可。配置时不要使溶液溅到皮肤上,而且操作时应戴上口罩。配制蚀刻液③时,按配方将氢氟酸和硫酸混合,然后将混合液倒入水中(不能将水倒入混合液),并不断搅拌。(3)使用方法。使用刻蚀液①或②时,把要蚀刻的玻璃洗净、晾干,建议用电炉或红外线灯将玻璃稍微加热,以便于蚀刻。蚀刻时,用毛笔蘸蚀刻液书写文字或图案于玻璃上,2min蚀刻工作即完成。制作毛玻璃时,将玻璃洗净、晾干,用刷子均匀涂上腐蚀液即可。ITO蚀刻液可以说是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。宁波金属发黑
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。宁波金属发黑ITO显影液在电子行业的一般要求是超净和高纯。
温度对ITO酸性氯化铜蚀刻液速率的影响:随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。温度对ITO碱性氯化铜蚀刻液速率的影响:蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH3的挥发量也很大程度增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。
ITO蚀刻液影响蚀刻速率的因素:酸性氯化铜蚀刻液。1、Cu2+含量的影响。溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有一定的影响。一般情况下,溶液中Cu2+浓度低于2mol/L时,蚀刻速率较低;在2mol/L时速率较高。随着蚀刻反应的不断进行,蚀刻液中铜的含量会逐渐增加。当铜含量增加到一定浓度时,蚀刻速率就会下降。为了保持蚀刻液具有恒定的蚀刻速率,必须把溶液中的含铜量控制在一定的范围内。2、Cu+含量的影响。根据蚀刻反应机理,随着铜的蚀刻就会形成一价铜离子。较微量的Cu+就会明显的降低蚀刻速率。所以在蚀刻操作中要保持Cu+的含量在一个低的范围内。ITO显影剂是指将感光材料经曝光后产生的潜影显现成可见影像的药剂。
市场上销售的ITO显影液多是浓缩型液体,使用时需要按比例稀释,ITO显影液的浓度多以ITO显影液的稀释比来表示。在其他条件不变的前提下,显影速度与ITO显影液浓度成正比关系,即ITO显影液浓度越大,显影速度越快。当ITO显影液浓度过大时,往往因显影速度过快而使显影操作不易控制。特别是它对图文基础的腐蚀性增强,容易造成网点缩小、残损、亮调小网点丢失及减薄涂层,从而造成耐印力下降等弊病。同时空白部位的氧化膜和封孔层也会受到腐蚀和破坏,版面出现发白现象,使印版的亲水性和耐磨性变差。ITO显影液浓度大,还易有结晶析出。ITO蚀刻液应用用于ITO制程,蚀刻精度高。宁波金属发黑
ITO显影液的浓度偏低时,碱性弱,显影速度慢,易出现显影不净、版面起脏、暗调小白点糊死等现象。宁波金属发黑
ITO酸性蚀刻液的蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量;溶铜量大;蚀刻液容易再生与回收,从而减少污染;而碱性蚀刻液的蚀刻速率快(可达70μm/min以上),侧蚀小;溶铜能力高,蚀刻容易控制;蚀刻液能连续再生循环使用,成本低。由以上特性决定,酸性蚀刻液用途可用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作;而碱性蚀刻液一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作及纯锡印制板的蚀刻。而总的来说,碱性与酸性蚀刻液用途要权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等各方面的影响因素选择合适的试剂。宁波金属发黑
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