IC芯片生产是一个高科技、高投入和高回报的行业,芯片工艺生产中所运用的清洗液,尤其是后段制程的有机溶剂,价格昂贵,成分保密,被国外化学品大厂垄断。IC清洁剂采用多种能生物降解表面活性剂,并添加多种助剂、缓蚀剂科学配制而成。,能够迅速除掉工件表面的各种油污,不腐蚀工件,并且具有短期防锈效果。也可用于大型设备的表面擦洗,具有低碱度、无腐蚀、操作简单、低温使用,节约能源,使用寿命长等特点。使用方法:本脱脂剂可用擦洗或浸泡式对工件表面进行清洗处理,配制方法:(按1000L计算)1:将清水加到处理槽容量的9成。2:慢慢加入100-公斤IC-502,边加边搅拌。(油污较重可适量提供使用比例)3:加入余量的水到1000L,并搅拌均匀。IC封装药水抗硫化性和耐候性能优越,5%硫化钾测试可通过1-2小时。江苏IC封装表面处理液型号
IC清洁剂流体与固体接触时,不带任何表面张力,因此能渗透到晶圆内部较深的光刻位嚣,因而可以剥离更小的颗粒。流体的粘度很低,可以去除掉晶圆表面的无用固体。采用超临界流体清洗给组合元件图案造成的损伤少并可以压制对基板的侵蚀和不纯物的消费。可对注入离子的光敏抗腐蚀剂掩模用无氧工艺进行剥离。引进超临界流体清洗技术,清洗方法以不使用液体为主流,预计到2020年,可达到几乎完全不使用液体的超临界流体清洗或者针点清洗成为主要的清洗方法超临界流体清洗的革新点在于可以解决现有清洗方法中的两个弊端,即清洗时,损伤晶片、或组合元件和污染环境的问题。电子元器件清洗剂生产基地IC封装药水依使用运输和储存条件的不同,在1-3年内可防止表面形成硫化物。
有机物的去除常常在清洗工序的第1步进行,金属污染物:IC电路制造过程中采用金属互连材料将各个单独的器件连接起来,首先采用光刻、蚀刻的方法在绝缘层上制作接触窗口,再利用蒸发、溅射或化学汽相沉积(CVD)形成金属互连膜,如A-Si,Cu等,通过蚀刻产生互连线,然后对沉积介质层进行化学机械抛光(CMP)。这个过程对IC制程也是一个潜在的污染过程,在形成金属互连的同时,也产生各种金属污染。必须采取相应的措施去除金属污染物。原生氧化物及化学氧化物:硅原子非常容易在含氧气及水的环境下氧化形成氧化层,称为原生氧化层。
IC除锈剂可以在不破坏基材表面外观的前提下实现防锈功能,而且在某些特定条件下还可以增加表面的光亮度。IC除锈剂的使用工艺简单,配方中的物质种类容易获得,并且制备成本低,适用范围较广。从解决问题的角度出发,未雨绸缪,把问题遏杀在萌芽阶段是解决问题的比较好途径和手段。IC除锈剂的出现可以有效的扮演这一角色。IC除锈剂的分类:通常按照溶液的特征,IC除锈剂可以分为;水溶性IC除锈剂、油溶性IC除锈剂、乳化型IC除锈剂、气相IC除锈剂和蜡膜型IC除锈剂等。IC封装药水适用于各种Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,药液维护容易。
IC除锈活化剂溶液,其特征在于:包含百分比含量为15-40%的硫酸,百分比含量为2-20%的盐酸,百分比含量为5-25%的过一硫酸氢钾,百分比含量为0。1-1%的脂肪醇聚氧乙烯醚,其余为水。本发明具有危害性较小,适用性较广,除锈活化速度快的优点。性能优良:本品可快速去除金属表面上的油、锈和非金属表面上的油污,无氢脆和过腐蚀现象,并有防灰功能。本品对铁离子容忍性大,使用寿命极长,并可循环添加使用。工艺简单:除油去锈、活化同步进行,一步完成,只需综合处理→水洗两道工序。IC封装药水与硅酸盐相比,本剂具有好于硅酸盐五倍以上的防腐蚀效果。苏州IC去胶清洗剂销售价
IC封装药水使用简单,常温浸泡,封闭前无需干燥产品。江苏IC封装表面处理液型号
随着芯片尺寸加大,工艺线宽减小,从9Onm工艺开始,以往IC清洁剂在清洗过程中使用的超声波清洗遇到一些问题,如造成半导体器件结构损伤,在65nm及以下工艺,其损伤程度可能会加剧。芯片中的深沟槽结构清洗时清洗液和漂洗去离子水很难进入结构内部,难以达到清洗目的。高堆桑式和深沟槽式结构清洗后的干燥过程也是很关键的技术问题。一般小于130nm工艺中,要求必须去除所有大于或等于100nm的颗粒,而由于表面边界层的限制,现行清洗技术,如液体或高压〈液体〉喷射清洗已无法洗去0onm的颗粒。江苏IC封装表面处理液型号
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