IC封装药液颗粒主要是一些聚合物、光致抗蚀剂和蚀刻杂质等。通常颗粒粘附在硅表面,影响下一工序几何特征的形成及电特性。根据颗粒与表面的粘附情况分析,其粘附力虽然表现出多样化,但主要是范德瓦尔斯吸引力,所以对颗粒的去除方法主要以物理或化学的方法对颗粒进行底切,逐渐减小颗粒与硅表面的接触面积,终将其去除。有机物杂质在IC制程中以多种形式存在,如人的皮肤油脂、净化室空气、机械油、硅树脂真空脂、光致抗蚀剂、清洗溶剂等。每种污染物对IC制程都有不同程度的影响,通常在晶片表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达晶片表面。IC封装药水适用于各种Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,药液维护容易。苏州芯片制程药剂制造商
IC封装药液在酸性、中性、碱性条件下均能溶解透明,且长期稳定。与磷酸酯类物质相比,本剂具有好于磷酸酯类物质”三倍以上的防腐蚀效果。“磷酸酯类物质”含磷,易生菌,容易产生大量泡沫。而本剂不含磷、不易生菌、无泡。对黑色金属和其它有色金属都有辅助的防腐蚀作用;无毒、无味等特点,不含有害物质,环保型水性产品﹔极低的添加量,综合使用成本低;经本剂处理的工件,可保持金属本色,不影响加工精度﹔能够锁住金属表面颜色,稳定性好,防腐蚀性强,保护效果好,金属表面不褪色,从保护金属元件的稳定性。南京IC封装表面处理液厂家供货IC封装药水产品封闭处理后,表面为全干性,无油感。
IC清洁剂水清洗技术是今后清洗技术的发展方向,须设置纯净水源和排放水处理车间。IC清洁剂以水作为清洗介质,并在水中添加表面活性剂、助剂、缓蚀剂、螯合剂等形成一系列以水为基的清洗剂。可以除去水溶剂和非极性污染物。其清洗工艺特点是:安全性好,不燃烧、不炸裂,基本无毒;清洗剂的配方组成自由度大,对极性与非极性污染物都容易清洗掉,清洗范围广;多重的清洗机理。水是极性很强的极性溶剂,除了溶解作用外,还有皂化、乳化、置换、分散等共同作用,使用超声比在有机溶剂中有效得多;作为一种天然溶剂,其价格比较低廉,来源普遍。
IC清洁剂对金属不腐蚀,可蒸馏回收,反复使用,比较经济;毒性较低,对环境污染少;清洗与漂洗可用同一种介质,使用方便。烃类清洗工艺的缺点,主要的是安全性问题,要有严格的安全方法措施。醇类清洗工艺特点:醇类中乙醇和异丙醇是工业中常用得有机极性溶剂,甲醇毒性较大,一般做添加剂。醇类清洗工艺特点是:对离子类污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊剂效果非常好,对油脂类溶解能力较弱;与金属材料和塑料等相容性好,不产生腐蚀和容胀;干燥快,容易晾干或送风干燥,可不必使用热风;脱水性好,常用做脱水剂。防变色剂又称防腐蚀剂,IC除锈剂。
IC除锈剂使用方法及注意事项:浸泡法:优点是可以在表面形成均匀的防锈膜,保证产品的完全覆盖,成本较低,缺点是只适用于小型产品,使用低粘度的防锈油,浸泡槽必须有很好排水系统。喷雾法:适用于大型且结构复杂的产品,必须使用高效能的喷雾器,容易出现产品未能完全形成防锈膜,使用时工作环境要求通风性能要好。刷涂法:此方法使用简单,但是必须要确保工件的每一个位置都有刷涂到,使用前刷子必需保持清洁。冲洗法:效率高,循环使用,可节省成本,但是需要定期对槽内的产品进行排水以及定期进行更换,避免水分及其他物质过多影响防锈效果。IC封装药水属于干性防锈/防变色剂,适用于等产品后防变色,防腐蚀处理。江苏芯片制程药剂
IC封装药水经金防变色剂处理后的银镀层抗变色能力持久,经测试1-3年不变色、不生锈。苏州芯片制程药剂制造商
现代清洗技术中的关键要求:IC清洁剂在未来90~65nm节点技术工艺中,除了要考虑清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技术指标外,也要考虑对环境的污染以及清洗的效率其经济效益等。硅片清洗技术评价的主要指标可以归纳为:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金属沾污、表面颗粒度以及有机物沾污,其他指标还包括:芯片的破损率;清洗中的再沾污;对环境的污染;经济的可接受:包括设备与运行成本、清洗效率)等。金属沾污在硅片上是以范德华引力、共价键以及电子转移等三种表面形式存在的。这种沾污会破坏薄氧化层的完整性,增加漏电流密度,影响MOs器件的稳定性,重金属离子会增加暗电流,情况为结构缺陷或雾状缺陷。苏州芯片制程药剂制造商
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