南京真空氦气检漏仪原理

检漏仪应用于调节阀气路管道检漏：调节阀检漏，阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气，如在被检测处如阀杆等，用检漏仪正压法（吸口法）检测，吸口法检测的精度可充分满足气密性检测要求。检漏仪用于调节阀的气路管道进行检漏, 检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4 至 10-6Pa.m3/s. 同时需要提供快速, 清洁的检漏环境. 采用检漏仪吸口模式, 即在密封的气体管路中充入一定量的氦气, 然后进行检漏。检漏仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏，其较小可检查漏率为5X10-12mbar l/s。根据检漏仪数据的把控能力，能够确保产品的质量能够得到更好的监督。南京真空氦气检漏仪原理

检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。模块式检漏机供应厂家检漏仪的本底漏率值是什么？

检漏仪常规氦检漏的基本要求：在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的，它与温度和使用年限有关。如LK-8标准校准漏孔的漏率为1.65X10-8 Pa M3/s；在正式检漏前，工件内部要用氦气将工件内部的空气排出，保证一定的氦气浓度，并保持氦气压力必须高于标准大气压(0.1MPa)以上, 且持续保压至少30min以上。检测时，工件周围防止通风，且不能降低氦气的检测灵敏度。注意周边的环境必须保持没有额外的氦气存在。检测时要注意安全防止氦气引起的窒息。检测中要使吸口嘴必须保持与检测位置的距离不超过3mm，为了便于检测可以在吸口嘴外套个塑料盖确保在泄漏点出来的氦气不会立刻散开，提高检测灵敏度。漏率可以直接从仪器上读取，可以设置漏率超标时报警；该方法属于半定量方法，一般要求漏率小于1 X 10-6 Pa M3/s为合格。

正确使用氦气检漏仪：如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。检漏仪不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。

检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。氦气检漏仪定制

造成检漏仪灯丝脆断的原因是真空度低或者灯丝电流过大。南京真空氦气检漏仪原理

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