检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏,1.将氨质检漏仪启动完成,再将检漏仪内部的检漏方式,设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键,使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接,可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统,再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下,真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键,让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后,就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后,先关闭高真空手动挡板阀,再按下检漏仪的‘停止’键,让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。检漏仪在正式检漏前,工件内部要用氦气将工件内部的空气排出,保证一定的氦气浓度。苏州密封检漏仪原理
检漏仪在火电厂的应用:检漏仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。检漏仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是检漏仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分,分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性,氦气的压缩比很小,可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离,氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极,产生一个正比于离子数量的电流信号,该信号经过放大和处理即为泄漏率。上海进口检漏仪多少钱一台检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。
关于检漏仪的一些知识点:仪器的反应时间及清理时间,仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时,当氦气刚刚喷及漏孔处,即使不考虑氦气通过漏孔的时间,也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化,也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化,而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe,质谱室处对氦的抽速为SHe,质谱室至被检容器间的总容积为V,那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走,另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe(不包括本底)。被抽走的氦量为pHeSHedt,使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt,并经移项整理后得到。
检漏仪五大优势:1、智能化:以往的检漏仪操作非常辅助,而现在都是触屏式,自动检测。2、便捷化:小型便捷的检漏仪能够为企业工件设备提供小巧方便的检测。3、自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节0点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成全检漏过程。4、全无油的干式检漏:检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,这为无油系统及芯片等半导体器件的检漏提供了有利条件。5、检漏范围宽:检漏仪检测范围很宽,不但可检测氦气,还能检测其它气体。检漏仪具备强力的数据监控和存储能力。
检漏仪的整体结构有哪些?电气系统,氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。辅助真空系统的配置,在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。小型便捷的检漏仪能够为企业工件设备提供小巧方便的检测。苏州密封检漏仪原理
检漏仪的优势体现在哪些方面?苏州密封检漏仪原理
检漏仪怎么选择适合的检漏方法? 氦质谱检漏的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法),可以发现有不同的叫法,这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的,常用基础的有3种检漏方法。负压法(喷氦法),对被检工件抽真空,可对被检工件外可疑漏点喷氦,也可将工件罩起来对氦罩内喷氦,可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵,可检测工件的具体漏点和准确漏率;正压法(吸入法),可分为真空箱法和吸口法两张模式,真空箱法详见真空箱式氦检成套设备,工件内充氦气,吸抢检测,可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气,可检测工件的具体漏点,检测精度高。背压法,可根据工件大小定制罐体大小;可检测工件的整体漏点;检测精度较高。苏州密封检漏仪原理
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