上海罗茨真空泵结构图

粉末冶金烧结脱气是提升零件致密度的关键步骤，罗茨螺杆真空机组凭借干式无油特性成为主流配置。在不锈钢粉末烧结过程中，该机组可将炉内真空度控制在 0.1-0.03Pa，抽除粉末颗粒间的空气与成型剂挥发物，避免烧结后零件出现内部气孔。对于含铝、钛等活泼元素的合金粉末，罗茨真空泵的快速抽气能力（300-2500L/s）能在升温至烧结温度前去除炉内氧气，防止金属元素氧化；保温阶段则动态抽除合金内部扩散出的氢、氮气体，使零件致密度提升至 98% 以上。其对粉尘与可凝性蒸汽的耐受性较强，无需复杂预处理即可直接抽除烧结产生的杂质气体，***降低生产维护成本。罗茨泵腔内无需用油密封润滑，减少油蒸气对真空系统的污染，适配食品、医药等对洁净度要求高的行业。上海罗茨真空泵结构图

罗茨真空泵具有抽速大、效率高、对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感等特点，在100-1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体。它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间，作为机械增压泵使用，以提高中间压力范围的抽气量。在工业领域，罗茨真空泵广泛应用于真空冶金中的真空浇铸、真空熔炼、真空脱气等工艺，以及化工、食品、医药行业的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等过程。在电子行业，它用于半导体制造工艺，如薄膜沉积、光刻、蚀刻等环节，确保反应室的真空度，保证工艺的精确控制。此外，罗茨真空泵还在环保领域用于处理工业废气，通过抽真空有效去除有害气体，保护环境。浙江国产罗茨真空泵品牌罗茨泵的转子由传动比 1 的齿轮带动同步旋转，几何对称性确保运转平稳，高转速设计依托无接触间隙实现。

碳化硅外延工艺需在超洁净低压环境中进行，罗茨真空泵的无油污染与精细控压特性使其成为**设备。在外延炉预处理阶段，其与分子泵串联使用，可将炉内真空度提升至 10⁻⁴Pa，抽除衬底表面吸附的氧、氮杂质，保障外延层质量。外延生长阶段，罗茨真空泵能精确控制反应室压力在 1-10Pa，配合气体流量控制系统，实时抽除未反应的硅烷、氢气等原料气体，避免多余气体沉积影响外延层厚度均匀性。对于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可实现反应气体快速置换，缩短工艺周期；其 IoT 传感器还能实时监测抽气速率与压力变化，实现预测性维护，减少设备停机时间。

不同真空范围的罗茨泵工作原理一致，但需适配不同系统。直排大气的低真空型可直接排气，中真空型（机械增压泵）和高真空多级型则必须配合前级泵使用。其极限真空度不仅取决于自身制造精度，更与前级泵的性能直接相关，通过多台串联可进一步提升系统真空水平。罗茨真空泵*****的特点是抽速稳定且抽气能力强。在很宽的压力范围内，其抽速基本保持恒定，能迅速排出系统中突然放出的气体，这使其特别适合低入口压力下需大抽速的场景。同时，由于转子间及转子与泵壳间无接触，无需用油润滑，从根本上避免了油蒸汽对真空系统的污染，满足洁净工况需求。罗茨真空泵是无内压缩旋转变容式真空泵，由罗茨鼓风机演变而来，有多种类型。

抽气量不够是罗茨真空泵的常见故障，直接影响工艺进度。主要原因包括转速不足、密封漏气、间隙过大及温度过高。转速不足可能是皮带轮速比不合适或皮带打滑，可通过更换皮带轮或调节电机位置张紧皮带解决；密封漏气多发生在法兰连接或轴封处，需检查垫圈、密封皮碗等部件，及时更换或紧固。真空度不达标的故障与抽气量不足成因相近，额外可能因进出口压差过大导致。若进气系统密封不严或泵体本身漏气，处理方法与密封漏气一致；空气温度过高时，湿式泵可在进气口注入冷水，干式泵则需在出气口加装冷却器；压差过大需检查安全阀是否失灵或出口管路是否阻力过大。罗茨真空泵适用领域广，覆盖化工、电子等行业。安徽水冷式罗茨真空泵

高效罗茨真空泵，助力企业提升生产加工效率。上海罗茨真空泵结构图

多室连续式真空炉的模块化生产特性，要求罗茨真空泵具备灵活的抽气适配能力。该炉型由进料、预热、高温、冷却等多室组成，罗茨泵主要负责进料室与出料室的快速预抽真空，配合滑阀泵可在 15 分钟内将压力从大气压降至 10⁻¹Pa 量级，为工件传递提供真空隔离条件。在预热室（温度 300-500℃）的脱气阶段，罗茨泵能高效抽除工件表面吸附的水分与油污，避免高温加热时产生气泡；与扩散泵组合后，还可支援高温工作室（1000℃以上）的高真空需求（达 10⁻³Pa）。其积木式系统集成设计，可根据三室、五室等不同生产线规模调整泵组数量，配合气动挡板阀实现各室压力**控制，使多批次连续生产的效率较 batch 炉提升 40%，且零件尺寸一致性误差小于 ±0.02mm。上海罗茨真空泵结构图

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