光伏硅片切割工艺中,螺杆真空泵主要用于硅片切割腔的抽真空,需具备 “高抽速、快响应、抗污染” 的特性。高抽速特性可快速将切割腔真空度从大气压降至 10Pa 以下,缩短抽真空时间,提高生产效率,通常要求抽气速率≥500m³/h;快响应特性体现在当切割腔因进料门开启导致真空度下降时,设备能迅速提升转速,在 30 秒内将真空度恢复至设定值,避免影响切割精度;抗污染特性则针对切割过程中产生的硅粉,需在进气口设置**过滤装置,防止硅粉进入泵体,同时泵体内腔需具备耐磨涂层,减少硅粉对转子的磨损。此外,切割工艺中需控制真空度稳定性,真空度波动≤±0.5Pa,避免因真空度变化导致切割线张力不稳定,影响硅片厚度均匀性。某光伏企业使用适配的螺杆真空泵后,硅片切割的抽真空时间缩短了 30%,硅片厚度偏差从 ±0.03mm 降至 ±0.01mm,硅片合格率提升 2.3 个百分点。处理高粘度气体时有防堵塞设计。老牌螺杆真空泵生产厂家

马德宝螺杆真空泵系列产品涵盖 LG 系列(LG50 至 LG360)与 LGB 系列(LGB70 至 LGB400),抽速范围 50-480 L/S(50/60Hz),极限压力 1-50 Pa,配用功率 5.5-55 KW,冷却水量 2.5-3.5 L/min,进气口径 50-100mm、排气口径 40-65mm,重量 295-680 kg,噪音 72-89 dB (A)。例如 LG100 型抽速 100/120 L/S,极限压力 2/1 Pa,功率 11/15 KW;LGB200A 型抽速 200/240 L/S,极限压力 0.02/0.01 mbar,适配多种对真空度与抽速有不同需求的场景。此外,机组可防腐处理,用于抽除腐蚀性气体,在化工制药的脱水结晶、电力的真空浸渍等工艺中表现突出。内蒙古干式螺杆真空泵推荐厂家国产螺杆泵已进入中芯国际生产线。

在化工领域,马德宝干式螺杆真空泵可直接抽吸腐蚀性气体,助力真空蒸馏、脱水结晶工艺高效运行;医药行业中,无油设计避免药品污染,适配真空干燥、无菌生产环节;电子与半导体行业里,1Pa 的高真空度满足真空镀膜、芯片制造的严苛要求;食品工业方面,低噪、无油烟特性符合食品卫生标准,支撑冷冻干燥、真空包装工艺;同时,在电力行业真空浸渍、航空航天模拟试验中,其稳定的抽气速率与智能化控制,也成为保障工艺精度的关键装备。
少油式螺杆真空泵配备的油雾分离器,**作用是分离排气中的油雾(粒径 1-5μm),避免环境污染与油损耗,工作原理包含三重分离过程:含油雾气体进入分离器后,先通过惯性碰撞板,大粒径油雾(>5μm)被拦截;再进入离心分离腔,通过高速旋转(转速 3000rpm)产生的离心力,分离中粒径油雾(1-5μm);***通过高精度滤芯(过滤精度 0.1μm),捕获小粒径油雾,净化后的气体(油雾含量≤5mg/m³)排出,分离出的油雾回流至油箱循环使用。维护要点包括:每日监测分离器压差(正常≤0.02MPa),压差超 0.05MPa 表明滤芯堵塞,需及时更换;更换滤芯时需选用与设备匹配的型号,避免因孔径不当导致分离效率下降(要求分离效率≥99.9%);每次更换后需清洁分离器壳体内部,去除残留油垢(可用中性清洗剂浸泡后冲洗),防止油垢影响分离效果。某食品企业未及时维护,导致油雾泄漏污染车间,更换滤芯后每月油损耗从 8L 降至 2L,年节省油成本约 3600 元。水循环冷却系统控制设备运行温度。

双螺杆转子为**部件,型线多采用 “摆线 - 渐开线” 组合设计,通过高精度同步齿轮驱动,确保转子转速一致(3000-6000r/min)且无接触;泵腔采用耐磨铸铁或不锈钢材质,内壁经精密加工保证粗糙度 Ra≤0.8μm,减少气体流动阻力;密封系统分静密封(氟橡胶 O 型圈,耐温 - 20-200℃)和动密封(双端面机械密封,配聚乙二醇辅助密封液),泄漏率可控制在以下。性能方面,该泵抽气速率范围为 10-1000m3/h,极限压力可达10−3 Pa,能耗随抽速线性增长(如 100m3/h抽速对应能耗约 15kW),噪音≤75dB。应用上,在半导体刻蚀工艺中可稳定处理 Cl₂、F₂气体,在食品冻干中能保证无菌环境,在化工溶剂回收中避免溶剂油污染。太空模拟实验需其提供超高真空环境。山西螺杆真空泵选购建议
远程监控系统可实现故障预警。老牌螺杆真空泵生产厂家
螺杆真空泵的抽速下降是常见故障,需按步骤排查:第一步检查进气过滤器,若滤芯堵塞(压差≥5kPa),用压缩空气反吹或更换;第二步检查密封系统,用氦质谱检漏仪检测,若泄漏率>,更换密封件;第三步检查转子间隙,若因磨损导致间隙>0.5mm,需拆机调整或更换转子。噪音过大(>80dB)的排查方向包括:电机轴承磨损(更换轴承)、联轴器对中偏差(重新对中,偏差≤0.1mm)、泵腔异物(停机清理)。此外,泵过载(电流>额定值 110%)多因冷却不足(清理冷却系统)、转子卡滞(检查间隙和异物)、电源电压异常(调整电压至 380V±10%),故障排查需遵循 “先外部后内部、先电气后机械” 原则,避免盲目拆机。老牌螺杆真空泵生产厂家
马德宝真空设备集团有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在浙江省等地区的机械及行业设备中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同马德宝真空设备集团供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!
化工反应釜抽真空过程中,螺杆真空泵需应对 “易燃易爆”“强腐蚀性”“压力骤变” 等安全风险,设计需包含三重防护。一是防爆设计,电机采用 Ex d IIB T4 Ga 防爆等级,定子绕组采用耐温 180℃的绝缘材料,电气部件密封在隔爆外壳内,避免火花引燃可燃气体(如甲烷、乙烯);二是压力保护,设置双重安全阀(爆破压力 0.2MPa)与压力开关,当系统压力低于 0.1kPa(避免负压过大损坏反应釜)或高于 0.15MPa(防止气体倒灌)时,自动停机并触发声光报警;三是应急处理,配备氮气置换接口,当可燃气体浓度传感器检测到浓度超下限 10% 时,立即通入氮气(流量≥10m³/h)稀释,同时关闭进气阀...