某半导体芯片制造企业为提升封装测试环节的真空稳定性,引入罗茨真空泵机组。该机组由罗茨泵与高真空前级泵组成,针对芯片封装对洁净度的要求,采用无油润滑结构避免油污染,通过智能变频系统实时调节抽速,使真空度波动控制在 ±0.1Pa 以内。设备运行后,封装良率提升 3%,工艺周期缩短 15%,满足了高密度芯片的生产需求。某大型化工企业在真空蒸馏生产线改造中,选用耐腐蚀材质的罗茨真空泵。原设备因不耐腐蚀导致频繁故障,新设备采用不锈钢泵体与碳化硅密封环,耐温可达 600℃,寿命延长 5 倍。搭配冷却系统后,可处理含氯腐蚀性气体,抽速稳定在 500m³/h,蒸馏产品纯度从 98% 提升至 99.5%,设备故障率下降 80%。低噪音罗茨真空泵,为车间营造安静工作氛围。江苏老牌罗茨真空泵

真空凝壳炉浇铸需在精细控压与快速抽气中实现,罗茨真空泵的动态响应能力提供了关键支撑。在 TA10 钛合金转熔浇铸中,其可将炉内真空度稳定在 0.03Pa,抽除浇铸过程中型腔内释放的气体,配合可调节浇铸角度(±5°)的机构,实现液态金属平稳充型,减少铸件缺陷。对于大吨位铸锭浇铸,罗茨真空泵的抽速可根据浇铸速度(0.1-1.5kg/s)动态调节,在维持真空的同时避免熔体飞溅;其泄漏率≤5Pa・m³/s 的密封性能,保障浇铸全程无空气渗入,使铸锭末端氧含量波动控制在 0.03% 以内。浇铸结束后,该设备还能配合惰性气体充入系统,实现铸锭快速冷却,缩短凝壳重复利用的处理周期。浙江ZJQ气冷式罗茨真空泵经销商罗茨真空泵启动迅速,快速响应真空系统需求。

金属粉末(如钛合金、高温合金粉末)的高温烧结需严格隔绝氧气,罗茨真空泵凭借高效抽气与惰性气氛兼容特性,成为关键设备。在 1200-1400℃的烧结工艺中,其与螺杆泵组成的二级真空系统,可在 30 分钟内将炉内压力从大气压降至 10⁻²Pa,快速抽除炉内空气后充入氩气,维持氧含量≤5ppm,避免金属粉末氧化。针对球形钛合金粉末的致密化烧结,罗茨泵的动态压力调节功能(通过 PLC 智能反馈),能在烧结中期(温度 1300℃左右)加大抽速,抽除粉末内部扩散的氢、氮气体,使零件致密度从初始的 65% 提升至 98.5% 以上,满足航空航天部件对抗拉强度的要求。其抗粉尘设计(内置过滤精度 10μm 的金属滤网)可耐受粉末轻微泄漏,减少设备维护频次;配合炉体的气冷循环系统,在烧结结束后能快速充入惰性气体降温,将生产周期缩短 25%,同时保障零件尺寸精度(误差≤±0.03mm)。
罗茨真空泵又称机械增压泵,属旋转式容积真空泵,**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上,通过传动比为 1 的同步齿轮驱动,实现等速反向旋转,且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触,运转时摩擦损失小、功率消耗低,可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承,借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置,固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙,使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置,能防止油箱润滑油进入泵腔,出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷,高压力工况下推荐选用水冷结构,电动机动力经联轴器传给主动轴,再通过同步齿轮带动从动轴旋转,ZJ 系列为卧式结构,多采用联轴器与电机直联,特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品,抽气原理相同,但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时,阀自动开启,此数值为泵可靠运转的比较高压力差,使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动,但系统容积大时,旁通阀开启时间长,有效抽速小,经济性差,建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。罗茨真空泵运行可靠,降低生产过程中的风险。

罗茨真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速,启动快,能立即工作。对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感,转子不必润滑,泵腔内无油,振动小,驱动功率小,结构紧凑,占地面积小,运转维护费用低。这些特点使其在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业等部门得到广泛应用。罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所,环境温度为5-40℃,需水平安装,周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养和拆装。接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。连接被抽容器的管道应清洁,无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证足够的通导能力,管道连接应密封不漏。
罗茨真空泵在新能源行业,推动电池生产工艺优化。江苏老牌罗茨真空泵
罗茨泵与罗茨鼓风机结构原理相似,但真空泵需前级泵配合,鼓风机可直接排气,且真空泵转子间隙控制更精密。江苏老牌罗茨真空泵
在实际应用中,气冷罗茨泵及机组展现出优异性能。气体分离设备领域,某厂家气体吸附分离设备原用水环式真空泵,实耗功率 15kW,改用150气冷罗茨泵后,实耗功率降至 11kW,节能效果突出。透平试验领域,某汽轮机厂 1000m³ 高速动平衡室,原计划用 8 台 H-600 滑阀泵,耗电 144kW,改用2套2500/LQ1200/H150 气冷罗茨机组后,耗电* 40kW,还减少占地、便于维修,且抽气时间大幅缩短。镀膜机领域,20m³ 镀膜机原用普通罗茨机组,抽气需较长时间,改用气冷罗茨机组后,抽气时间缩短 6 分钟以上,提升生产效率。冷却设计上,气冷罗茨泵排气前需预进冷气,单独使用或末级机组可选用大气或冷却器供气,特殊气体场景优先用冷却器;非末级机组的主泵或中间泵,通常采用冷却器提供冷气,确保设备稳定运行。江苏老牌罗茨真空泵
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罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵,**工作部件为泵腔内一对 “8” 字形转子。这两个转子相互垂直安装在平行轴上,由传动比为 1 的齿轮驱动,做反向同步旋转运动。转子间、转子与泵壳内壁间保持 0.1~0.8 毫米的微小间隙,既不接触又能实现高转速运行。当转子转动时,进气口侧形成封闭空间吸入气体,随转子旋转推送至排气口,因排气侧压强大,部分气体返冲后被排出,完成抽气循环。其工作过程可按转子旋转角度拆解:0° 时,下转子封入定量气体;45° 时该封闭空间与排气口相通,高压气体返冲;90° 时,封入气体与返冲气体一同排出,同时上转子完成吸气;135° 时上转子封闭空间与排气口相通,重复排气过程,主轴旋...