浙江干式螺杆罗茨真空泵厂

罗茨真空泵的气体传输过程可分为三个关键阶段：吸气阶段中，转子旋转使进气侧容积扩大，气体在压差作用下进入腔体；压缩阶段通过转子啮合将气体封闭在腔室与转子形成的空间内，随旋转逐渐推向排气侧；排气阶段则利用前级泵的抽力将气体排出。整个过程依赖转子型线的精密设计，常见的渐开线或外摆线包络线结构，能比较大限度减少泄漏，提升容积效率。这种连续运转模式使其在低压力下仍能保持高抽速，尤其适合需要快速抽空的工艺需求。作为增压泵，罗茨真空泵无法单独实现极限真空，必须与前级泵组合使用。其**价值在于弥补前级泵在中真空区间的抽速不足，拓宽系统工作压力范围。当系统压力降至特定阈值时，罗茨泵启动，通过接力输送大幅缩短抽气时间。例如在镀膜工艺中，它能协助前级泵快速将腔室压力降至 10⁻³ mbar 以下，为工艺启动创造条件。这种组合模式不仅提升了系统性能，还能降低单一泵体的负载，延长整体使用寿命。罗茨真空泵在化工行业，助力危险气体安全处理。浙江干式螺杆罗茨真空泵厂

陶瓷坯体成型阶段的脱气质量直接影响成品性能，罗茨真空泵的高效抽气能力有效提升成型质量。在陶瓷泥浆真空处理中，其与水环真空泵配合使用，先由水环泵初步抽除大量水分，再通过罗茨泵将泥浆内压力降至 1Pa 以下，抽除细微气泡，避免坯体烧结后出现气孔。对于干压成型的陶瓷滤波器坯体，罗茨真空泵能在加压前快速抽除模具与粉末间的空气，使压力均匀传递至粉末颗粒，提升坯体致密度与尺寸精度；其无油污染特性避免了油蒸汽对陶瓷粉料的污染，保障后续烧结的稳定性。该设备还支持注浆成型工艺，通过抽除模具内空气加速泥浆填充，缩短成型周期，提升坯体成型效率。江苏罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵抽气范围广，适配不同真空度要求。

在 RH 真空精炼炉的机械真空泵系统中，罗茨真空泵承担**抽气功能，构成系统**级**设备，其配置需结合多维度参数精细计算。设计阶段需综合 RH 真空精炼炉公称容量、预抽真空腔体容积、提升氩气耗量、冶炼反应产气量、保护气体量及系统泄漏率等因素，确定抽真空时间与各级泵压缩比，进而明确抽气能力。以河北某钢厂 130t 公称容量的 RH 炉为例，机械真空泵系统有效抽气量需≥700000Nm³/h，**级均采用罗茨泵且型号与台数差异化配置。从实际运行参数看，一级罗茨泵有效抽速为单台 15558m³/h 乘以 42 台，二级为单台 15558m³/h 乘以 8 台，三级为单台 7295m³/h 乘以 8 台，各级泵间压缩比严格控制在合理范围，一级与二级压缩比 5.25，二级与三级 2.13，既避免压缩比过大导致设备过热报警停机，又防止压缩比过小增加投资成本，保障抽气效率与设备稳定性平衡。

罗茨泵转子多为双叶直齿，也有三叶斜齿，横断面外轮廓线为转子型线，工作时两转子靠传动比 1 的齿轮驱动，型线需为共轭曲线。选择转子型线需考虑泵工作性能（容积利用系数大）、几何对称性（互换性好、运转平稳）、转子强度及加工工艺性，实际型线多由圆弧线、渐开线和摆线组合而成，分理论型线（保证转子啮合）和实际型线（预留间隙）。罗茨泵主要尺寸由实际抽速确定，需结合容积效率 ηv、转子长度系数 kl、转子圆周速度 u2、断面系数 k0 等参数，通过相关公式计算转子半径 R 等尺寸。圆周速度 u2 选择与转子材料相关，不同材料有不同取值范围，中心距需符合标准规定。为降低间隙流导，可对转子头部型线特殊加工或开设沟槽，但需注意可能导致的容积变化及对抽速的影响。罗茨泵机组极限压力由前级泵极限压力与其对应压缩比比值求得。

启动罗茨真空泵前，需先启动前级泵，打开前级泵预抽管路上的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后，关闭预抽阀门，起动罗茨真空泵。如果是较大的真空系统，为避免罗茨泵长时间工作在高压力下产生过热卡死，应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。罗茨真空泵的停车程序：关闭罗茨真空泵进气阀，从上到下逐级停罗茨真空泵，***停前级泵，严禁搞错停车程序。前级泵停车后，立即向前级泵进气口放气。停车程序的正确执行对于保护设备和确保系统安全至关重要。运行运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用，入口压力在1330pa以下，泵的最大压差不得高于其最大允许压差值。注意电动机负荷和泵的各部位温升，正常情况下，泵的比较高温升不得超过40℃，最高温度不得超过80℃。运转中不应有不规则的异常振动和异常噪声，如发现电机过载、温升过高、声音异常、振动大等情况，应立即停机检查原因，排除故障。每日需检查油位，油位过高会使温度升高，过低会造成润滑不良。每月检查油的品质，若变质须及时更换。定期检查罗茨泵的轴承、油封、齿轮等部件，如有损坏应予更换。罗茨真空泵气体输送能力强，提升真空系统效能。老牌罗茨真空泵维护保养

高可靠性罗茨真空泵，减少设备故障停机时间。浙江干式螺杆罗茨真空泵厂

碳化硅外延工艺需在超洁净低压环境中进行，罗茨真空泵的无油污染与精细控压特性使其成为**设备。在外延炉预处理阶段，其与分子泵串联使用，可将炉内真空度提升至 10⁻⁴Pa，抽除衬底表面吸附的氧、氮杂质，保障外延层质量。外延生长阶段，罗茨真空泵能精确控制反应室压力在 1-10Pa，配合气体流量控制系统，实时抽除未反应的硅烷、氢气等原料气体，避免多余气体沉积影响外延层厚度均匀性。对于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可实现反应气体快速置换，缩短工艺周期；其 IoT 传感器还能实时监测抽气速率与压力变化，实现预测性维护，减少设备停机时间。浙江干式螺杆罗茨真空泵厂

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