江西出口型电镀设备

半导体挂镀设备

1.基本原理与结构

挂镀工艺：晶圆固定在挂具上，浸入电镀液，通过精细控制电流、电压及溶液成分，在表面沉积均匀金属层。

组件：

电镀槽：耐腐蚀材质，配备温控、循环过滤系统，维持镀液均匀性

挂具与阳极：钛或铂金阳极，挂具设计适配晶圆尺寸，确保电场分布均匀

自动化传输：机械臂自动上下料，减少人工污染风险

控制系统：PLC/计算机实时调控电流密度、电镀时间、pH值等参数

2. 关键技术优势

高均匀性：通过脉冲电镀或水平电镀技术（如ECP），减少边缘效应，实现亚微米级镀层均匀性

低缺陷率：镀液杂质控制（＜0.1ppm）与膜厚在线监测，降低孔洞、结节等缺陷

高产能：支持多晶圆并行处理

3. 典型应用场景

芯片制造：

铜互连：在逻辑芯片中沉积多层铜导线，替代传统铝工艺以降低电阻

TSV填充：为3D封装提供垂直导电通道，实现芯片堆叠

先进封装：

凸块电镀：在晶圆表面形成锡、铜柱凸块，用于Flip-Chip键合

RDL（重布线层）：沉积铜层实现芯片I/O端口的重新布局

总结

半导体挂镀设备通过精密电化学控制与自动化技术，解决了纳米级金属沉积的均匀性与可靠性难题，是先进芯片制造与封装的装备。其性能直接关联芯片的导电性、散热及良率 电镀废水的重金属回收设备采用离子交换树脂，高效吸附镍、铜离子，实现资源循环利用。江西出口型电镀设备

电泳生产线的主要组成部分:

1.前处理系统

对工件表面进行清洗、除油、除锈、磷化（或钝化）等处理，确保表面洁净并增强涂层附着力。

设备包括：预清洗槽、脱脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干炉等。

2.电泳槽系统

电泳主槽：容纳电泳液，工件在此进行涂装，槽体需恒温控制（通常 20~30℃）。

循环过滤系统：保持电泳液均匀，过滤杂质，防止颗粒污染涂层。

电源系统：提供直流电源，控制电压、电流参数，调节涂层厚度和质量。

超滤（UF）系统：分离电泳液中的水分和杂质，回收涂料并净化废水。

3.后处理系统

清洗工序：电泳后水洗（超滤水洗、纯水洗）去除工件表面残留的电泳液，避免杂质影响涂层质量。

烘干固化线：通过烘箱或隧道炉对湿膜进行高温固化（通常 160~200℃），形成坚硬的漆膜。

4.自动化控制系统

集成 PLC 或工业计算机，控制各工序的时间、温度、电压、液位等参数，实现全流程自动化。

配备输送系统（如悬挂链、滚床、机械手），实现工件的连续传输。 湖南微型电镀设备废气处理设备配套槽边吸气罩与洗涤塔，中和电镀过程中挥发的酸碱废气，符合环保排放要求。

全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线，通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜，以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一种化学表面处理技术，利用磷酸盐溶液与金属（如钢铁、锌、铝等）发生反应，生成一层致密的磷酸盐晶体膜（如磷酸铁、磷酸锌）

功能：防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作，覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽：去除金属表面油污

酸洗槽：氧化皮和锈迹

水洗槽：冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽：主反应区，金属浸泡或喷淋磷化液，生成转化膜

温度与浓度控制：通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽：增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统：热风或红外烘干，避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置：传送带、机械臂或悬挂链，精细控制工件移动

PLC控制：集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控：实时记录工艺参数，支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调（调整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。

玻璃钢离心风机是采用玻璃纤维增强塑料（FRP）制造的离心式通风设备，由玻璃钢叶轮、机壳及金属支架构成。工作时电机驱动叶轮高速旋转，通过离心力将气体甩出机壳，叶轮中心形成负压持续吸入气体，实现高效输送。其特点包括：1. 耐酸碱盐腐蚀，适用于化工、污水处理等腐蚀性环境；2. 重量轻强度高，便于运输安装且结构稳定；3. 低噪音设计，适合对环境要求高的场所；4. 可定制化适配不同风量风压需求。广泛应用于工业废气处理（如化工废气、冶金粉尘）、环保工程（污水处理厂除臭、垃圾站换气）及民用通风（商场空调、住宅排油烟）等领域，兼具耐候性与经济性镀铬设备需配置铅合金阳极与阳极袋，防止杂质污染电解液，确保硬铬镀层的高硬度与耐磨性。

电镀废气处理抽风设备分类：

按工作原理及结构分类：

离心风机：风压高、风量较大，适用于需要克服较大阻力

轴流风机：具有风量大、风压低的特点。适合在对通风量需求大、阻力较小的环境

屋顶风机：安装于电镀车间屋顶，可直接将车间内废气排至室外。其优点是不占室内空间，安装简便

防爆风机：针对电镀废气含易燃易爆气体（如有机溶剂挥发气）的情况设计，采用特殊防爆结构与材料，防止运行中产生电火花引发炸掉，保障生产安全

按材质及防腐特性分类

玻璃钢风机：处理电镀过程中产生的强腐蚀性酸碱废气，且质量较轻、强度较高、使用寿命长

不锈钢风机：用于对耐腐蚀有一定要求且废气中颗粒物磨损性较强的电镀废气抽取

防腐涂层或特殊防腐工艺处理的普通金属风机：抽风设备搭配集气罩、通风管道等部件，组成完整的抽风系统，将电镀废气高效收集并输送至后续处理设备，如酸雾净化塔、活性炭吸附装置等。

电镀废气处理抽风设备的组成：

自动线线外连接抽风系统

PP抽风管连接，抽风连接口采用方形变通连接室外抽风系统

可根据不同种类废气和不同排放量以及现场情形适当设计制，并负责安装调试，抽风效果好

适用于氧化、电镀、涂装、印刷等行业多种碱性、有毒气体抽排（退挂、除锈等）

挂具设计作为电镀设备附件，采用导电性能优异的铜合金或不锈钢，减少接触电阻以保障电流均匀传导。广东深圳电镀设备

过滤循环设备通过精密滤芯净化电解液，去除金属颗粒等杂质，保障镀液清洁与工艺稳定。江西出口型电镀设备

如何选择适合的电镀周边设备？

需结合工艺需求、生产规模、预算及环保要求，以下建议：

一、明确需求

1.工艺类型根据镀层种类选择设备，例如镀铬需耐高温镀槽，镀金需高精度整流器。前处理/后处理流程决定是否需要超声波清洗机、甩干机等配。

2.生产规模中小批量：优先选择模块化设备（如可扩展的镀槽、单机过滤机），降低初期投入。大规模量产：考虑自动化生产线（如机器人上下料、PLC集中控制系统），提升效率。

3.镀层质量要求高精度产品（如电子元件）：需配备在线检测设备（如X射线测厚仪）、恒温恒湿控制系统。普通五金件：可选基础检测设备（如磁性测厚仪）。

二、关键设备选型要点

1.镀槽材质：酸性选聚丙烯（PP），高温强碱选聚四氟乙烯（PTFE）。尺寸：根据工件大小和产能计算槽体容积，预留10%-20%余量避免溢出。

2.整流器优先选择高频开关电源（节能30%以上），输出电流需覆盖最大负载的120%。复杂工艺（如脉冲电镀）需配置可编程整流器。

3.过滤系统精密电镀（如PCB）：采用多级过滤（滤芯+超滤膜），精度≤1μm。常规电镀：选用袋式过滤机，精度5-25μm即可。

4.环保设备废气处理：酸雾量大时选喷淋塔+活性炭吸附废水处理：重金属废水需配备离子交换或反渗透（RO）系统 江西出口型电镀设备