浙江环保半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

    以避免轴承座10与工艺腔碰撞导致传送组件精度下降。为进一步提高传动筒4的稳定性，避免外界物质进入轴承座10，推荐地，如图3、图4所示，工艺盘组件还包括密封衬套5，密封衬套5环绕设置在传动筒4的外壁上。需要说明的是，密封衬套5与轴承座之间为固定连接关系，如图4所示，推荐地，密封衬套5的内壁上还设置有用于容纳密封圈的密封圈槽，在传动筒4转动时，与轴承座固定连接的密封衬套5持续地与传动筒4摩擦。为提高密封衬套5的耐磨性能，推荐地，密封衬套5为不锈钢材料。在实验研究中，发明人还发现，现有的半导体设备工艺效果不佳的原因在于，个别轴套类部件上的密封件在传动机构的运动过程中会逐渐沿轴向移动，偏离预定位置，造成半导体设备的气密性下降。为解决上述技术问题，推荐地，如图3、图4、图13所示，工艺盘组件还包括挡环7，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，挡环7环绕传动筒4设置在挡环槽43中，挡环7的外径大于密封衬套5朝向工艺盘01一端的内径，以使得密封衬套5无法沿轴向运动通过挡环槽43所在的位置。在本实用新型的实施例中，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，并在挡环槽43中设置挡环7，从而可以阻止密封衬套5轴向偏离，进而避免了避免外界物质进入轴承座10。无论客户的经营或生产场所位于何处，您都可随时联系我们化学高新材料的技术人员，为您提供支持。浙江环保半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

    所述工艺盘组件为前面所述的工艺盘组件，所述工艺盘组件的工艺盘设置在所述工艺腔中。在本实用新型提供的工艺盘组件以及半导体设备中，工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接，驱动连接部的横截面为非圆形，而驱动衬套的套孔与驱动连接部相匹配，工艺盘转轴的安装孔与驱动衬套相匹配。从而通过非圆柱体的驱动连接部与驱动衬套上的异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套，进而基于安装孔与驱动衬套的配合关系传递至工艺盘转轴，从而能够避免驱动轴与驱动衬套之间发生相对滑动，提高了工艺盘转轴旋转角度的控制精度，进而提高了工件的放置精度。附图说明附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：图1是本实用新型提供的工艺盘组件的结构示意图；图2是图1所示的工艺盘组件的a-a向剖视图；图3是图2中虚线圈出部分的放大示意图；图4是图3的局部放大示意图；图5是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动轴的结构示意图；图6是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套的结构示意图；图7是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的结构示意图。安徽电木半导体与电子工程塑料零件定制加工多厚自润滑配方，可降低设备维护成本。

    所述第二基准块与**基准块一体成型；所述**基准块的一侧设置有**基准面，所述第二基准块上设置有第二基准面，所述第二基准面垂直于**基准面，所述**基准面和第二基准面的连接处设置有与**基准块和第二基准块连接的圆弧避让槽；所述**基准块和第二基准块远离圆弧避让槽的一侧设置有圆弧基准台，所述圆弧基准台的圆心位于**基准面与第二基准面的连接处。采用此技术方案，设置的**基准面和第二基准面有助于半导体零件的贴合；设置的圆弧避让槽不*有助于抓数治具的加工，而且有助于半导体零件的贴合；设置的圆弧基准台有助于通过圆弧的切边抓数以计算或抓取半导体零件的尺寸以及导角的尺寸。作为推荐，所示抓数治具还设置有底座，所示底座上均匀排列有四个或四个以上抓数治具；四个或四个以上所述的抓数治具其**基准面或第二基准面在同一直线上。采用此技术方案，以便于批量检测抓数。作为推荐，所述圆弧基准台的半经设置在1mm的倍数。采用此技术方案，便于测量以及计算。作为推荐，所述抓数治具的长度设置在40-60mm，宽度设置在30-50mm。采用此技术方案，尺寸小，便于使用，以及保存。作为推荐，所述**基准块的宽度和第二基准块的宽度一致，其宽度设置在8-12mm。

    ***浆料中的金属元素的氯化物在环氧丙烷的作用下沉淀。步骤s116：将第二浆料进行喷雾，然后在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理，得到预处理颗粒。具体地，在闭式喷雾塔中将第二浆料进行喷雾。步骤s116中加热处理的时间为1h～4h。将第二浆料喷雾后再进行加热处理，使得稀土元素或锶元素的氯化物转化为氧化物且均匀分布在碳化硅表面。采用上述步骤能够使稀土元素或锶元素均匀沉降在碳化硅颗粒的表面，在后续处理过程中，稀土元素或锶元素会存在于晶界处，具有促进烧结、降低气孔率的作用，从而提高碳化硅陶瓷的抗弯强度等力学性能。而传统的碳化硅陶瓷的制备过程中，通常将金属元素的氧化物作为助烧剂直接与碳化硅微粉、分散剂、粘结剂等混合，存在金属元素分散不均的问题，在后续处理中，容易出现不均匀聚集区，从而导致反应烧结碳化硅陶瓷的力学性能不理想。步骤s120：将预处理颗粒与第二分散剂、粘结剂、第二溶剂和***碳源混合造粒，得到造粒粉。其中，粘接剂包括酚醛树脂、环氧树脂、聚乙烯醇、羧甲基纤维素钠、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。***碳源包括石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种。既满足了晶圆低污染加工的严格要求，又是低成本的解决方案。

    从而能够缓解定位平面311两侧的应力集中现象，提高了驱动轴3和驱动衬套2上应力分布的均匀性。并且，在本实施例中，两圆柱面312与驱动衬套2套孔中的相应圆柱面相配合，能够实现定位平面311的精确定位，保证定位平面311与驱动衬套2套孔中的平面紧密贴合，避免平面之间的空隙导致驱动轴3和驱动衬套2在传动过程中相互碰撞、磨损。此外，两定位平面311以驱动轴3的轴线为对称中心对称设置，使得驱动轴3与驱动衬套2通过平面传动时受到的力矩也是中心对称的，避免了驱动衬套2与驱动轴3的轴线之间发生偏移，保证了定位精度。为提高工艺盘组件结构的整体强度，推荐地，如图6所示，驱动衬套2包括相互连接的***衬套部210和第二衬套部220，***衬套部210和第二衬套部220沿工艺盘转轴1的轴线方向排列，第二衬套部220位于***衬套部210朝向驱动轴体部320的一侧，驱动衬套2的套孔包括形成在***衬套部210中的驱动通孔211和形成在第二衬套部220中的轴通孔221，驱动通孔211与驱动连接部310匹配；***衬套部210的外径小于第二衬套部220的外径，定位凸起222形成在第二衬套部220的外壁上，且第二衬套部220与工艺盘转轴1的安装孔相配合。在本实用新型的实施例中。半导体行业就是这样一种需要CNC加工部件的行业。北京FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工加工件

CNC的制造可以满足半导体设备及生产所需的所有要求，即使是再复杂的设计、再多的组件。浙江环保半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

    第二溶剂能够溶解第二分散剂。在其中一个实施例中，第二溶剂为水或酒精。可以理解，在其他实施例中，第二溶剂还可以为其他物质。第二分散剂包括四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。在本实施方式中，***分散剂与第二分散剂可以相同，也可以不同。采用上述第二分散剂、第二溶剂和粘结剂能够将预处理颗粒和***碳源均匀混合。具体地，步骤s120包括：步骤s122：将预处理颗粒与第二分散剂、第二溶剂、粘结剂和***碳源混合，并进行球磨，得到球磨后的浆料。其中，球磨过程中的转速为100转/分～300转/分，球磨的时间为1h～5h。通过球磨能够使得预处理颗粒、第二分散剂、粘结剂和***碳源等混合均匀。步骤s124：将球磨后的浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉。通过步骤s122和步骤s124能够得到均匀的造粒粉。在其中一个实施例中，造粒粉的平均尺寸为60微米～120微米。步骤s130：将造粒粉成型，得到***预制坯。具体地，步骤s130包括：将造粒粉先进行模压成型，成型压力为70mpa～170mpa，保压时间为10s～90s，然后进行等静压成型，成型压力为200mpa～400mpa，保压时间为60s～180s，得到***预制坯。通过先进行模压成型。浙江环保半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

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