山东HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    省**出台实施了工业转型升级行动计划和22个实施方案，为制造业转型升级做好了顶层设计和路线规划。完备的产业体系和省委省**的坚强领导，为我省制造业转型升级提供了坚实的发展基础和政策保障。不强，正在成为实现经济中高速增长、迈向中**水平的“痛点”。一方面，传统低成本优势逐步衰减，资源约束日益增强，产能过剩困扰加剧；另一方面，全球新一轮科技**和产业变革方兴未艾，许多发达国家纷纷高呼“重返制造业”，意图在国际产业分工格局重塑的博弈中争夺优势地位。让制造业强起来，不但是解决现实问为满足客户的多方面需求，同时代理德国,中国台湾,韩国,瑞士,日本,美国等国家的各种、工程塑料，绝缘材料板、棒，片材。批发零售：工程塑料：PEEK、PVDF、PET、PPS、PEI、PSU、CPVC、PES、PPO、PETP、PBT、UPE、ABS、POM、PTFE、PVC、PA、PE、PP、PU、PC、PMMA等之板，棒，片材.防静电产品:防静电POM板/棒、防静电有机板、防静电PC板.防静电PVC板/棒,防静电尼龙板/棒合成石板。绝缘材料:中国台湾红、黑电木板、冷冲板、酚醛层压布棒板,隔热板,环氧玻璃纤维棒板,环氧板（FR-4）石棉板等。本公司进货渠道***，产品齐全，质量保证，货源充足，产品均获得UL、CUL认证。还用作耐化学腐蚀材料和硬质材料等.山东HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    再进行等静压成型的两步成型方式能够得到密度更大、更均匀的***预制坯。步骤s140：将***预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶。具体地，排胶过程在真空排胶炉中进行。通过上述排胶过程能够除去***预制坯中的粘结剂、分散剂等有机物质。步骤s150：将***预制坯与第二碳源混合加热，使第二碳源呈液态，然后加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯。具体地，第二碳源包括石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种。在本实施方式中，第二碳源与***碳源可以相同，也可以不同。具体地，步骤s150包括：将***预制坯与第二碳源在280℃～340℃下加热1h～3h，然后抽真空1h，再加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯。其中，加压介质为氮气或氩气。在加压条件下能够使第二碳源渗入***预制坯的孔隙中，减少孔隙大小和数量。***预制坯的密度相对较低，有较多的孔隙，如不进行继续处理，则反应烧结后会有较多、较大的游离硅，这会**降低反应烧结碳化硅的性能，而使用上述高温压力浸渗的方式二次补充碳源，第二碳源能够渗入***预制坯的孔隙中，从而能够减少预制坯的孔隙大小和数量，减小游离硅尺寸和数量，提高**终产品性能。山东HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工密度CNC 车削加工服务，订购 CNC 车削部件。

    所述工艺盘组件为前面所述的工艺盘组件，所述工艺盘组件的工艺盘设置在所述工艺腔中。在本实用新型提供的工艺盘组件以及半导体设备中，工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接，驱动连接部的横截面为非圆形，而驱动衬套的套孔与驱动连接部相匹配，工艺盘转轴的安装孔与驱动衬套相匹配。从而通过非圆柱体的驱动连接部与驱动衬套上的异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套，进而基于安装孔与驱动衬套的配合关系传递至工艺盘转轴，从而能够避免驱动轴与驱动衬套之间发生相对滑动，提高了工艺盘转轴旋转角度的控制精度，进而提高了工件的放置精度。附图说明附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：图1是本实用新型提供的工艺盘组件的结构示意图；图2是图1所示的工艺盘组件的a-a向剖视图；图3是图2中虚线圈出部分的放大示意图；图4是图3的局部放大示意图；图5是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动轴的结构示意图；图6是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套的结构示意图；图7是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的结构示意图。

    工艺盘组件还包括升降机构11，升降机构11与轴承座10连接，用于驱动轴3承座沿传动筒4的轴线方向运动。在本实用新型的实施例中，传动筒4通过轴承轴向固定于轴承座10内，因此升降机构11可以带动传动筒4升降，进而带动工艺盘转轴1和工艺盘01在腔室中升降。推荐地，如图2至4所示，工艺盘组件还包括波浪管6，波浪管6套设在传动筒4的外侧，波浪管6的一端与轴承座10固定连接，波浪管6的另一端用于与工艺腔密封连接。需要说明的是，波浪管6的上端与工艺腔(图未示)的腔室连通，波浪管6的下端与传动机构之间不连通，由于将波浪管气孔61输入的工艺气体导入腔室中以及将反应后的气体由波浪管气孔61导出。在轴承座10进行升降运动时，波浪管6的长度随之改变。本实用新型的实施例中设置波浪管6环绕在传动筒4的外侧，从而利用波浪管6与传动筒4外壁之间的空隙实现了工艺气体的输送，节约了设备空间。为减轻传送组件在升降过程中的振动，提高组件的稳定性，推荐地，如图1所示，工艺盘组件还包括定位块13，定位块13与上法兰101的上表面固定连接。定位块13推荐为弹性材料。在轴承座10向上运动超过预定高度时，定位块13接触上方连接在工艺腔底部的缓冲架，使轴承座10停止上升。工程塑料,绝缘材料板机加工零件。

    附图标记说明01：工艺盘1：工艺盘转轴2：驱动衬套210：***衬套部211：驱动通孔211a：避让槽220：第二衬套部221：轴通孔222：定位凸起3：驱动轴310：驱动连接部320：驱动轴体部311：定位平面312：圆柱面4：传动筒41：内凸台结构42：外凸台结构43：挡环槽5：密封衬套6：波浪管7：挡环8：调平件9：传动架91：传动法兰92：法兰连接件10：轴承座101：上法兰102：下法兰11：升降机构12：电机13：定位块具体实施方式以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式*用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。本实用新型的发明人在实验中发现，工件在工艺盘上出现摆放位置偏移的问题是工艺盘与相应的旋转传动组件之间出现滑移导致的。发明人在进行过大量实验研究后发现，在现有的半导体设备中，为了实现向工艺盘传递扭矩，通常采用圆柱面摩擦传动的方式带动，而正是该摩擦传动方式使得传动件的摩擦面长时间发生相对转动，导致配合面发生摩擦磨损，进而影响了对位精度。因此，为解决上述技术问题，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，如图1至3所示，工艺盘组件包括工艺盘01和工艺盘转轴1。耐热聚合物可用作耐高温薄膜绝缘材料、耐高温纤维、耐高温涂料、 耐高温粘合剂等。天津制造半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

磨削、铣削、钻孔、车削和制造都可以很好地运用在半导体零件加工上。山东HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

    驱动衬套2包括***衬套部210和第二衬套部220，从而在驱动轴3与驱动衬套2连接时，驱动连接部310与***衬套部210中的驱动通孔211匹配；在驱动衬套2与工艺盘转轴1连接时，工艺盘转轴1的安装孔与第二衬套部220的侧面相配合。即，本实用新型的实施例中工艺盘转轴1与驱动衬套2之间的配合面以及驱动衬套2与驱动轴3之间的配合面是轴向错开的。如图10、图12所示，三者连接在一起后，工艺盘转轴1与驱动衬套2的***衬套部210之间存在空隙，驱动轴3与驱动衬套2的第二衬套部220之间存在空隙，从而在三者进行装配时，驱动通孔211过紧时***衬套部210可以向其外侧的缝隙膨胀，安装孔过紧时第二衬套部220可以向其内侧的缝隙适当地形变，从而避免了工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3安装时因结构过于紧凑导致零件没有任何形变空间，并**终被过高的应力破坏的现象发生。此外，本实用新型的实施例中设置工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3两两之间配合面轴向错开，还能够在工艺盘组件进行启动或急停等变速运动时，利用驱动衬套2自身的弹性，使驱动衬套2的顶面与底面之间发生微小的相对转动，以缓冲过高的扭矩对传动件造成的损伤。为提高工艺盘转轴1、驱动衬套2与驱动轴3之间的同轴度。山东HDPE半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

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