湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质

半导体与电子生产集成电路芯片需要高度专业化的设备，可在多重苛刻环境下工作，如：真空环境下的等离子，高温，与高度研磨液接触，暴露于多种高腐蚀性化学品，与石英和陶瓷等传统材料相比，三菱化学高新材料（MitsubishiChemicalAdvancedMaterialsEPP）已研发出多种材料，既满足了晶圆低污染加工的严格要求，又是低成本的解决方案。我们的材料被设计用于整个晶圆加工制程。您的优势准确复制任何地区可用的材料一般的材料选择、工程支持和测试能力机加工能力，支持仿真系统NPI应用发展材料组合一般，专设计用于湿制程工具CMP环材料的制造商，包括Techtron®PPS（CMP应用）生产集成电路芯片需要高度专业化的设备，可在多重苛刻环境下工作。湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质PP板及零件加工(聚丙烯板）。

    驱动衬套2包括***衬套部210和第二衬套部220，从而在驱动轴3与驱动衬套2连接时，驱动连接部310与***衬套部210中的驱动通孔211匹配；在驱动衬套2与工艺盘转轴1连接时，工艺盘转轴1的安装孔与第二衬套部220的侧面相配合。即，本实用新型的实施例中工艺盘转轴1与驱动衬套2之间的配合面以及驱动衬套2与驱动轴3之间的配合面是轴向错开的。如图10、图12所示，三者连接在一起后，工艺盘转轴1与驱动衬套2的***衬套部210之间存在空隙，驱动轴3与驱动衬套2的第二衬套部220之间存在空隙，从而在三者进行装配时，驱动通孔211过紧时***衬套部210可以向其外侧的缝隙膨胀，安装孔过紧时第二衬套部220可以向其内侧的缝隙适当地形变，从而避免了工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3安装时因结构过于紧凑导致零件没有任何形变空间，并**终被过高的应力破坏的现象发生。此外，本实用新型的实施例中设置工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3两两之间配合面轴向错开，还能够在工艺盘组件进行启动或急停等变速运动时，利用驱动衬套2自身的弹性，使驱动衬套2的顶面与底面之间发生微小的相对转动，以缓冲过高的扭矩对传动件造成的损伤。为提高工艺盘转轴1、驱动衬套2与驱动轴3之间的同轴度。

    本实用新型涉及治具领域，尤其涉及一种针对半导体零件的抓数治具。背景技术：半导体零件即半导体晶体，晶体是脆性的，加工过程中会在边缘形成碎石块似的崩碎。如有较大应力加载到晶体的解理方向上，会造成很大的崩碎面积，破坏中间已加工好的表面。因此，在加工端面前，应对半导体晶体进行端面边缘的倒角，使得在加工端面时，不容易产生破坏性的崩口。然而，在实际加工时，大部分的晶体多多少少的会发生不影响晶体性能的轻微崩口，以及极少部分会发生破坏性的崩口，为了防止破坏后的晶体被继续使用，因此，我们需要制作一个治具，用于检测晶体的崩口尺寸，将破坏严重的晶体剔除。技术实现要素：本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种针对半导体零件的抓数治具，本实用新型设计新颖，结构简单、合理，能够通过设置的**基准面和第二基准面定位半导体零件的位置，并通过设置的圆弧基准台的切边抓取半导体零件的倒角以及崩口的尺寸，以剔除不良的半导体零件。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：一种针对半导体零件的抓数治具，包括抓数治具，所述抓数治具包括设置的**基准块以及与**基准块垂直连接的第二基准块。为行业的关键部件提高N倍寿命、免维护。

    所述奥氏体不锈钢具体可以是316l不锈钢，即，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为316l不锈钢。本实用新型将现有技术中旋转件常用的304不锈钢材料替换为316l不锈钢，使得旋转件在强度几乎不变的同时，电阻率***降低，从而保证了工艺盘组件运动的流畅性。进一步推荐地，传动筒4的外凸台结构42与轴承座10之间的轴承材料也采用奥氏体不锈钢(推荐为316l不锈钢)。作为本实用新型的第二个方面，还提供一种半导体设备，包括工艺腔和工艺盘组件，其中，工艺盘组件为上文中描述的工艺盘组件，工艺盘组件的工艺盘01设置在工艺腔中。在本实用新型提供的半导体设备中，驱动连接部310为非圆柱体，驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔，驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2，从而能够在工艺盘组件进行变速运动时，避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动，保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度，进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度，并提高了工件的放置精度。可以理解的是，以上实施方式**是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言。为您的 CNC 铣削部件提供可制造性设计反馈。天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工管材

因此具有更佳的设计 能力和用自动化的更高可行性。湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质

    以糠醛与聚碳硅烷的混合物为***碳源和预处理颗粒在该溶液中均匀分散，再以聚乙烯醇、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛的混合物为粘接剂加入其中，进行球磨，球磨过程中的转速为300转/分，球磨时间为1h，得到第三浆料，将第三浆料在喷雾造粒塔中喷雾，得到平均尺寸为80微米的造粒粉。(3)将造粒粉均匀填满模具，进行模压成型，成型压强为170mpa，保压时间为10s，脱模得，然后置入真空包装袋中，抽真空，再置于等静压机中等静压成型，成型压力为400mpa，保压时间为180s，得到***预制坯。(4)将***预制坯放置于真空排胶炉中，以每分钟1℃的速度升温至900℃，保温4h，得到排胶后的***预制坯。(5)将排胶后的***预制坯升温至340℃，以沥青和环氧树脂为第二碳源加入其中，加热3h，然后抽真空1h，再以氮气加压至7mpa，进行压力浸渗，让第二碳源渗入***预制坯的孔隙中，降温得到第二预制坯。(6)将第二预制坯放置于真空排胶炉中，以每分钟1℃的速度升温至900℃，保温4h，排胶后，机加工得到排胶后的第二预制坯。(7)将排胶后的第二预制坯和硅粉按质量比为1∶4在石墨坩埚中混合，然后放置于真空高温烧结炉中进行反应烧结，烧结温度为1800℃，保温时间为1h，冷却后，得到碳化硅陶瓷。湖南PE半导体与电子工程塑料零件定制加工特质